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特許拒絶査定不服審判

2016-007787

EUVマイクロリソグラフィ用の投影露光装置の照明光学系に使用するための視野ファセットミラー

審判番号
2016-007787
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2014-137934外部サイト(J-PlatPat)へ移動します
請求日
2016年05月27日
審決日
2017年12月19日
公報発行日
2018年02月23日
結論
原査定取消(特許/登録すべき)
当事者
審判長/審判官
分類
P18 .121-WYF(H01L) / P18 .537-WYF(H01L)
データ出所
審決公報(SGML)

事件の表示

特願2014-137934「EUVマイクロリソグラフィ用の投影露光装置の照明光学系に使用するための視野ファセットミラー」拒絶査定不服審判事件〔平成26年10月16日出願公開、特開2014-197706、請求項の数(5)〕について、次のとおり審決する。

結論

【結 論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理由

【理 由】 本願は、平成26年7月3日(遡及出願平成21年8月31日パリ条約による優先権主張 2008年9月30日(DE)ドイツ連邦共和国 2008年9月30日(US)アメリカ合衆国)の出願であって、その請求項1ないし5に係る発明は、平成29年10月3日付け手続補正によって補正された特許請求の範囲の請求項1ないし5に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由及び当審で通知した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。

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2016-007787

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