2019-011200

特願２０１５－　２６５０１「基板収納容器」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年　８月１８日出願公開、特開２０１６－１４９４９２、請求項の数（４）〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

【理　由】 第１　手続の経緯 本件審判請求に係る出願（以下，「本願」という。）は，２０１５年（平成２７年）　２月１３日の出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。 平成３０年１０月　４日付け：拒絶理由通知書 平成３０年１２月１０日　　：意見書，補正書の提出 平成３１年　４月２６日付け：拒絶査定 令和　１年　８月２６日　　：審判請求書，補正書の提出 令和　１年　９月２６日　　：前置報告 第２　原査定の概要 原査定（平成３１年　４月２６日付け拒絶査定）の概要は次のとおりである。 １　本願請求項１，３－４に係る発明は，以下の引用文献Ａに記載された発明であるから，特許法第２９条第１項第３号に該当し，特許を受けることができない。 ２　本願請求項１，３－４に係る発明は，以下の引用文献Ａに記載された発明に基いて，その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下，「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 引用文献等一覧 Ａ　特開２００５－３１１１２８号公報 第３　審判請求時の補正について 審判請求時の補正は，特許法第１７条の２第３項から第６項までの要件に違反しているものとはいえない。 審判請求時の補正は，補正前の請求項１の「前記基板位置決め当接部は，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記蓋体側基板支持部の間の中央部位置に存在し，前記蓋体側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続されている」との記載を，補正後の請求項１の「前記基板位置決め当接部は，前記蓋体側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続され，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記蓋体側基板支持部を接続する前記弾性変形部の間の前記弾性変形部の中央部位置に接続されて存在している」との記載に変更するものであり，当該補正事項は，補正前の請求項１の発明特定事項である「基板位置決め当接部」と「蓋体側基板支持部」との接続関係を限定するものであるから，特許請求の範囲の限縮を目的とするものである。 また，当該補正事項は，当初明細書等に記載された事項であり，新規事項を追加するものではないといえ，本件補正によっても，補正前の請求項に記載された発明とその補正後の請求項に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題は同一であることは明らかである。 そして，「第４　本願発明」から「第６　対比・判断」までに示すように，補正後の請求項１，３－４に係る発明は，独立特許要件を満たすものである。 第４　本願発明 本願請求項１－４に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」－「本願発明４」という。）は，令和　１年　８月２６日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１－４に記載された事項により特定される発明であり，本願発明１－４は，以下のとおりの発明である。 「　　【請求項１】 一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え，前記壁部の内面によって，複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と， 前記容器本体開口部に対して着脱可能であり，前記容器本体開口部を閉塞可能であり，前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する蓋体と， 前記壁部又は前記蓋体と，前記基板収納空間に収納された前記基板の縁部と，の間で弾性変形可能であり，前記基板に形成され前記基板の周方向における前記基板の方向を示す方向認識部に係合可能な基板係合部と，を備え， 前記基板係合部は， 弾性変形可能であり，前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置される蓋体側基板支持部であって，前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに，前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と， 前記蓋体側基板支持部に存在し，前記方向認識部に係合する基板位置決め当接部と，を有し， 前記蓋体側基板支持部は，前記基板の周方向における少なくとも前記基板の周縁部の２箇所において，前記基板の周縁部を支持し， 前記基板位置決め当接部は，前記蓋体側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続され，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記蓋体側基板支持部を接続する前記弾性変形部の間の前記弾性変形部の中央部位置に接続されて存在している基板収納容器。 【請求項２】 一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え，前記壁部の内面によって，複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と， 前記容器本体開口部に対して着脱可能であり，前記容器本体開口部を閉塞可能であり，前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する蓋体と， 前記壁部又は前記蓋体と，前記基板収納空間に収納された前記基板の縁部と，の間で弾性変形可能であり，前記基板に形成され前記基板の周方向における前記基板の方向を示す方向認識部に係合可能な基板係合部と，を備え， 前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され，前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに，前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部を備え， 前記基板係合部は， 弾性変形可能であり前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され，前記複数の基板の縁部を支持可能であり，前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して，前記複数の基板を並列させた状態で，前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と， 前記奥側基板支持部に存在し，前記方向認識部に係合する基板位置決め当接部と，を有し， 前記奥側基板支持部は，前記基板の周方向における少なくとも前記基板の周縁部の２箇所において，前記基板の周縁部を支持し， 前記基板位置決め当接部は，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記奥側基板支持部の間の中央部位置に存在し，前記奥側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続されている基板収納容器。 【請求項３】 前記方向認識部は，前記基板の周縁の一部に形成されたノッチ部により構成され， 前記基板位置決め当接部は，前記ノッチ部に係合する凸部により構成されている請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。 【請求項４】 前記方向認識部は，前記基板の周縁の一部が直線状に形成されて構成される直線状縁部により構成され， 前記基板位置決め当接部は，前記直線状縁部に係合する直線状縁部当接部により構成されている請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。」 第５　引用文献，引用発明等 １　引用文献Ａについて 原査定の拒絶の理由に引用された引用文献Ａには，図面とともに次の事項が記載されている。（当審注：下線は，参考のために当審で付与したものである。） 「【００１４】 図３乃至図５には，本発明に係るウエハ搬送容器が全体に符号１７で示されている。ウエハ搬送容器１７は，図３に示すように，一端開放の箱形の容器本体１８と，該容器本体の開口部１８ａ（図５参照）を閉鎖する蓋体１９と，ウエハ押さえ１０とを備え，蓋体１９は，容器本体１８との間に形成された従来よく知られたフック機構２０により，容器本体１８に取り外し可能に係止される。 【００１５】 ウエハ押さえ１０は，図１に示すように，全体に矩形枠体で構成される支持枠１１を備える。支持枠１１は，例えば，ポリエステル系，オレフィン系，スチレン系等の各種熱可塑性エラストマーあるいはＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート），ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）のようなエラストマー以外の熱可塑性樹脂材料で形成される。支持枠１１は，一対の長辺１１ａ，１１ａと，一対の短辺１１ｂ，１１ｂとを有し，一対の長辺１１ａ，１１ａ間には，互いに相対する二辺である一対の短辺１１ｂ，１１ｂ間で互いに平行な一対の内側辺１１ｃ，１１ｃが形成されている。 【００１６】 この一対の内側辺１１ｃ，１１ｃおよびその外側に位置する一対の短辺１１ｂ，１１ｂすなわち外側辺１１ｂ，１１ｂのそれぞれには，支持枠１１の一側に向けて伸長する各弾性部材１２ａ，１２ｂが支持枠１１に一体的に形成されている。各外側辺１１ｂには，多数の弾性部材１２ａが各外側辺１１ｂの長手方向へ整列して形成されており，また各内側辺１１ｃには，外側辺１１ｂの弾性部材１２ａに対応して多数の弾性部材１２ｂが内側辺１１ｃの長手方向へ整列して形成されている。 【００１７】 一対の外側辺１１ｂに設けられた弾性部材１２ａ，１２ａは，図２に示すように，長１１ａに直角な垂線Ｌ１に関して内側へ角度θ１をなす傾斜角で支持枠１１の外側辺１ｂから一体的に支持枠１１の一側に伸長する傾斜部１３ａと，該傾斜部に連なって互い相近づく方向へ曲がる円形曲線に沿った円形曲部１３ｂと，該円形曲部の先端から互い相近づく方向へ直線に沿って伸びる水平直線部１３ｃと，該水平直線部の先端から互い相近づくように，水平直線部１３ｃに関して角度θ２で斜め上方に立ち上がる立上がり１３ｄとを備え，全体としてＪ字状を呈する。」 「【００２０】 また，各弾性部材１２ａの先端部である立上がり部１３ｄと，円弧状の曲部１３ｂとの間に形成された水平直線部１３ｃは，５乃至２０ｍｍの長さ寸法を有する。円弧状の曲部１３ｂと先端部となる立上がり部１３ｄとの間には，この水平直線部１３ｃが形成されていることから，円弧状の曲部１３ｂから半導体ウエハ１４への接触部となる先端部すなわち立上がり部１３ｄに至る長さ寸法は，従来に比較して大きく設定されている。従って，円弧状の曲部１３ｂおよび水平直線部１３ｃにより外側弾性部材１２ａを充分に弾性変形させることができ，応力の集中による外側弾性部材１２ａでのクリープ現象の発生が防止される。 【００２１】 各内側辺１１ｃに形成された内側弾性部材１２ｂは，内側辺１１ｃから，弾性部材１２ａにおけると同様に，角度θ１で支持枠１１の前記一側に伸長する傾斜部１６ａと，該傾斜部１６ａに連なって互いに相近づく方向へ曲がる円弧状の曲部１６ｂと，該円弧状の曲部１６ｂの先端から互いに相近づく方向へ直線に沿って伸びる水平直線部１６ｃとを有し，全体として略Ｊ字状を有する。水平直線部１６ｃの先端下面には，半導体ウエハ１４に係合する接触部１６ｄが設けられている。従って，内側弾性部材１２ｂは，傾斜部１６ａと接触部１６ｄとの間に円弧状の曲部１６ｂおよび水平直線部１６ｃが形成されていることから，この円弧状の曲部１６ｂおよび水平直線部１６ｃにより，各内側弾性部材１２ｂを充分に弾性変形させることができ，応力の集中による内側弾性部材１２ｂでのクリープ現象の発生が防止される。 【００２２】 ウエハ押さえ１０は，図４に示すように，支持枠１１が容器本体１８の開口部１８ａを横切るように，蓋体１９の下面に配置される。ウエハ押さえ１０は，図５に示すように，容器本体１８の壁面に形成された縦溝（図示せず）に縁部が受け入れられた多数の半導体ウエハ１４を支持枠１１に形成された外側弾性部材１２ａおよび内側弾性部材１２ｂで容器本体１８の底部に向けて押圧するように，該容器本体の開口縁部と蓋体１９との間で挟持される。蓋体１９と容器本体１８との間に必要に応じて従来よく知られたガスケットを配置することができる。 【００２３】 ウエハ搬送容器１７に収容される半導体ウエハ１４には，該ウエハ１４の結晶方向を示すためのオリエンテーションフラットあるいはノッチが設けられ，ノッチあるいはオリエンテーションフラットが内側弾性部材１２ｂに設けられた接触部１６ｄに係合可能であり，この接触部１６ｄの係合により半導体ウエハ１４の周方向の回転が防止される。 【００２４】 本発明に係るウエハ搬送容器１７では，容器本体１８の開口部１８ａに配置される支持枠１１の各外側弾性部材１２ａおよび各内側弾性部材１２ｂが半導体ウエハ１４の上縁部に係合し，該半導体ウエハに容器本体１８の底部へ向けての弾性押圧力を作用させることにより，各半導体ウエハ１４を容器本体１８の内壁に形成された前記溝内に確実に保持する。」 したがって，上記引用文献Ａには次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「　ウエハ搬送容器１７は，一端開放の箱形の容器本体１８と，該容器本体の開口部１８ａを閉鎖する蓋体１９と，ウエハ押さえ１０とを備え， 蓋体１９は，容器本体１８に取り外し可能に係止され， ウエハ押さえ１０は，支持枠１１を備え， 支持枠１１には，各弾性部材１２ａ，１２ｂが支持枠１１に一体的に形成され， ウエハ押さえ１０は，蓋体１９の下面に配置され，容器本体１８に縁部が受け入れられた多数の半導体ウエハ１４を支持枠１１に形成された外側弾性部材１２ａおよび内側弾性部材１２ｂで容器本体１８の底部に向けて押圧するように，該容器本体の開口縁部と蓋体１９との間で挟持され， 各弾性部材１２ａは，半導体ウエハ１４への接触部となる先端部すなわち立上がり部１３ｄを備え， 内側弾性部材１２ｂには半導体ウエハ１４に係合する接触部１６ｄが設けられ， ウエハ搬送容器１７に収容される半導体ウエハ１４には，該ウエハ１４の結晶方向を示すためのオリエンテーションフラットあるいはノッチが設けられ，ノッチあるいはオリエンテーションフラットが内側弾性部材１２ｂに設けられた接触部１６ｄに係合可能であり，この接触部１６ｄの係合により半導体ウエハ１４の周方向の回転が防止され， 容器本体１８の開口部１８ａに配置される支持枠１１の各外側弾性部材１２ａおよび各内側弾性部材１２ｂが半導体ウエハ１４の上縁部に係合し，該半導体ウエハに容器本体１８の底部へ向けての弾性押圧力を作用させる ウエハ搬送容器１７。」 ２　その他の文献について 前置報告書において周知技術を示す文献として引用された周知文献Ｂ（特開２００６－１２８４６１号公報）の段落００３１及び図５には，「各フロントリテーナ２５は，図５に示すように，弾性材料を使用して横長の溝形に屈曲形成され，半導体ウェーハＷの前部周縁を弾発的に保持する複数の保持ブロック２７が間隔をおいて一体形成される。」と記載されている。 前置報告書において周知技術を示す文献として引用された周知文献Ｃ（国際公開第２００９／０６０７８２号）の段落００４４－００４５及び図７，９には，「中央部からやや左右外方向にずれた位置に第一，第二の保持部３３・３４が形成され，半導体ウェーハＷを第一，第二の保持部３３・３４を介して保持する第二弾性片３１」と，段落００５９及び図１２には「第二弾性片３１における第一，第二の保持部形成領域３５・３６を厚肉に形成するとともに，この第一，第二の保持部形成領域３５・３６の境界領域４１を薄肉部とし，この境界領域４１の薄肉部を変曲点として第二の保持部３４や第二の保持部形成領域３６を半導体ウェーハＷの前部周縁方向に屈曲させるようにしている。」と記載されている。 以上から，周知文献Ｂ，Ｃには，「半導体ウエハの周縁部を支持する基板支持部を弾性変形部により連結させる。」という技術的事項が記載されている。 第６　対比・判断 １　本願発明１について （１）対比 本願発明１と引用発明とを対比すると，次のことがいえる。 ア　引用発明における「容器本体１８」，「蓋体１９」が，本願発明１における「容器本体」，「蓋体」に相当することは明らかである。 イ　引用発明における「ウエハ押さえ１０」は，「容器本体１８に受け入れられた多数の半導体ウエハ１４を支持枠１１に形成された外側弾性部材１２ａおよび内側弾性部材１２ｂで容器本体１８の底部に向けて押圧するように，該容器本体の開口縁部と蓋体１９との間で挟持され」るとともに，「容器本体１８の開口部１８ａに配置される支持枠１１の各外側弾性部材１２ａおよび各内側弾性部材１２ｂが半導体ウエハ１４の上縁部に係合し，該半導体ウエハに容器本体１８の底部へ向けての弾性押圧力を作用させる」ものである。 また，「ウエハ搬送容器１７に収容される半導体ウエハ１４には，該ウエハ１４の結晶方向を示すためのオリエンテーションフラットあるいはノッチが設けられ」ており，「ウエハ押さえ１０」における「内側弾性部材１２ｂ」は，蓋体１９が容器本体１８に係止された場合に，「ノッチあるいはオリエンテーションフラットが内側弾性部材１２ｂに設けられた接触部１６ｄに係合可能」である。 してみると，引用発明における「ウエハ押さえ１０」は，以下の相違点を除き本願発明１の「基板係合部」と，「前記壁部又は前記蓋体と，前記基板収納空間に収納された前記基板の縁部と，の間で弾性変形可能であり，前記基板に形成され前記基板の周方向における前記基板の方向を示す方向認識部に係合可能」である点で一致する。 ウ　引用発明の「ウエハ押さえ１０」は「蓋体１９の下面に配置され」，また，「容器本体１８に受け入れられた多数の半導体ウエハ１４を支持枠１１に形成された外側弾性部材１２ａおよび内側弾性部材１２ｂで容器本体１８の底部に向けて押圧するように，該容器本体の開口縁部と蓋体１９との間で挟持され」るから，蓋体１９側にあることは明らかである。 また，引用発明の「ウエハ押さえ１０」における「弾性部材１２ａ」は弾性変形可能であることは明らかであり，また，蓋体１９が容器本体１８に係止された場合に，「弾性部材１２ａ」の先端部に設けられた「立ち上がり部１３ｄ」は，半導体ウエハと２カ所で係合するものと認められる。 してみると，引用発明の「ウエハ押さえ１０」における「支持枠１１」及び「弾性部材１２ａ」，「立ち上がり部１３ｄ」が，本願発明１の「蓋体側基板支持部」に相当する。 エ　引用発明の「接触部１６ｄ」は，「支持枠１１」と一体的に形成されている「内側弾性部材１２ｂ」の先端部に設けられているから，「支持枠１１」に接続されていると認められる。すると，引用発明の「接触部１６ｄ」は「支持枠１１」に存在するものと認められ，ここで，「内側弾性部材１２ｂ」が弾性変形可能であることは明らかである。 加えて，引用発明の「接触部１６ｄ」は，蓋体が容器本体の開口部を閉鎖するように係止された場合に，半導体ウエハ１４の結晶方向を示すためのオリエンテーションフラットあるいはノッチと係合可能なものである。 してみると，引用発明の「接触部１６ｄ」は，本願発明１における「基板位置決め当接部」と，「前記蓋体側基板支持部に存在し，前記方向認識部に係合する」点，及び，「前記蓋体側基板支持部と」「弾性変形部を介して接続され」る点で一致する。 オ　引用発明の「ウエハ搬送容器１７」は，以下の相違点を除き本願発明１における「基板収納容器」に対応する。 カ　したがって，本願発明１と引用発明との間には，次の一致点，相違点があるといえる。 （一致点） 「　一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え，前記壁部の内面によって，複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と， 前記容器本体開口部に対して着脱可能であり，前記容器本体開口部を閉塞可能であり，前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する蓋体と， 前記壁部又は前記蓋体と，前記基板収納空間に収納された前記基板の縁部と，の間で弾性変形可能であり，前記基板に形成され前記基板の周方向における前記基板の方向を示す方向認識部に係合可能な基板係合部と，を備え， 前記基板係合部は， 弾性変形可能であり，前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置される蓋体側基板支持部であって，前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに，前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と， 前記蓋体側基板支持部に存在し，前記方向認識部に係合する基板位置決め当接部と，を有し， 前記蓋体側基板支持部は，前記基板の周方向における少なくとも前記基板の周縁部の２箇所において，前記基板の周縁部を支持し， 前記基板位置決め当接部は，前記蓋体側基板支持部と弾性変形部を介して接続される基板収納容器。」 （相違点） （相違点１）本願発明１は「前記基板位置決め当接部は，前記蓋体側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続され，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記蓋体側基板支持部を接続する前記弾性変形部の間の前記弾性変形部の中央部位置に接続されて存在している」と特定されているのに対し，引用発明の「接触部１６ｄ」が，そのように特定されていない点。 （２）相違点についての判断 ア　上記相違点１について検討する。 上記「第５」３の引用文献Ｂ，Ｃに記載されているとおり，「半導体ウエハの周縁部を支持する基板支持部を弾性変形部により連結させる。」という技術的事項が，本願出願前において周知技術であるとしても，該周知技術は，基板位置決め当接部について何ら特定するものではない。 すると，引用発明において周知技術を採用したとしても，「前記基板位置決め当接部は，前記蓋体側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続され，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記蓋体側基板支持部を接続する前記弾性変形部の間の前記弾性変形部の中央部位置に接続されて存在している」ものとすることは，当業者が容易になし得たものとはいえない。 加えて，「前記基板位置決め当接部は，前記蓋体側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続され，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記蓋体側基板支持部を接続する前記弾性変形部の間の前記弾性変形部の中央部位置に接続されて存在している」点が，本願出願前において周知技術であったとまではいえず，当業者が適宜なし得た設計的事項であるとすることもできない。 イ　したがって，本願発明１は，当業者であっても引用発明に記載された技術的事項及び上記周知技術に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。 ２　本願発明２について （１）対比 本願発明２と引用発明とを対比すると，次のことがいえる。 ア　引用発明における「容器本体１８」，「蓋体１９」は，本願発明２における「容器本体」，「蓋体」に相当することは明らかである。 イ　引用発明における「ウエハ押さえ１０」は，「容器本体１８に受け入れられた多数の半導体ウエハ１４を支持枠１１に形成された外側弾性部材１２ａおよび内側弾性部材１２ｂで容器本体１８の底部に向けて押圧するように，該容器本体の開口縁部と蓋体１９との間で挟持され」るとともに，「容器本体１８の開口部１８ａに配置される支持枠１１の各外側弾性部材１２ａおよび各内側弾性部材１２ｂが半導体ウエハ１４の上縁部に係合し，該半導体ウエハに容器本体１８の底部へ向けての弾性押圧力を作用させる」ものである。 また，「ウエハ搬送容器１７に収容される半導体ウエハ１４には，該ウエハ１４の結晶方向を示すためのオリエンテーションフラットあるいはノッチが設けられ」でおり，「ウエハ押さえ１０」における「内側弾性部材１２ｂ」は，蓋体１９が容器本体１８に係止された場合に，「ノッチあるいはオリエンテーションフラットが内側弾性部材１２ｂに設けられた接触部１６ｄに係合可能」である。 してみると，引用発明における「ウエハ押さえ１０」は，以下の相違点を除き本願発明２の「基板係合部」と，「前記壁部又は前記蓋体と，前記基板収納空間に収納された前記基板の縁部と，の間で弾性変形可能であり，前記基板に形成され前記基板の周方向における前記基板の方向を示す方向認識部に係合可能」である点で一致する。 ウ　引用発明の「ウエハ押さえ１０」における「弾性部材１２ａ」は，弾性変形可能であることは明らかであり，また，蓋体１９が容器本体１８に係止された場合に，「弾性部材１２ａ」の先端部に設けられた「立ち上がり部１３ｄ」が半導体ウエハと２カ所で係合するものと認められる。 してみると，引用発明の「ウエハ押さえ１０」における「支持枠１１」及び「弾性部材１２ｂ」，「立ち上がり部１３ｄ」が，本願発明２の「奥側基板支持部」と，「弾性変形可能であり」「前記複数の基板の縁部を支持可能であり，前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに」「前記複数の基板を並列させた状態で，前記複数の基板を支持する」「基板支持部」であり，「前記基板支持部は，前記基板の周方向における少なくとも前記基板の周縁部の２箇所において，前記基板の周縁部を支持」する点で一致する。 エ　引用発明の「接触部１６ｄ」は，「支持枠１１」と一体的に形成されている「内側弾性部材１２ｂ」の先端部に設けられているから，「支持枠１１」に接続されていると認められる。すると，引用発明の「接触部１６ｄ」は「支持枠１１」に存在するものと認められ，ここで，「内側弾性部材１２ｂ」が弾性変形可能であることは明らかである。 加えて，引用発明の「接触部１６ｄ」は，蓋体が容器本体の開口部を閉鎖するように係止された場合に，半導体ウエハ１４の結晶方向を示すためのオリエンテーションフラットあるいはノッチと係合可能なものである。 してみると，引用発明の「接触部１６ｄ」は，本願発明２における「基板位置決め当接部」と，「前記基板支持部に存在し，前記方向認識部に係合する」点，及び，「前記基板支持部と」「弾性変形部を介して接続され」る点で一致する。 オ　引用発明の「ウエハ搬送容器１７」は，以下の相違点を除き本願発明２における「基板収納容器」に対応する。 カ　したがって，本願発明２と引用発明との間には，次の一致点，相違点があるといえる。 （一致点） 「　一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え，前記壁部の内面によって，複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と， 前記容器本体開口部に対して着脱可能であり，前記容器本体開口部を閉塞可能であり，前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する蓋体と， 前記壁部又は前記蓋体と，前記基板収納空間に収納された前記基板の縁部と，の間で弾性変形可能であり，前記基板に形成され前記基板の周方向における前記基板の方向を示す方向認識部に係合可能な基板係合部と，を備え， 前記基板係合部は， 弾性変形可能であり，前記複数の基板の縁部を支持可能であり，前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに，前記複数の基板を並列させた状態で，前記複数の基板を支持する基板支持部と， 前記基板支持部に存在し，前記方向認識部に係合する基板位置決め当接部と，を有し， 前記基板支持部は，前記基板の周方向における少なくとも前記基板の周縁部の２箇所において，前記基板の周縁部を支持し， 前記基板位置決め当接部は，前記基板支持部と弾性変形部を介して接続されている基板収納容器。」 （相違点） （相違点２）本願発明２は「前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され，前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに，前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部」を備えているのに対し，引用発明ではそのような構成は特定されていない点。 （相違点３）本願発明２は，基板係合部の基板支持部が，「前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され」ており，「前記蓋体側基板支持部と協働して，前記複数の基板を並列させた状態で，前記複数の基板を支持する奥側基板支持部」と特定されているのに対し，引用発明は，引用発明の「ウエハ押さえ１０」における「支持枠１１」及び「弾性部材１２ｂ」，「立ち上がり部１３ｄ」が，そのように特定されていない点。 （相違点４）本願発明２は，基板位置決め当接部が，「前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記奥側基板支持部の間の中央部位置に存在し，前記奥側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続されている」と特定されているのに対し，引用発明は，「接触部１６ｄ」が，そのように特定されていない点。 （２）相違点についての判断 ア　事案に鑑みて，上記相違点４を先に検討する。 上記「第５」３の引用文献Ｂ，Ｃに記載されているとおり，「半導体ウエハの周縁部を支持する基板支持部を弾性変形部により連結させる。」という技術的事項が，本願出願前において周知技術であるとしても，それは，該周知技術は，基板位置決め当接部について何ら特定するものではない。 すると，引用発明において周知技術を採用したとしても，「前記基板位置決め当接部は，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記奥側基板支持部の間の中央部位置に存在し，前記奥側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続されている」ものとすることは，当業者が容易になし得たものとはいえない。 加えて，「前記基板位置決め当接部は，前記基板の周方向における，前記基板の周縁部の２箇所を支持する前記奥側基板支持部の間の中央部位置に存在し，前記奥側基板支持部とそれぞれ弾性変形部を介して接続されている」点が，本願出願前において周知技術であったとまではいえず，当業者が適宜なし得た設計的事項であるとすることもできない。 イ　したがって，他の相違点について判断するまでもなく，本願発明２は，当業者であっても引用発明に記載された技術的事項及び上記周知技術に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。 ３　本願発明３，４について 本願発明３，４も，本願発明１，２と同一の構成を備えるものであるから，本願発明１，２と同じ理由により，当業者であっても，引用発明及び周知技術に基づいて容易に発明できたものとはいえない。 第７　原査定について １　理由１（特許法第２９条第１項第３号），理由２（特許法第２９条第２項）について 審判請求時の補正により，本願発明１，３－４は，相違点１に係る構成を有するものとなっており，拒絶査定において引用された引用文献Ａに記載された発明とはいえない。 また，当業者であっても，引用文献Ａに基づいて，容易に発明できたものとはいえない。 したがって，原査定の理由１，理由２を維持することはできない。 第８　むすび 以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。 また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって，結論のとおり審決する。