2017-005825

特願２０１２－７５１１６「膜厚測定方法および膜厚測定装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年１０月７日出願公開、特開２０１３－２０５２５３、請求項の数（１３）〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

【理　由】 第１　手続の経緯 この審判事件に関する特許出願（以下、「本願」という。）は、平成２４年３月２８日にされたものであって、平成２８年１月６日及び同年８月１７日に特許請求の範囲についての補正がされた。そして、平成２９年１月１９日付けで拒絶査定（以下、「原査定」という。）がされ、同２４日に査定の謄本が送達された。 これに対して、平成２９年４月２４日に拒絶査定不服審判が請求された。 第２　本願に係る発明 本願の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１３に係る発明（以下、「本願発明１」ないし「本願発明１３」という。）は、本願の特許請求の範囲の請求項１ないし請求項１３に記載された事項により特定されるとおりのものである。 ただし、請求項１の「前記参照光の光学距離を調整して、前記第１の空気層からの反射光と前記参照光とを干せしめ」における「干せしめ」は、「干渉せしめ」の誤記であることが明白であるから、そのように読み替える。 そうすると、本願発明１ないし本願発明１３は、以下のとおりのものである。下線は、読み替えた箇所を示す。 「【請求項１】 所定の厚さを有する基準空気層内に載置された、顔料を含む塗膜に光源からの測定光を照射し、前記塗膜からの反射光を含む干渉光の強度を検出することにより、前記塗膜の膜厚を測定する方法であって、 光源からの測定光を、参照光と前記基準空気層への入射光とに分岐する分岐ステップと、 前記参照光の光学距離を調整して、前記基準空気層からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第１の強度信号を検出する第１の検出ステップと、 検出した複数の前記第１の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記基準空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第１の光学距離決定ステップと、 前記基準空気層内に前記塗膜を載置し、前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第１の空気層を画定する塗膜載置ステップと、 前記参照光の光学距離を調整して、前記第１の空気層からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第２の強度信号を検出する第２の検出ステップと、 検出した複数の前記第２の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第１の空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第２の光学距離決定ステップと、 前記基準空気層の光学距離と、前記第１の空気層の光学距離とから、前記塗膜の厚さを計算する第１の膜厚計算ステップとを含み、 前記塗膜が、紫外線硬化樹脂または電子線硬化樹脂であり、前記光源からの前記光が、波長１３００ｎｍ～２０００ｎｍの範囲内の近赤外光である、膜厚測定方法。 【請求項２】 前記参照光の光学距離を調整して、前記塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第３の強度信号を検出する第３の検出ステップと、 検出した複数の前記第３の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記塗膜の厚さに対応する光学距離を決定する第３の光学距離決定ステップと、 前記基準空気層の光学距離と、前記第１の空気層の光学距離と、前記塗膜の光学距離とから、前記塗膜の屈折率を計算する第１の屈折率計算ステップとをさらに含む、請求項１に記載の膜厚測定方法。 【請求項３】 前記塗膜を硬化させ、硬化後の前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第２の空気層を画定する硬化ステップと、 前記参照光の光学距離を調整して、前記第２の空気層からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第４の強度信号を検出する第４の検出ステップと、 検出した複数の前記第４の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第２の空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第４の光学距離決定ステップと、 前記基準空気層の光学距離と、前記第２の空気層の光学距離とから、硬化後の前記塗膜の厚さを計算する第２の膜厚計算ステップとをさらに含む、請求項１または２に記載の膜厚測定方法。 【請求項４】 前記参照光の光学距離を調整して、硬化後の前記塗膜からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第５の強度信号を検出する第５の検出ステップと、 検出した複数の前記第５の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、硬化後の前記塗膜の厚さに対応する光学距離を決定する第５の光学距離決定ステップと、 前記基準空気層の光学距離と、前記第２の空気層の光学距離と、硬化後の前記塗膜の光学距離とから、硬化後の前記塗膜の屈折率を計算する第２の屈折率計算ステップとをさらに含む、請求項３に記載の膜厚測定方法。 【請求項５】 前記基準空気層の光学距離と、前記第１の空気層の光学距離と、前記第２の空気層の光学距離とから、前記塗膜の硬化前後の収縮率を計算する硬化収縮率計算ステップをさらに含む、請求項３に記載の膜厚測定方法。 【請求項６】 前記第１の検出ステップが、 前記基準空気層の表層側の第１の界面から反射する第１の反射光と前記参照光との干渉による第１の干渉光の強度信号と、 前記基準空気層の底面側の第２の界面から反射する第２の反射光と前記参照光との干渉による第２の干渉光の強度信号とを検出するステップであり、 前記第１の光学距離決定ステップが、 前記第１の干渉光の強度信号が極大となるときの前記参照光の光学距離と、前記第２の干渉光の強度信号が極大となるときの前記参照光の光学距離との差分から、前記基準空気層の厚さに対応する前記光学距離を決定するステップである、請求項１に記載の膜厚測定方法。 【請求項７】 前記光源が、ＬＥＤまたはＳＬＤの何れかである、請求項１に記載の膜厚測定方法。 【請求項８】 所定の厚さを有する基準空気層内に載置された、顔料を含む塗膜に光源からの測定光を照射し、前記塗膜からの反射光を含む干渉光の強度を検出することにより、前記塗膜の膜厚を測定する装置であって、 光源と、 前記光源からの測定光を、参照光と、前記基準空気層または前記塗膜への入射光とに分岐する分岐手段と、 前記参照光の光学距離を調整する参照光光学系と、 前記入射光を前記基準空気層または前記塗膜へ入射させ、さらに、前記基準空気層または前記塗膜からの反射光を取り出す反射光光学系と、 前記反射光光学系からの反射光と前記参照光光学系からの参照光とを干渉せしめる干渉段と、 前記干渉手段からの、前記反射光を含む干渉光を検出して前記干渉光の強度信号を出力する検出手段と、 前記強度信号を解析する解析手段とを備え、 前記塗膜が基準空気層内に載置されていない第１の状態の測定対象に対して、 前記検出手段が、前記基準空気層からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第１の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第１の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記基準空気層の厚さに対応する光学距離を決定し、 前記塗膜が基準空気層内に載置されている第２の状態の、前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第１の空気層が画定されている測定対象に対して、 前記検出手段が、前記第１の空気層からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第２の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第２の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第１の空気層の厚さに対応する光学距離を決定し、 前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第１の空気層の光学距離とから、前記塗膜の厚さを計算し、 前記塗膜が、紫外線硬化樹脂または電子線硬化樹脂であり、前記光源からの前記光が、波長１３００ｎｍ～２０００ｎｍの範囲内の近赤外光である、膜厚測定装置。 【請求項９】 前記第２の状態の測定対象に対して、さらに、 前記検出手段が、前記塗膜からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第３の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第３の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記塗膜の厚さに対応する光学距離を決定し、 前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第１の空気層の光学距離と、前記塗膜の光学距離とから、前記塗膜の屈折率を計算する、請求項８に記載の膜厚測定装置。 【請求項１０】 さらに、前記塗膜を硬化させる硬化手段をさらに備え、該硬化手段により前記塗膜が硬化された第３の状態の、硬化後の前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第２の空気層が画定されている測定対象に対して、 前記検出手段が、前記第２の空気層からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第４の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第４の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第２の空気層の厚さに対応する光学距離を決定し、 前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第２の空気層の光学距離とから、硬化後の前記塗膜の厚さを計算する、請求項８または９に記載の膜厚測定装置。 【請求項１１】 前記第３の状態の測定対象に対して、さらに、 前記検出手段が、硬化後の前記塗膜からの反射光と前記参照光との干渉による複数の第５の強度信号を検出して出力し、前記解析手段が、検出した複数の前記第５の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、硬化後の前記塗膜の厚さに対応する光学距離を決定し、 前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第２の空気層の光学距離と、硬化後の前記塗膜の光学距離とから、硬化後の前記塗膜の屈折率を計算する、請求項１０に記載の膜厚測定装置。 【請求項１２】 前記検出手段が、前記基準空気層の光学距離と、前記第１の空気層の光学距離と、前記第２の空気層の光学距離とから、前記塗膜の硬化前後の収縮率を計算する、請求項１０に記載の膜厚測定装置。 【請求項１３】 前記光源が、ＬＥＤまたはＳＬＤの何れかである、請求項８に記載の膜厚測定装置。」 なお、本願発明２ないし本願発明７は、いずれも本願発明１の構成を全て含む。また、本願発明８は、本願発明１に係る方法を実施する装置の発明であり、本願発明９ないし本願発明１３は、いずれも本願発明８の構成を全て含む。 第３　原査定の概要 本願発明１、本願発明２、本願発明６ないし本願発明９及び本願発明１３は、後記の引用文献１ないし引用文献４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 本願発明３ないし本願発明５及び本願発明１０ないし本願発明１２は、後記の引用文献１ないし引用文献５に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 引用文献１：特開平１０－３２５７９５号公報 引用文献２：特開平９－１４５３２７号公報 引用文献３：特開平１１－３４４３１３号公報 引用文献４：特開平２－２９７００８号公報 引用文献５：特開２００６－３８５３３号公報 第４　引用文献に記載された事項 １　引用文献２ （１）引用文献２の記載 引用文献２には、以下の記載がある。下線は、当審が付した。 「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、改良された多層シート状プラスチックの厚さ測定装置に関し、特に多層に形成されているシート状プラスチックの各層の厚さを非連続的又は連続的（インライン）に測定するための有効な装置を提供する。」 「【００２３】 【実施例】以下に実施例によって、図面に基づいて更に詳述するが、本発明が該例に制約を受けるものではない。 【００２４】前記多層シートの厚さ測定装置において、本発明の低コヒーレントな光源による測定原理を図１の光路図によって説明する。該光源には低コヒーレント光源２を用い、ここから発せられた低コヒーレント光は、集光レンズでコリメートされて平行光になり、ビームスプリッタ４によって２つの平行光に振幅分割される。分割された第１の分岐光は、第１焦点レンズを通って、多層シート７に導かれるが、その際各層の境界面で反射が起こり、それは測定光８となって反射する。他の分割された第２の分岐光は、第２焦点レンズによって、可動鏡面１１に入射し反射する。これは参照光１２となる。各々反射した測定光８と参照光１２とは、再びビームスプリッタ４に戻り合成光１３となって、受光レンズを通って受光素子１５に導かれ光電変換される。更にこれは受光回路により干渉光による信号が検出され、更に包絡線検波等の処理を得て演算部に導かれ、ここで多層シートの各層厚に換算される。 【００２５】ここで低コヒーレント光として使用される低コヒーレント光源２は、特に中心波長及びスペクトル半値幅に制限を受けるものではないが、次のような問題が発生する場合があるので、コヒーレンス長が１０μｍ～４０μｍとなるような中心波長及びスペクトル半値幅を有する低コヒーレント光源であることが望ましい。…（以下略）…」 「【００２９】また図１の測定原理を取り入れて、これを装置化した場合の主要部をとって、これを断面図で示したものが図２である。ここで、１は筐体、３は低コヒーレント光源２から発せられるコヒーレント光をコリメートする集光レンズ、５はビームスプリッタ４による第１分岐光を集光させる第１焦点レンズである。」 「【００３２】９はビームスプリッタ４による第２分岐光を集光させる第２焦点レンズ、１０は可動鏡面１１を作動させるための可動鏡面駆動部であり、この可動鏡面１１を取り付けて平行移動を案内する精密クロスローラガイド等を使ったステージ２５およびステージ２５に連結して取り付けられた駆動モータ２６からなる。駆動モータ２６にはリニア超音波モータ、リニアステッピングモータ等のリニアモータがよい。駆動モータ２６を駆動させると、可動鏡面１１は図１の矢印に示すように、往復動作するので参照光１２の光路長を変化させることができる。よって、参照光１２の光路長変化のスピードは駆動モータ２６を駆動させるスピードによって変化させることができるので、参照光１２と測定光８が干渉したときの干渉光による信号の周波数は、可動鏡面１１を往復動作させる駆動モータ２６のスピードによって決まる。 【００３３】尚、可動鏡面１１の位置を検出する図示しない可動鏡面位置検出素子は、ポテンショメータ、マイクロメータ、ＰＳＤ等の素子、または駆動モータ２６がパルスで動作させるモータである場合はその発振パルス数で代用できる。この可動鏡面位置検出素子はステージ２５に設けられ、可動鏡面１１が往復動作するときの位置を検出する。この検出された位置の情報を、図示しないＡ／Ｄ変換器によりディジタル信号に変換して、図示しないコンピュータに導かれる。また、駆動モータ２６がパルスで動作させるモータである場合は、その発振パルス数を直接コンピュータに導いて、位置に関する情報としてもよい。また、可動鏡面１１の往復動作するスピードが一定であるとみなせば、可動鏡面１１が動いた時間にスピードを掛ければ移動距離が求められるので、可動鏡面１１の位置に関する情報は図示しないコンピュータ内の演算だけで得ることも可能である。１４は合成光１３を受光して、受光素子に導くための受光レンズである。」 「【００３５】１６は受光回路で、ここで干渉光による信号が処理される。１９は低コヒーレント光源２を固定するホルダーであり、これには低コヒーレント光源２が温度上昇により劣化することおよび光出力が不安定になることを防止するために、図示しないペルチェ素子を取り付けて低コヒーレント光源２を冷却し、図示しないドライバにより自動温度制御（ＡＴＣ）、自動出力制御（ＡＰＣ）などの制御がなされている。」 「【００３９】多層シート７の各層の厚さは、最終的にはコンピュータによって算出されることになる。つまり、前記受光回路１６から導かれた干渉光の包絡線信号をＡ／Ｄ変換したディジタル信号と上記可動鏡面位置検出素子から導かれた可動鏡面１１の位置に関する情報から、干渉発生時における、可動鏡面１１の位置を特定し、この結果に基づいて多層シート７の各層の厚さが算出される。 【００４０】最後に、以上のようにして構成された本発明の多層シート状プラスチックの厚さ測定装置によって、実際に各層の厚さがどのようにして測定されるかを、具体例で説明する。図５は、本発明装置が測定対象とする多層シート７の一例で、これは３種５層からなる全厚３００μｍの多層シート７ａである。具体的には、第１層３２と第５層３６がナイロン、第２層３３と第４層３５が接着剤、第３層３４がポバールで構成されている。このような多層シート７ａが走行中に、その第１層３２の側を圧空式非接触抑制具６によって非接触で把持されて、測定光８が入射されると、測定光８は多層シート７ａの各境界面３７、３８、３９、４０、４１および４２で反射されビームスプリッタ４に戻る。一方、参照光１２は可動鏡面１１で反射されてビームスプリッタ４に戻る。このとき、多層シート７ａの各境界面に対応する参照光１２の光路長は可動鏡面１１により変化することができる。図６に、図５の多層シートを測定したときの、受光回路１６による干渉光による包絡線信号のピークと多層シート７ａの各境界面との関連を示す。図６の横軸は可動鏡面１１の位置、縦軸は各境界面における干渉光による包絡線信号の大きさを表す。ここで、各ピーク４３、４４、４５、４６、４７および４８を示す可動鏡面１１の位置をＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６とし、第１層３２と第５層３６の屈折率をｎ１、第２層３３と第４層３５の屈折率をｎ２、第３層３４の屈折率をｎ３とし、空気の屈折率を１とすれば、第１層３２の厚さｄ１、第２層３３の厚さｄ２、第３層３４の厚さｄ３、第４層３５の厚さｄ４、第５層３６の厚さｄ５は、各式数２～数６で求めることができる。 【００４１】 【数２】 ｄ１＝（Ｌ２－Ｌ１）／ｎ１ 【数３】 ｄ２＝（Ｌ３－Ｌ２）／ｎ２ 【数４】 ｄ３＝（Ｌ４－Ｌ３）／ｎ３ 【数５】 ｄ４＝（Ｌ５－Ｌ４）／ｎ２ 【数６】 ｄ５＝（Ｌ６－Ｌ５）／ｎ１」 【図１】 【図２】 【図５】 【図６】 （２）引用文献２に記載された発明 引用文献２の前記（１）の記載（特に下線を付した部分）によれば、以下のことが認められる。 ア　引用文献２には、多層に形成されたシート状プラスチックの各層の厚さを測定する多層シートの厚さ測定装置が記載されている（【０００１】、【００２４】）。 イ　引用文献２に記載された多層シートの厚さ測定装置では、低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光は、集光レンズ３でコリメートされて平行光になり、ビームスプリッタ４によって２つの平行光である第１の分岐光と第２の分岐光とに振幅分割される（【００２４】、【００２９】、図１、図２）。 ウ　第１の分岐光は、第１焦点レンズ５を通って測定対象である多層シート７（７ａ）に導かれ、多層シート７（７ａ）の各層（ナイロンで構成される第１層３２、接着剤で構成される第２層３３、ポバールで構成される第３層３４、接着剤で構成される第４層３５、ナイロンで構成される第５層３６）の境界面３７ないし４２で反射されて測定光８となる（【００２４】、【００２９】、【００４０】、図１、図２、図５）。 エ　第２の分岐光は、第２焦点レンズ９を通って可動鏡面１１に入射し、反射されて参照光１２となるが、このとき、可動鏡面１１が往復移動して、多層シート７（７ａ）の各境界面３７ないし４２に対応する参照光１２の光路長を変化させる（【００２４】、【００３２】、【００４０】、図１、図２、図５）。 オ　それぞれ反射した測定光８と参照光１２とは、ビームスプリッタ４に戻って合成光１３となり、受光レンズ１４を通って受光素子１５に導かれて光電変換され、受光回路１６によって参照光１２と測定光８との干渉光による信号が検出され、包絡線検波等の処理を経て演算部に導かれ、干渉光の包絡線信号と可動鏡面１１の位置に関する信号とから特定される、干渉発生時の可動鏡面１１の位置に基づいて、多層シート７の各層の厚さが算出される（【００２４】、【００３２】、【００３３】、【００３５】、【００３９】、図１、図２）。 カ　具体的には、多層シート７（７ａ）の各境界面３７ないし４２における干渉光による包絡線信号がピーク４３ないし４８を示すときの可動鏡面１１の位置をＬ１ないしＬ６とし、第１層３２ないし第５層３６の屈折率をそれぞれｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ２、ｎ１とすると、第１層３２ないし第５層３６の厚さｄ１ないしｄ５がｄ１＝（Ｌ２－Ｌ１）／ｎ１、ｄ２＝（Ｌ３－Ｌ２）／ｎ２、ｄ３＝（Ｌ４－Ｌ３）／ｎ３、ｄ４＝（Ｌ５－Ｌ４）／ｎ２、ｄ５＝（Ｌ６－Ｌ５）／ｎ１の関係式を用いて算出される（【００４０】、【００４１】、図６）。 キ　以上のことをまとめると、引用文献２には、多層シートの厚さ測定装置によって実施される多層シート７ａの各層の厚さ測定方法として、以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。 「多層シート７ａの各層の厚さ測定方法であって、 低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光を、集光レンズ３でコリメートして平行光とし、ビームスプリッタ４によって２つの平行光である第１の分岐光と第２の分岐光とに振幅分割するステップと、 第１の分岐光を、第１焦点レンズ５を通して多層シート７ａに導き、多層シート７ａの第１層３２ないし第５層３６の境界面３７ないし４２で反射させて測定光８とするステップと、 第２の分岐光を、第２焦点レンズ９を通して可動鏡面１１に入射させ、反射させて参照光１２とするとともに、可動鏡面１１を往復移動させ、多層シート７ａの各境界面３７ないし４２に対応する参照光１２の光路長を変化させるステップと、 測定光８と参照光１２とをビームスプリッタ４に戻して合成光１３とし、受光レンズ１４を通して受光素子１５に導いて光電変換し、受光回路１６によって参照光１２と測定光８との干渉光による信号を検出し、包絡線検波等の処理を経て演算部に導き、干渉光の包絡線信号と可動鏡面１１の位置に関する信号とから特定される、干渉発生時の可動鏡面１１の位置に基づいて、多層シート７の各層の厚さを算出するステップであって、多層シート７ａの各境界面３７ないし４２における干渉光による包絡線信号がピーク４３ないし４８を示すときの可動鏡面１１の位置がＬ１ないしＬ６であり、第１層３２ないし第５層３６の屈折率がそれぞれｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ２、ｎ１であるとき、第１層３２ないし第５層３６の厚さｄ１ないしｄ５を、ｄ１＝（Ｌ２－Ｌ１）／ｎ１、ｄ２＝（Ｌ３－Ｌ２）／ｎ２、ｄ３＝（Ｌ４－Ｌ３）／ｎ３、ｄ４＝（Ｌ５－Ｌ４）／ｎ２、ｄ５＝（Ｌ６－Ｌ５）／ｎ１の関係式を用いて算出するステップと を含む厚さ測定方法。」 ２　引用文献１ （１）引用文献１の記載 引用文献１には、以下の記載がある。下線は、当審が付した。 「【０００２】 【従来の技術】測定対象物（媒質）の屈折率ｎ（＝位相屈折率ｎｐ）、複屈折、厚さ等の光学特性を非接触に測定する方法は、光学分野において最も基本的な技術の１つである。その代表的なものとしては、エリプソメータ…（中略）…がある。これは、測定対象となる媒質（薄膜）に斜方から光を照射し、主に反射光のＰ偏光とＳ偏光の位相変化の差に注目する方法で、媒質の表面で光が反射する際の偏光状態を観測することによって、基板およびその表面に堆積した薄膜の屈折率ｎと厚さｔを測定する方法である。 【０００３】また、反射率を用いて媒質の膜厚や屈折率ｎ、吸収係数を測定する反射率解析法もあり特開昭６４－７５９０２号公報や特開昭６３－１２８２１０号公報、特開平３－１７５０５号公報などに開示されている。特開昭６４－７５９０２号公報や特開昭６３－１２８２１０号公報に開示されている反射率解析法は、測定光の入射角変化に伴う反射光強度変化、即ち、反射光強度の入射角依存特性を測定し、その３つの極値の入射角を用いて薄膜の特性値を求める方法である。…（以下略）…」 「【０００５】また、各種硬化性樹脂（紫外線硬化、熱硬化、触媒硬化、電子線硬化等）や塗膜の硬化状態もしくは硬化度の評価は、現在、ゲル分率（測定サンプルをメチルエチルケトン等で溶剤抽出し、初期重量と溶剤抽出後の重量の重量変化の比）が最も一般的な指標となっている。しかし、この評価方法は、破壊試験であり、サンプルの作製および評価に長時間を要するものであった。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】このような状況を踏まえ、ここでは低コヒーレンスな光源を用いた干渉光学系を基本として、集光ビーム照射による媒質の位相屈折率ｎｐと厚さｔを同時に精密に測定する方法、および偏光子／検光子、偏光ローテータ等の偏光制御を必要とせずに媒質の複屈折を精密に測定する方法、および位相屈折率ｎｐと群屈折率ｎｇを同時に精密に測定する方法および上述した方法を用いて、樹脂の硬化性もしくは硬化度を評価する方法を提案する。」 「【００９９】図１は本発明の一実施の形態による位相屈折率および厚さ同時測定、位相屈折率および群屈折率同時測定の基本システム構成図である。ここではまず、本システム構成における光の順路について説明する。光源１から出射された光は、レンズ１２ａでコリメートされ、光源１からの光を分波・合波する分波・合波手段２に導かれる。光源１は、分波合波手段２で二等分され、その光の一方は直進して駆動手段８に保持搭載された集光レンズ３で、駆動手段５に保持搭載された測定対象物４に集光される。これに対して、他方の光は分波・合波手段２から垂直方向に進み駆動手段７に保持搭載され、振動子９に固定された参照光ミラー６に照射される。振動子９には周波数ｆでかつ所定振幅の振動が加えられ、参照光ミラー６からの反射光（参照光）を位相変調する。測定対象物４からの反射光（信号光）は、集光レンズ３、分波・合波手段２、レンズ１２ｂを介して受光素子１０に入射される。また、参照光ミラー６からの反射光（参照光）は、分波・合波手段２、レンズ１２ｂを介して受光素子１０に入射される。受光素子１０の検出信号は、検出回路１１によってデジタル信号に変換され、そのデータは、ＰＣ１３で処理される。尚、駆動手段５、７、８は、ＰＣ１３からの信号によりステージコントローラ１４を介して制御されている。 【０２０７】光源１としては、屈折率および厚さの同時測定、位相屈折率および群屈折率の同時測定において、直線偏光または非偏光あるいはランダム偏光の光を使用でき、複屈折測定、複屈折および厚さ測定において、非偏光あるいはランダム偏光の光を使用できる。光源１の具体例としては、スーパルミネッセントダイオード（ＳＬＤ）、白色光源（ハロゲンランプやキセノンランプ）からの光をモノクロメータにより特定波長域のみ分光したもの、閾値以下の注入電流で駆動されるレーザダイオード（ＬＤ）、発光ダイオード等、可干渉距離が３０μｍ以下のものは、全て使用することができる。また、光源１の波長も限定されるものではなく、紫外光から赤外光まで、可干渉距離が３０μｍ以下のものは、全て使用することができる。ゆえに、白色光源とモノクロメータの組み合わせによる光源１を用いて、短波長から長波長まで光波長の走査を行い、測定対象物（媒質）の波長特性（波長分散）を測定することも可能であるし、また、白色光源をモノクロメータによって分光した光を光源１を用いるものと同様に、発振中心波長が異なる複数個のレーザダイオード等を併用することによって、波長特性（波長分散）を測定することも可能である。尚、光源１の出力は、変動なく安定でかつ、測定対象物からの信号光および参照光ミラーからの参照光を合波・干渉し、検波する受光素子の感度に合わせることが安定した測定の面から見ると好ましい。」 「【０２１０】測定対象物４は、ガラス（例えば、石英ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウケイ酸ガラス、鉛ガラス等）や高分子（例えば、ＰＭＭＡ、ＰＣ、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、メチルメタアクリレート、エポキシ樹脂、ポリフロロアクリレート、シリコン樹脂、メラミン樹脂、紫外線硬化樹脂、電子線硬化樹脂、触媒硬化樹脂、熱硬化樹脂等）や結晶材料（例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、サファイヤ、ＫＤＰ、ＡＤＰ、方解石等）や透明容器中の液体材料および生体組織（例えば、角膜、水晶体、爪等）等である。ここで、測定対象物４の前面および後面は、必ずしも鏡面である必要はなく、粗面であっても測定可能である。また、測定対象物４としては、前述したガラスや高分子や結晶材料に限定されるものではなく、これらの多層膜であっても良い。さらに、測定対象物４は、光を完全に吸収しない媒質であれば良く、媒質の中に散乱体が介在しているような散乱媒質であっても、反射直進光（信号光）のみを抽出して測定可能である。さらに、測定対象物４は、必ずしも平行平板である必要はなく、前面または後面に傾斜もしくは曲率を持った媒質であっても、測定可能である。」 【図１】 （２）引用文献１に記載された事項 引用文献１の前記（１）の記載（特に下線を付した部分）によれば、以下のことが認められる。 ア　引用文献１には、低コヒーレンスな光源を用いた干渉光学系を基本とし、集光ビーム照射によって媒質の位相屈折率と厚さとを同時に精密に測定する方法が記載されている（【０００６】）。 イ　光源の波長に限定はなく、紫外光から赤外光まで、可干渉距離が３０μｍ以下のものは全て使用することができる（【０２０７】）。 ウ　測定対象物には紫外線硬化樹脂又は電子線硬化樹脂が含まれ、測定対象物の前面及び後面は粗面であってもよく、媒質の中に散乱体が介在しているような散乱媒質であっても、反射直進光のみを抽出して測定することができる（【０２１０】）。 エ　引用文献１に記載された方法は、薄膜の膜厚を測定するための従来技術であるエリプソメータ及び反射率解析法の欠点や、紫外線硬化樹脂及び電子線硬化樹脂を含む各種硬化樹脂並びに塗膜の硬化状態又は硬化度の評価の欠点を踏まえてなされたものであるから（【０００２】、【０００３】、【０００５】）、測定対象物として薄膜又は塗膜が想定されていることは明らかである。 オ　以上のことをまとめると、引用文献１には、以下の事項が記載されている。 「低コヒーレンスな光源を用いた干渉光学系を使用して、測定対象物の厚さを測定することができ、その際、光源の波長は、紫外光から赤外光まで、可干渉距離が３０μｍ以下のものは全て使用することができ、測定対象物は、紫外線硬化樹脂又は電子線硬化樹脂の薄膜又は塗膜であってもよく、また、その前面及び後面が粗面であってもよく、さらに、媒質の中に散乱体が介在している散乱媒質であっても、反射直進光のみを抽出して測定可能である。」 ３　引用文献３ （１）引用文献３の記載 引用文献３には、以下の記載がある。下線は、当審が付した。 「【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、透明もしくは略透明な薄板や薄膜等の測定対象となる媒質の厚さと屈折率の光学的な測定に係り、その測定を高精度で測定できるようにした測定装置及び測定方法に関する。」 「【０００４】これに対し、本出願人らは、媒質の位相屈折率及び複屈折率と厚さの分離測定を可能とするとともに位相屈折率を群屈折率の測定を可能とする光干渉法を利用した測定方法及びその装置を創作し、特願平９－１９９６２１号として出願した。以下にこれを説明する。 【０００５】図４は従来の測定装置の全体の概略図である。この図４においては、低コヒーレンス光を照射する発光素子５１に対峙してその光軸方向に移動可能とした測定ステージ５２を配置し、この測定ステージ５２に測定対象である媒質Ｍを保持搭載可能としている。発光素子５１から測定ステージ５２までの光路にはコリメートレンズ５３、ビームスプリッター５４、集光レンズ５５を光軸に合わせて配置し、集光レンズ５５は測定ステージ５２と同じ方向に移動操作可能としたステージ５５ａに搭載されている。更に、発光素子５１からの光軸に対してビームスプリッター５４内で直交する位置関係として参照光ミラー５６及び受光素子５７を配置する。参照光ミラー５６は発光素子５１の光軸と直交する方向に移動操作可能なステージ５６ａに搭載した振動子５６ｂに固定され、受光素子５７はその前面側に配置したレンズ５７ａからの光を受け、その検出信号を検出回路５８に出力可能としたものである。以上の要素のなかで、検出回路５８を除く全ては剛性の高い定盤（図示せず）の上に配置され、パーソナルコンピュータ等を利用した操作端末５９を備える。この操作端末５９は検出回路５８からのデジタル信号を受けてデータ処理するとともに、ステージコントローラ６０に信号を入力して各ステージ５２，５６ａ，５５ａの移動方向及び移動量を制御する。 【０００６】このような光学測定系では、発光素子５１からの低コヒーレンス光はコリメートレンズ５３によってコリメートされた後ビームスプリッター５４によって二等分され、その光の一方は集光レンズ５５を通過して媒質Ｍに集光され、他方の光は参照光ミラー５６側へ進む。そして、媒質Ｍからの反射光はビームスプリッター５４から受光素子５７へ進み、振動子５６ｂによって或る周波数で所定の振幅の振動を加えられている参照光ミラー５６からの反射光は位相変調されて受光素子５７へ入射する。これらの受光素子５７への２つの入射光によって干渉信号が得られ、干渉信号強度が最大となるようにステージ５２または５５ａおよび５６ａの位置をステージコントローラ６０によって制御する。 【０００７】実際の測定では、まず、発光素子５１からの低コヒーレンス光が媒質Ｍの前面に焦点を持つように測定ステージ５２の位置を設定する。そして、検出回路５８による干渉信号強度が最大となるように、ステージ５６ａを移動させて参照光ミラー５６の位置を調整する。次いで、発光素子５１からの低コヒーレンス光が測定対象の媒質Ｍの後面に焦点を持つように測定ステージ５２を発光素子５１側へ移動させ、このときの移動量をｚとする。 【０００８】以上の設定の後、ステージ５６ａをビームスプリッター５４から離れる向きに移動させ、参照光ミラー５６からの反射光と媒質Ｍの後面からの反射光との間の干渉信号強度が再び最大となるようにステージ５６ａの位置を設定する。このときの参考光ミラー７のステージ５６ａの移動量をΔＬとする。これらの各ステージの移動量であるｚとΔＬの値から、測定対象の媒質Ｍの位相屈折率ｎと厚さｔを導出することができる。低コヒーレンス光を媒質Ｍに対して集光させる集光レンズ５５の開口数をＳ、媒質Ｍの位相屈折率をｎ、媒質Ｍの屈折率波長分散量をΔｎとする。波長分散量Δｎ＜＜１の近似の下で、上記の移動量であるΔＬとｚを用い、媒質Ｍの位相屈折率ｎは（数１）で表される。また（数１）中の波長分散量Δｎも上記のΔＬとｚと定数ａおよびｂを用いて、（数２）で表される。ここで定数ａおよびｂは、実験的に得られており、固体に対してはａが０．０２４１、ｂが１．６９となり、液体に対してはａが０．０４６０、ｂが１．５３となる。さらに測定対象の媒質Ｍの厚さｔは、ここで求められた媒体Ｍの位相屈折率ｎ、波長分散量Δｎと、上記の上記のΔＬとｚを用いて（数３）で表される。 【０００９】 【数１】 【００１０】 【数２】 【００１１】 【数３】 【００１２】以上より、この測定においては、媒質Ｍの位相屈折率ｎと厚さｔを同時に光学的な測定によって得ることができる。」 「【００４８】図３は本発明の媒質の測定装置における媒質近傍を示す断面図であり、測定対象の媒質とこれを間隙を有して挟み込むホルダーの側面図となっている。このホルダーは、平行に配置された２枚の透明板１７ａおよび１７ｂの間に空気層を設けて媒質Ｍを挟持できる構造となっており、集光レンズ９ｂからの光が透明板１７ａ側から入射する。透明板１７ａおよび１７ｂの空隙ｔ０は使用する集光レンズ９ｂの焦点距離によって任意に決定することができる。 【００４９】測定に際しては、透明板１７ａおよび１７ｂからなるホルダーの空隙ｔ０に媒質Ｍを挿入して挟持固定すると、透明板１７ａおよび１７ｂと媒質Ｍの間に、厚さｔ１およびｔ２の空気層ができる。ここで、透明板１７ａの後面１８，媒質Ｍの前後面位置１９，２０および透明板１７ｂの前面２１の４面において、各々、ｚとΔＬを決定する。透明板１７ａの後面１８と媒質Ｍの前面位置１９および媒質Ｍの後面位置２０と透明板１７ｂの前面２１の間は空気層であり、位相屈折率ｎ＝群屈折率ｎ’＝１であるので、透明板１７ａの後面１８と媒質Ｍの前面位置１９および媒質Ｍの後面位置２０と透明板１７ｂの前面２１の間で測定される各々のｚは、ｔ１，ｔ２となり、ΔＬは０となる。従って、前記した４面（１８，１９，２０，２１）の各々の測定によって、透明板１７ａの後面１８と媒質Ｍの前面位置１９の空気層ｔ１、媒質Ｍの前後面位置１９，２０におけるｚとΔＬ、および媒質Ｍの後面位置２０と透明板１７ｂの前面２１の空気層ｔ２が得られる。ここで、透明板１７ａの後面１８と透明板１７ｂの前面２１の間隔ｔ０は、前もって測定しておけば既知であるので、下記（数４）により、媒質の厚さｔが求められる。 【００５０】 【数４】 ｔ＝ｔ０－（ｔ１＋ｔ２） 【００５１】このようにｔが測定できるので、下記（数５）および（数６）を用いて位相屈折率ｎおよび群屈折率ｎ’を求めることができる。」 【図３】 【図４】 （２）引用文献３に記載された事項 引用文献３の前記（１）の記載（特に下線を付した部分）によれば、以下のことが認められる。 ア　引用文献３には、透明又は略透明な媒質の厚さ及び屈折率を光学的に測定する方法が記載されている（【０００１】）。 イ　引用文献３に記載された方法を実施する測定装置は、低コヒーレンス光を照射する発光素子５１と、測定対象である媒質Ｍを保持搭載し、光軸方向に移動可能な測定ステージ５２と、コリメートレンズ５３と、ビームスプリッター５４と、集光レンズ５５と、光軸方向に移動可能なステージ５６ａに搭載された振動子５６ｂに固定された参照光ミラー５６と、前面にレンズ５７ａが配置された受光素子５７とを備える（【０００５】、図４）。 ウ　発光素子５１からの低コヒーレント光は、コリメートレンズ５３によってコリメートされた後、ビームスプリッター５４に入射して二等分される。一方の光は、集光レンズ５５で集光され、媒質Ｍに入射して反射し、ビームスプリッター５４を経て受光素子５７に入射する。他方の光は、振動子５６ｂによって所定周波数・所定振幅で振動させられている参照光ミラー５６に入射し、位相変調されて反射し、ビームスプリッター５４を経て受光素子５７に入射する。受光素子５７に入射する一方の光及び他方の光によって干渉信号が得られ、干渉信号の強度が最大になるように測定ステージ５２及びステージ５６ａの位置を制御する（【０００６】、図４）。 エ　媒質Ｍの厚さ及び屈折率を測定する際は、まず、ビームスプリッター５４で二等分された低コヒーレント光の一方が集光レンズ５５で集光されたときの焦点が媒質Ｍの前面に位置するように測定ステージ５２を移動させる。次に、媒質Ｍの前面からの反射光と参照光ミラー５６からの反射光との干渉信号の強度が最大になるように、ステージ５６ａを移動させて参照光ミラー５６の位置を調整する。次に、前記の焦点が媒質Ｍの後面に位置するように測定ステージ５２を移動させ、このときの移動量をｚとする。次に、媒質Ｍの後面からの反射光と参照光ミラー５６からの反射光との干渉信号の強度が最大になるように、ステージ５６ａを移動させて参照光ミラー５６の位置を調整し、このときの移動量をΔＬとする。最後に、このようにして得られたｚ及びΔＬに基づいて、媒質Ｍの厚さｔ、位相屈折率ｎ及び屈折率波長分散量Δｎを求める（【０００７】ないし【００１１】）。 オ　空隙ｔ０を隔てて互いに平行に配置された２枚の透明板１７ａ及び１７ｂからなり、透明板１７ａ側から光を入射させるホルダーに、媒質Ｍを挿入し、透明板１７ａと媒質Ｍとの間及び媒質Ｍと透明板１７ｂとの間にそれぞれ厚さｔ１及びｔ２の空気層ができるように保持した場合は、透明板１７ａの後面１８と媒質Ｍの前面１９との間の空気層及び媒質Ｍの後面２０と透明板１７ｂの前面２１との間の空気層のそれぞれについて、前記エの手順でｚ及びΔＬを決定すると、空気層は位相屈折率ｎも群屈折率ｎ’も１であることから、透明板１７ａの後面と媒質Ｍの前面との間の空気層及び媒質Ｍの後面と透明板１８ａの前面との間の空気層について測定されるｚはそれぞれｔ１及びｔ２（つまり、空気層の厚さそのもの）となり、ΔＬはいずれも０となって、媒質Ｍの厚さｔが式ｔ＝ｔ０－（ｔ１＋ｔ２）によって求められる（【００４８】ないし【００５０】、図３）。 カ　以上のことをまとめると、引用文献３には、以下の光学的厚さ測定方法が記載されている。 「透明又は略透明な媒質の厚さを光学的に測定する方法であって、 空隙ｔ０を隔てて互いに平行に配置された２枚の透明板１７ａ及び１７ｂからなり、透明板１７ａ側から光を入射させるホルダーに、媒質Ｍを挿入し、透明板１７ａと媒質Ｍとの間及び媒質Ｍと透明板１７ｂとの間にそれぞれ空気層ができるように保持し、 透明板１７ａの後面１８と媒質Ｍの前面１９との間の空気層について、 発光素子５１からの低コヒーレント光をビームスプリッター５４で二等分し、一方の光を集光レンズ５５で集光し、空気層に入射させ、他方の光を所定周波数・所定振幅で振動している参照光ミラー５６に入射させて位相変調し、空気層からの反射光及び参照光ミラー５６からの反射光をビームスプリッター５４を経て受光素子５７に入射させて干渉信号を発生させ、 まず、一方の光を集光した焦点が空気層の前面に位置するようにホルダーの位置を調整し、干渉信号の強度が最大になるように参照光ミラー５６の位置を調整し、 次に、一方の光を集光した焦点が空気層の後面に位置するようにホルダーの位置を調整し、そのときのホルダーの移動量ｚを求め、干渉信号の強度が最大になるように参照光ミラー５６の位置を調整し、そのときの移動量ΔＬを求め、ただし、ΔＬ＝０であり、 ホルダーの移動量ｚを空気層の厚さｔ１とし、 媒質Ｍの後面２０と透明板１７ｂの前面２１との間の空気層についても同様のことを行って、ホルダーの移動量ｚ及び参照光ミラー５６の移動量ΔＬを求め、ただし、ΔＬ＝０であり、 ホルダーの移動量ｚを空気層の厚さｔ２をとし、 媒質Ｍの厚さを式ｔ＝ｔ０－（ｔ１＋ｔ２）によって求める方法。」 ４　引用文献４ （１）引用文献４の記載 引用文献４には、以下の記載がある。下線は、当審が付した。 「（産業上の利用分野） 本発明は、不透明薄膜の厚みの光学的測定法に関する。 （従来の技術と発明が解決しようとする課題） 透明な薄膜についての代表的な光学方式の厚み測定法として、光干渉法と赤外吸収法が挙げられる。前者は、光学的に透明な薄膜において、薄膜の表面と裏面における干渉が発生する現象を利用し、その干渉縞と厚みとの関係式から厚みを計算する。後者は、薄膜材料に特有な赤外特性吸収を利用し、厚みと吸光度の関係、いわゆる検量線から厚みを求める。それぞれの利用する波長帯は異なっている。前者は、特性吸収のない透明な波長帯を利用する。後者は、光学薄膜特有の干渉現象を取り除かなければ精密な測定はできない。このように、干渉法と吸光度法は表裏の関係がある。 ところで、光散乱性の粒子を含む薄膜、例えば、不透明なフィルム、あるいは顔料などを含む塗装膜では、光干渉法と赤外吸収法のいずれにも適用限界がある。光散乱性の粒子には、塗膜中の顔料のような入射光の吸収と反射を生じる通常の粒子の他に、塗膜中のカーボン粒子のように可視・赤外入射光を吸収し入射ビームをあまり拡散させないものや、金属粒子のように、入射光を反射しマクロ的に拡散反射に近い状態で拡散するものもある。このような光散乱性の粒子を含む薄膜では、サンプル中の粒子による光散乱現象に伴う光ビームの散乱・減衰と可干渉性の低下によって干渉現象は発生しにくくなる。また、この光散乱による減衰は、赤外特性吸収による減衰と異なるので、赤外吸収スペクトルも歪む。さらに、散乱現象が強くなると、干渉縞は観測されなくなる。一方、吸光度は厚みに比例せず、さらには逆転現象を呈する。すなわち、ベール・ランベルト則が破綻する。このために、両方法とも、これらの問題を解決しなければ、不透明サンプルや塗装膜の厚み測定には適用できず、また適用範囲を拡大できない。 本発明の目的は、不透明な薄膜の光学的測定方法を提供することである。」（第１ページ右下欄第１３行ないし第２ページ右上欄第１１行） 「干渉法は本来は透明なサンプルに対して適用できる測定法である。」（第３ページ左上欄第２行ないし第３行） 「サンプル１の厚みｄは、サンプルの屈折率ｎがあらかじめわかっていれば、干渉縞とサンプル厚みｄの関係式から計算することができる。」（第３ページ右上欄第１１行ないし第１３行） 「次に、光散乱性の粒子を含む薄膜、例えば、不透明なフィルム、あるいは顔料などを含む塗装膜の場合の干渉法の適用について説明する。これらのサンプルでは、サンプル中の粒子による光散乱現象に伴う光ビームの散乱、減衰と可干渉性の低下によって干渉現象は発生しにくくなる。この光散乱による減衰（以下、散乱・減衰という）は、赤外特性吸収による減衰（以下、吸収・減衰という）とは異なる。また、可視・赤外吸収体であるカーボン粒子を含む黒色ペイント膜でも、同様に透過光量Ｉｔが著しく減衰し干渉効果は低下する。 このような不透明なサンプルに対し干渉法の適用を拡大するために光の波長を考慮する必要がある。 光散乱強度は、散乱粒子径ａと光波長λとの関係に依存している。粒子径に比べて、波長が大きくなると、第４図に示すように、粒子１’の後方よりも前方に多く散乱される（ミー（Ｍｉｅ）効果と呼ばれている）。すなわち、長波長ほど散乱の影響を受けにくい。従って、光散乱効果の観点からは、可視光より近赤外光、または赤外光を用いるのがよい。実用的な観点からは、光通信に使用されている波長１．３μｍ帯、あるいは１．５μｍ帯の半導体レーザを用いるのがよい（しかし、長波長を用いると、膜厚の薄いサンプルに対しては、厚み測定精度が落ちるので、用途による妥協が必要になる。）。」（第３ページ左下欄第５行ないし右下欄第１１行） （２）引用文献４に記載された事項 引用文献４の前記（１）の記載によれば、引用文献４には、以下の事項が記載されている。 「本来は透明なサンプルに対して適用できる厚み測定法である光干渉法を、光散乱性の粒子を含む薄膜、例えば、顔料などを含む塗装膜に適用する場合は、波長が大きくなると粒子の後方より前方に光が多く散乱されるミー効果によって長波長ほど散乱の影響を受けにくいことを利用して、可視光より近赤外光又は赤外光を用いるのがよく、実用的な観点からは波長１．３μｍ帯又は１．５μｍ帯の光を用いるのがよい。」 ５　引用文献５ 引用文献５（特に【００３５】ないし【００４５】）には、試料に形成された塗膜の下地隠蔽性を評価するために、塗膜表面に下地の凹凸に起因する凹凸が発生した時刻における塗膜の膜厚と、硬化収縮処理後の塗膜の膜厚との差に基づいて収縮量を算出することが記載されている。 第５　対比・判断 １　本願発明１について （１）対比 本願発明１と引用発明とを対比すると、以下のとおりである。 ア　引用発明の「多層シート７ａの各層の厚さ測定方法」及び「厚さ測定方法」と本願発明１の「前記塗膜の膜厚を測定する方法」及び「膜厚測定方法」とは、「厚さ測定方法」である点で共通し、引用発明の「多層シート７ａ」と本願発明１の「顔料を含む塗膜」とは、厚さ測定の対象となる「測定対象物」である点で共通するから、引用発明の「多層シート７ａの各層の厚さ測定方法」及び「厚さ測定方法」と本願発明１の「前記塗膜の膜厚を測定する方法」及び「膜厚測定方法」とは、「測定対象物の厚さを測定する方法」及び「厚さ測定方法」である点で共通する。 イ　引用発明の「低コヒーレント光源２」は、本願発明１の「光源」に相当するから、引用発明の「低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光」は、本願発明１の「光源からの測定光」に相当する。 ウ　引用発明の「低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光を、集光レンズ３でコリメートして平行光とし、ビームスプリッタ４によって２つの平行光である第１の分岐光と第２の分岐光とに振幅分割するステップ」における「第１の分岐光」は、「第１焦点レンズ５を通して多層シート７ａに導」くものである。 一方、本願発明１の「光源からの測定光を、参照光と前記基準空気層への入射光とに分岐する分岐ステップ」における「基準空気層への入射光」は、「光源からの測定光」が「顔料を含む塗膜に」「照射」するものであることや、「塗膜載置ステップ」において「前記基準空気層内に前記塗膜を載置し、前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第１の空気層を画定」し、「第２の検出ステップ」において「前記第１の空気層からの反射光」になることを踏まえると、「顔料を含む塗膜」の厚さ測定用の入射光ということができる。 したがって、前記イを踏まえると、引用発明の「低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光を、集光レンズ３でコリメートして平行光とし、ビームスプリッタ４によって２つの平行光である第１の分岐光と第２の分岐光とに振幅分割するステップ」における「第１の分岐光」は、本願発明１の「基準空気層への入射光」と、「測定用入射光」である点で共通する。 エ　引用発明の「低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光を、集光レンズ３でコリメートして平行光とし、ビームスプリッタ４によって２つの平行光である第１の分岐光と第２の分岐光とに振幅分割するステップ」における「第２の分岐光」は、「第２焦点レンズ９を通して可動鏡面１１に入射させ、反射させて参照光１２とする」ものであるから、本願発明１の「参照光」に相当する。 オ　前記イないしエを踏まえると、引用発明の「低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光を、集光レンズ３でコリメートして平行光とし、ビームスプリッタ４によって２つの平行光である第１の分岐光と第２の分岐光とに振幅分割するステップ」と、本願発明１の「光源からの測定光を、参照光と前記基準空気層への入射光とに分岐する分岐ステップ」とは、「光源からの光を、参照光と測定用入射光とに分岐する分岐ステップ」である点で共通する。 カ　引用発明の「第２の分岐光を、第２焦点レンズ９を通して可動鏡面１１に入射させ、反射させて」なる「参照光１２」は、本願発明１の「参照光」に相当し、引用発明の「参照光１２の光路長」は、本願発明１の「参照光の光学距離」に相当するから、前記エを踏まえると、引用発明において「第２の分岐光を、第２焦点レンズ９を通して可動鏡面１１に入射させ、反射させて参照光１２とするとともに、可動鏡面１１を往復移動させ、」「参照光１２の光路長を変化させる」ことは、本願発明１において「前記参照光の光学距離を調整」することに相当する。 キ　前記ウを踏まえると、引用発明の「第１の分岐光を、第１焦点レンズ５を通して多層シート７ａに導き、多層シート７ａの第１層３２ないし第５層３６の境界面３７ないし４２で反射させて」なる「測定光８」と、本願発明１の「前記第１の空気層からの反射光」とは、「測定用反射光」である点で共通する。 ク　引用発明において「測定光８と参照光１２とをビームスプリッタ４に戻して合成光１３とし、受光レンズ１４を通して受光素子１５に導いて光電変換し、受光回路１６によって参照光１２と測定光８との干渉光による信号を検出」することは、その前提として「参照光１２」と「測定光８」とを干渉させていることが明らかであるから、前記カ及びキを踏まえると、本願発明１において「前記第１の空気層からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ」ることと、「測定用反射光と参照光とを干渉せしめ」る点で共通する。 ケ　引用発明の「測定光８と参照光１２とをビームスプリッタ４に戻して合成光１３とし、受光レンズ１４を通して受光素子１５に導いて光電変換し、受光回路１６によって参照光１２と測定光８との干渉光による信号を検出し、包絡線検波等の処理を経て演算部に導き、干渉光の包絡線信号と可動鏡面１１の位置に関する信号とから特定される、干渉発生時の可動鏡面１１の位置に基づいて、多層シート７の各層の厚さを算出するステップ」は、「多層シート７ａの各境界面３７ないし４２における干渉光による包絡線信号がピーク４３ないし４８を示すときの可動鏡面１１の位置」「Ｌ１ないしＬ６」を用いており、明らかに「参照光１２」と「測定光８」との干渉による複数の強度信号を検出しているから、本願発明１の「該干渉による複数の第２の強度信号を検出する第２の検出ステップ」と、測定用反射光と参照光との「干渉による複数の強度信号を検出する検出ステップ」である点で共通する。 コ　前記カないしケを踏まえると、引用発明の「第１の分岐光を、第１焦点レンズ５を通して多層シート７ａに導き、多層シート７ａの第１層３２ないし第５層３６の境界面３７ないし４２で反射させて測定光８とするステップ」、「第２の分岐光を、第２焦点レンズ９を通して可動鏡面１１に入射させ、反射させて参照光１２とするとともに、可動鏡面１１を往復移動させ、多層シート７ａの各境界面３７ないし４２に対応する参照光１２の光路長を変化させるステップ」及び「測定光８と参照光１２とをビームスプリッタ４に戻して合成光１３とし、受光レンズ１４を通して受光素子１５に導いて光電変換し、受光回路１６によって参照光１２と測定光８との干渉光による信号を検出し、包絡線検波等の処理を経て演算部に導き、干渉光の包絡線信号と可動鏡面１１の位置に関する信号とから特定される、干渉発生時の可動鏡面１１の位置に基づいて、多層シート７の各層の厚さを算出するステップ」と、本願発明１の「前記参照光の光学距離を調整して、前記第１の空気層からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第２の強度信号を検出する第２の検出ステップ」とは、「前記参照光の光学距離を調整して、測定用反射光と参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の強度信号を検出する検出ステップ」である点で共通する。 サ　引用発明の「多層シート７ａの各境界面３７ないし４２における干渉光による包絡線信号がピーク４３ないし４８を示すときの可動鏡面１１の位置がＬ１ないしＬ６であり、第１層３２ないし第５層３６の屈折率がそれぞれｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ２、ｎ１であるとき、第１層３２ないし第５層３６の厚さｄ１ないしｄ５を、ｄ１＝（Ｌ２－Ｌ１）／ｎ１、ｄ２＝（Ｌ３－Ｌ２）／ｎ２、ｄ３＝（Ｌ４－Ｌ３）／ｎ３、ｄ４＝（Ｌ５－Ｌ４）／ｎ２、ｄ５＝（Ｌ６－Ｌ５）／ｎ１の関係式を用いて算出するステップ」における「Ｌ２－Ｌ１」、「Ｌ３－Ｌ２」、「Ｌ４－Ｌ３」、「Ｌ５－Ｌ４」及び「Ｌ６－Ｌ５」は、いずれも本願発明１の「検出した複数の前記強度信号の隣接するピーク間の間隔」に相当し、かつ、これらを各層の屈折率で除すると各層の厚さになるのであるから、光学距離であることが明らかである。したがって、引用発明のこの「ステップ」と本願発明１の「検出した複数の前記第２の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第１の空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第２の光学距離決定ステップ」とは、「検出した複数の前記強度信号の隣接するピーク間の間隔から、厚さに対応する光学距離を決定する光学距離決定ステップ」である点で共通する。 シ　引用発明は、「多層シート７ａの各層の厚さ測定方法」であって、「低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光」の「第１の分岐光を」「多層シート７ａに導き、多層シート７ａの第１層３２ないし第５層３６の境界面３７ないし４２で反射させて測定光８」とし、「参照光１２と測定光８との干渉光による信号を検出」するものである。 一方、本願発明１は、「所定の厚さを有する基準空気層内に載置された、顔料を含む塗膜に光源からの測定光を照射し、前記塗膜からの反射光を含む干渉光の強度を検出することにより、前記塗膜の膜厚を測定する方法」である。 したがって、前記アないしエ及びキないしケを踏まえると、引用発明と本願発明１とは、「測定対象物に光源からの測定用入射光を照射し、測定用反射光を含む干渉光の強度を検出することにより、測定対象物の厚さを測定する方法」である点で共通する。 （２）一致点及び相違点 前記（１）の対比の結果をまとめると、本願発明１と引用発明との一致点及び相違点は、以下のとおりである。 ア　一致点 「測定対象物に光源からの測定用入射光を照射し、測定用反射光を含む干渉光の強度を検出することにより、測定対象物の厚さを測定する方法であって、 光源からの光を、参照光と測定用入射光とに分岐する分岐ステップと、 前記参照光の光学距離を調整して、測定用反射光と参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の強度信号を検出する検出ステップと、 検出した複数の前記強度信号の隣接するピーク間の間隔から、厚さに対応する光学距離を決定する光学距離決定ステップとを含む、厚さ測定方法。」 イ　相違点 （ア）相違点１ 本願発明１は、「測定対象物」が「顔料を含む塗膜」かつ「紫外線硬化樹脂または電子線硬化樹脂」であり、その「膜厚」を測定するものであるのに対し、 引用発明は、「測定対象物」が「多層シート７ａ」であり、その「各層の厚さ」を測定するものであり、そのため、「光路長を変化させる」「参照光１２」（本願発明１の「光学距離を調整」する「参照光」に対応する。）も「多層シート７ａの各境界面３７ないし４２に対応する」ものとされている点。 （イ）相違点２ 本願発明１は、「光源からの光」が「波長１３００ｎｍ～２０００ｎｍの範囲内の近赤外光である」のに対し、 引用発明は、「光源からの光」が「低コヒーレント光源２から発せられた低コヒーレント光」であり、その波長は特定されていない点。 （ウ）相違点３ 本願発明１は、「前記基準空気層内に前記塗膜を載置し、前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第１の空気層を画定する塗膜載置ステップ」を備えることにより、「測定対象物」が「所定の厚さを有する基準空気層内に載置された」ものであり、さらに、「前記参照光の光学距離を調整して、前記基準空気層からの反射光と前記参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の第１の強度信号を検出する第１の検出ステップ」と、「検出した複数の前記第１の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記基準空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第１の光学距離決定ステップ」とを備え、これらのステップによって決定された「基準空気層の厚さに対応する光学距離」と、「検出した複数の前記強度信号の隣接するピーク間の間隔から、厚さに対応する光学距離を決定する光学距離決定ステップ」である「検出した複数の前記第２の強度信号の隣接するピーク間の間隔から、前記第１の空気層の厚さに対応する光学距離を決定する第２の光学距離決定ステップ」で決定された「第１の空気層の厚さに対応する光学距離」とから、「前記基準空気層の光学距離と、前記第１の空気層の光学距離とから、前記塗膜の厚さを計算する第１の膜厚計算ステップ」によって「測定対象物の厚さ」（顔料を含む塗膜の膜厚）が計算されるのに対し、 引用発明は、「測定対象物」が「所定の厚さを有する基準空気層内に載置された」ものでなく、「検出した複数の前記強度信号の隣接するピーク間の間隔から、厚さに対応する光学距離を決定する光学距離決定ステップ」である「多層シート７ａの各境界面３７ないし４２における干渉光による包絡線信号がピーク４３ないし４８を示すときの可動鏡面１１の位置がＬ１ないしＬ６であり、第１層３２ないし第５層３６の屈折率がそれぞれｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ２、ｎ１であるとき、第１層３２ないし第５層３６の厚さｄ１ないしｄ５を、ｄ１＝（Ｌ２－Ｌ１）／ｎ１、ｄ２＝（Ｌ３－Ｌ２）／ｎ２、ｄ３＝（Ｌ４－Ｌ３）／ｎ３、ｄ４＝（Ｌ５－Ｌ４）／ｎ２、ｄ５＝（Ｌ６－Ｌ５）／ｎ１の関係式を用いて算出するステップ」によって、「測定対象物の厚さ」（多層シート７ａの各層の厚さ）が算出される点。 （３）相違点３についての判断 事案に鑑み、まず、相違点３について検討する。 ア　引用文献３に記載された光学的厚さ測定方法（前記第４の３（２）カ）は、「空隙ｔ０を隔てて互いに平行に配置された２枚の透明板１７ａ及び１７ｂからなり、透明板１７ａ側から光を入射させるホルダーに、媒質Ｍを挿入し、透明板１７ａと媒質Ｍとの間及び媒質Ｍと透明板１７ｂとの間にそれぞれ空気層ができるように保持し」た状態で、媒質Ｍの厚さを光学的に測定するものであるから、基準空気層（空隙ｔ０）内に測定対象物（媒質Ｍ）を挿入し、測定対象物（媒質Ｍ）の測定光の照射側に隣接する第１の空気層（透明板１７ａと媒質Ｍとの間の空気層）を画定するステップを有するということができる。そして、このステップは、おおむね、本願発明１の「前記基準空気層内に前記塗膜を載置し、前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第１の空気層を画定する塗膜載置ステップ」に相当する。 イ　そこで、引用発明及び引用文献３に記載された光学的厚さ測定法に基づいて当業者が本願発明１の相違点３に係る構成を容易に思い付くことができるか否かを検討すると、以下のとおりである。 （ア）引用発明は、「第１層３２ないし第５層３６の屈折率がそれぞれｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ２、ｎ１であるとき、第１層３２ないし第５層３６の厚さｄ１ないしｄ５を、ｄ１＝（Ｌ２－Ｌ１）／ｎ１、ｄ２＝（Ｌ３－Ｌ２）／ｎ２、ｄ３＝（Ｌ４－Ｌ３）／ｎ３、ｄ４＝（Ｌ５－Ｌ４）／ｎ２、ｄ５＝（Ｌ６－Ｌ５）／ｎ１の関係式を用いて算出する」ことから明らかなように、多層シート７ａの第１層３２ないし第５層３６の屈折率が既知であることを前提とするものである。 これに対し、引用文献３に記載された光学的厚さ測定方法は、引用文献３に「本出願人らは、媒質の位相屈折率及び複屈折率と厚さの分離測定を可能とするとともに位相屈折率を群屈折率の測定を可能とする光干渉法を利用した測定方法及びその装置を創作し、特願平９－１９９６２１号として出願した。」（【０００４】）、「このようにｔが測定できるので、下記（数５）および（数６）を用いて位相屈折率ｎおよび群屈折率ｎ’を求めることができる。」（【００５１】）と記載されていることから明らかなように、媒質Ｍの屈折率が既知であることを前提として媒質Ｍの厚さを測定するものではなく、むしろ、未知の量である媒質Ｍの厚さ及び屈折率を同時に測定するものである。 したがって、引用発明と引用文献３に記載された光学的厚さ測定方法とでは、測定の前提が異なっている。 （イ）引用発明は、「多層シート７ａの各境界面３７ないし４２における干渉光による包絡線信号がピーク４３ないし４８を示すときの可動鏡面１１の位置」「Ｌ１ないしＬ６」を求めた後、「第１層３２ないし第５層３６の厚さｄ１ないしｄ５を、ｄ１＝（Ｌ２－Ｌ１）／ｎ１、ｄ２＝（Ｌ３－Ｌ２）／ｎ２、ｄ３＝（Ｌ４－Ｌ３）／ｎ３、ｄ４＝（Ｌ５－Ｌ４）／ｎ２、ｄ５＝（Ｌ６－Ｌ５）／ｎ１の関係式を用いて算出する」から、干渉信号強度のピーク間隔に基づいて厚さを算出するものである。 これに対し、引用文献３に記載された光学的厚さ測定方法は、「まず、一方の光を集光した焦点が空気層の前面に位置するようにホルダーの位置を調整し、干渉信号の強度が最大になるように参照光ミラー５６の位置を調整し、」「次に、一方の光を集光した焦点が空気層の後面に位置するようにホルダーの位置を調整し、そのときのホルダーの移動量ｚを求め、干渉信号の強度が最大になるように参照光ミラー５６の位置を調整し、そのときの移動量ΔＬを求め、ただし、ΔＬ＝０であり、」「ホルダーの移動量ｚを空気層の厚さｔ１と」するものであるから、ホルダーの移動量に基づいて厚さを算出するものである。そして、干渉信号強度は、それが最大（ピーク）になることで、焦点が空気層の前面又は後面に位置することを確認するために用いられているだけであると認められる。 したがって、引用発明と引用文献３に記載された光学的厚さ測定方法とは、干渉を利用した厚さ測定方法という点では共通するものの、干渉信号強度を得る目的が異なっている。 （ウ）このように、引用発明と引用文献３に記載された光学的厚さ測定方法とでは、測定の前提が異なるし、干渉信号強度を得る目的も異なるから、当業者には両者を組み合わせる動機付けがあるということはできない。 ウ　また、引用文献１、引用文献４及び引用文献５には、本願発明１の「前記基準空気層内に前記塗膜を載置し、前記塗膜の前記測定光の照射側に隣接する第１の空気層を画定する塗膜載置ステップ」に相当するものは記載も示唆もされていない。 エ　以上のとおりであるから、相違点３に係る本願発明１の構成は、引用発明並びに引用文献１及び引用文献３ないし引用文献５に記載された事項に基づいて当業者が容易に思い付くことであるということはできない。 （４）本願発明１についてのまとめ 前記（３）のとおり、相違点３に係る本願発明１の構成は、引用発明並びに引用文献１及び引用文献３ないし引用文献５に記載された事項に基づいて当業者が容易に思い付くことであるということはできないから、相違点１及び相違点２について検討するまでもなく、本願発明１は、引用文献１ないし引用文献４に記載された発明に基づいて、又はさらに引用文献５に記載された発明に基づいても、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。 ２　本願発明２ないし本願発明７について 本願発明２ないし本願発明７は、いずれも本願発明１の構成を全て含むから、少なくとも本願発明１と引用発明との相違点１ないし相違点３（前記１（２）イ（ア）ないし（ウ））で引用発明と相違する。そして、前記１（３）のとおり、相違点３に係る本願発明１の構成は、引用発明並びに引用文献１及び引用文献３ないし引用文献５に記載された事項に基づいて当業者が容易に思い付くことであるということはできないから、相違点３に係る本願発明２ないし本願発明７の構成も同様である。 したがって、本願発明２ないし本願発明７は、引用文献１ないし引用文献４に記載された発明に基づいて、又はさらに引用文献５に記載された発明に基づいても、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。 ３　本願発明８ないし本願発明１３について 本願発明８は、本願発明１に係る方法を実施する装置の発明であり、相違点３に係る本願発明１の構成に対応する構成を備えるものである。また、本願発明９ないし本願発明１３は、いずれも本願発明８の構成を全て含むから、本願発明８と同様に、相違点３に係る本願発明１の構成に対応する構成を備えるものである。 そして、前記１（３）のとおり、相違点３に係る本願発明１の構成は、引用発明並びに引用文献１及び引用文献３ないし引用文献５に記載された事項に基づいて当業者が容易に思い付くことであるということはできないから、これに対応する本願発明８ないし本願発明１３の構成も同様である。 したがって、本願発明８ないし本願発明１３は、引用文献１ないし引用文献４に記載された発明に基づいて、又はさらに引用文献５に記載された発明に基づいても、当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。 第６　原査定について 原査定は、本願の図面の図１に対応するような装置や方法で厚さを測定することは、引用文献２にも示されるようによく知られており、引用文献１に記載された発明に適用することは当業者にとって容易に想到し得ることであると判断した（平成２８年６月１７日付け拒絶理由通知書）。 しかし、引用文献２に記載された発明（引用発明）は、多層シート７ａの第１層３２ないし第５層３６の屈折率が既知であることを前提とするものであり、また、干渉信号強度のピーク間隔に基づいて厚さを算出するものであるのに対し、引用文献１に記載された発明は、引用文献３に記載された光学的厚さ測定方法と同様、媒質Ｍの厚さ及び屈折率を同時に測定するものであり、また、ホルダーの移動量に基づいて厚さを算出するものである。すなわち、両者は、測定の前提が異なるし、干渉信号強度を得る目的も異なるから、引用文献２に記載された発明を引用文献１に記載された発明に適用することは、当業者が容易に想到し得ることであるということはできない。 したがって、原査定の理由は、維持することができない。 第７　むすび 以上のとおりであるから、原査定の理由によっては、本願は拒絶をするべきものであるということはできない。 また、他に、本願は拒絶をするべきものであるとする理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。