2023-008371

特願２０１９－５３２０６２「光学画像安定化サスペンションにおけるセンサシフト構造」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年 ６月２１日国際公開、ＷＯ２０１８／１１２４３６、令和 ２年 ５月２８日国内公表、特表２０２０－５１５８８１〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 １ 手続の経緯 本願は、２０１７年（平成２９年）１２月１５日を国際出願日とする外国語特許出願であって（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１６年１２月１６日、２０１７年１２月１５日、いずれも米国）、その手続の経緯の概略は、次のとおりである。 令和元年 ８月 ８日 ：翻訳文の提出 令和２年１２月１１日 ：手続補正書の提出 令和３年１１月 ５日付け：拒絶理由通知書 令和４年 ５月１３日 ：意見書、手続補正書の提出 同年 ９月 ８日付け：拒絶理由通知書（最後） 同年１２月１４日 ：意見書、手続補正書の提出 令和５年 １月１１日付け：拒絶査定（以下「原査定」という。） （同月２４日 ：原査定の謄本の送達） 同年 ５月２３日 ：審判請求書、手続補正書の提出 令和６年 ７月１８日付け：拒絶理由通知書 同年１０月２２日 ：意見書、手続補正書の提出 令和７年 ２月２８日付け：拒絶理由通知書（以下「当審拒絶理由通知書」という。） 同年 ７月 １日 ：意見書、手続補正書の提出 以下、２０１６年１２月１６日を最先の優先日という。 ２ 本願発明について (１) 本願発明の認定 本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、令和７年７月１日に提出された手続補正書により補正された請求項１に記載された次に示す事項により特定されるとおりのものである。 「【請求項１】 静止プレートと、 前記静止プレートに対してｘ軸及びｙ軸に関して移動可能な可動プレートと、 前記可動プレートと一体である前記可動プレートにおけるセンサ取付領域と、 前記可動プレートを前記静止プレートに連結する１つ以上のばねであって、前記可動プレートから延びる１つ以上のばねアームを含み、前記１つ以上のばねアームは前記可動プレートのセンタリングを支援するように構成される、１つ以上のばねと、 前記静止プレートと前記可動プレートに連結される１つ以上の形状記憶合金（SMA）素子とを含み、 前記可動プレートは、１つ以上のレンズに対して前記センサ取付領域を変位させ、 前記１つ以上のＳＭＡ素子はＳＭＡ材料を含み、１つ以上のＳＭＡ素子の各々は、ＳＭＡ材料の端部において各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられ、各ＳＭＡ素子の中心領域においてばねアームから開放されるサスペンション組立体。」 (２) 本願発明の分説 検討の便宜上、本願発明の構成を次のように構成Ｘと構成Ａから構成Ｃまでに分説する。また、参考図として、本願の【図１７】を元に部材名を記入したものを掲載する。 ＜本願発明の分説＞ Ａ 静止プレートと、 Ｂ 前記静止プレートに対してｘ軸及びｙ軸に関して移動可能な可動プレートと、 Ｃ 前記可動プレートと一体である前記可動プレートにおけるセンサ取付領域と、 Ｄ 前記可動プレートを前記静止プレートに連結する１つ以上のばねであって、前記可動プレートから延びる１つ以上のばねアームを含み、前記１つ以上のばねアームは前記可動プレートのセンタリングを支援するように構成される、１つ以上のばねと、 Ｅ 前記静止プレートと前記可動プレートに連結される１つ以上の形状記憶合金（SMA）素子とを含み、 Ｆ 前記可動プレートは、１つ以上のレンズに対して前記センサ取付領域を変位させ、 Ｇ 前記１つ以上のＳＭＡ素子はＳＭＡ材料を含み、１つ以上のＳＭＡ素子の各々は、ＳＭＡ材料の端部において各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられ、各ＳＭＡ素子の中心領域においてばねアームから開放される Ｘ サスペンション組立体。 ＜参考図（【図１７】）＞ ［図：0001435447000001.jpg］ (３) 課題・作用効果等に関連する明細書の発明の詳細な説明の記載 本願明細書の発明の詳細な説明の記載のうち、発明が解決しようとする課題及び作用効果等に関連する記載を抜粋すると、次の記載がある。なお、図を明細書の対応する記載箇所に挿入して示した。 「【技術分野】 …（中略）… 【０００２】 ［技術分野］ 本発明は、一般に、電話やタブレットなどの携帯デバイスに組み込まれるものを含む、カメラに関して使用される光学画像安定化（optical image stabilization、OIS）サスペンションに関する。 【背景技術】 【０００３】 形状記憶合金（shape memoryalloy、「SMA」）カメラレンズ光学画像安定化（「OIS」）サスペンションは、一般に既知であり、例えば、Ｈｏｗａｒｔｈの特許文献１、Ｍｉｌｌｅｒの特許文献２、及びＢｒｏｗｎの特許文献３、Ｌａｄｗｉｇの特許文献４、Ｅｄｄｉｎｇｔｏｎの特許文献５、Ｈｏｗａｒｔｈの特許文献６、並びに特許文献７及び特許文献８にて公開されており、そのすべての全体が言及によってあらゆる目的で本明細書に援用されている。実施形態は、支持部材に取り付けた可動部材を含むものである。支持部材の可動部材とは反対側には、ベース部を取り付けることができる。これらのタイプのＯＩＳ組立体は、ベース部又は支持部材に取り付けたイメージセンサと可動部材に取り付けたオートフォーカス（auto focus、「AF」）組立体又はメカニズムを備えたレンズホルダとを有するものである。ＳＭＡワイヤは、可動部材を支持部材に連結するとともに、制御部によって制御される。ＳＭＡワイヤは、ユーザの手の動きによって起こり得るものなどの振動に対して、センサ上のレンズによって生成される画像の位置を安定化するために、可動部材を支持部材に対してｘ－ｙ軸に関して移動させるように駆動される。 【先行技術文献】 【特許文献】 【０００４】 【特許文献１】米国特許第９，１７５，６７１号明細書 【特許文献２】米国特許第９，３６６，８７９号明細書 【特許文献３】米国特許第９，４７９，６９９号明細書 【特許文献４】米国特許出願公開第２０１６／０１５４２５１号明細書 【特許文献５】米国特許出願公開第２０１５／０１３５７０３号明細書 【特許文献６】米国特許出願公開第２０１５／０３４６５０７号明細書 【特許文献７】国際公開第２０１４／０８３３１８号 【特許文献８】国際公開第２０１３／１７５１９７号 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【０００５】 しかしながら、改良されたＯＩＳサスペンションが引き続き必要とされている。高機能、堅牢であり、製造効率のよいこれらのタイプのＯＩＳサスペンションは特に望ましいものである。 【課題を解決するための手段】 【０００６】 サスペンション組立体が記載される。サスペンション組立体は、静止部材又は静止プレートと、静止プレートに対してｘ軸及びｙ軸に関して移動可能な可動部材又は可動プレートと、可動プレートにおけるセンサ取付領域と、静止プレートと可動プレートとの間に延びてそれらに連結される１つ以上の形状記憶合金（SMA）素子とを含む。ＳＭＡ素子は、制御部によって駆動されると、可動プレート及びその上のセンサ取付領域を静止プレートに対してｘ軸及びｙ軸に関して移動させる。」 「【００３９】 図１７は、実施形態にかかるバイメタルアクチュエータとしてなされた光学画像安定化サスペンション組立体を示す。光学画像安定化サスペンション組立体は、可動部材１７２２に配置されて取り付けられるイメージセンサを有するように構成される。可動部材１７２２は、可動部材１７２２の外側に配置される、ばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄを含む。ばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄは、種々の実施形態において、各ストラット１７０６ａ～１７０６ｄを介して可動部材１７２２に連結される。ＳＭＡ材料１７０８ａ～１７０８ｄなどのＳＭＡ素子は、ばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄのそれぞれに付加される。ＳＭＡ材料１７０８ａ～１７０８ｄは、接着剤、はんだ、レーザ溶接、抵抗溶接、及び当該技術分野で既知のものを含む他の技術を使用してばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄに取り付けられる。ステンレス鋼などの伝導材料から形成されるばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄを含む一部の実施形態では、ＳＭＡ材料１７０８ａ～１７０８ｄは、当該技術分野において既知のものを含む技術を使用して、ばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄに形成された絶縁層に配置される。他の実施形態では、ＳＭＡ材料は、ＳＭＡ材料の端部のみでばねアームに電気的及び構造的に取り付けることができ、ＳＭＡ材料の中心領域ではばねアームから開放されている。中心領域で開放されていることにより、ＳＭＡ材料は作動時に真っ直ぐに引っ張る一方で、ばねアームが円弧状に湾曲する。ばねアームは、起動とも呼称される作動のためにＳＭＡ材料を介して電力を与える電気回路を含むことができる。 【図１７】 ［図：0001435447000002.jpg］ 【００４０】 ＳＭＡ材料１７０８ａ～１７０８ｄは、ばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄのいずれかの側部、すなわち、可動部材１７２２の方に向かうばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄの側部、又は可動部材１７２２から離れる方に向かうばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄの表面に付加することができる。一部の実施形態では、ＳＭＡ材料１７０８ａ～１７０８ｄは、ばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄの両方の側部に付加される。 【００４１】 ＳＭＡ材料１７０８ａ～１７０８ｄは加熱されるとばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄを湾曲させて、ｘ軸及びｙ軸の方向における可動部材１７２２の動きをもたらす。制御部は、可動部材１７２２のｘ軸及びｙ軸の方向における十分な動きをもたらすために、ＳＭＡ材料、１つ以上のばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄに連携した力を与えるように使用することが可能である。図１８は、当該技術分野で既知の技術を使用して、ＳＭＡ材料が加熱されて、冷間状態から熱間状態に変化し、そして冷間状態に戻るときのＳＭＡ材料の例の動きを示す。例として、ＳＭＡ材料１７０８ａ～１７０８ｄは、電流で加熱可能である。 【図１８】 ［図：0001435447000003.jpg］ 【００４２】 また、ばねアーム１７０４ａ～１７０４ｄは静止脚部１７１０ａ～１７１０ｄを含む。静止脚部１７１０ａ～１７１０ｄは静止部材に取り付けられるように構成されて、ＳＭＡ材料１７０８ａ～１７０８ｄが作動されると可動部材１７２２が静止部材に対して移動するようにする。」 ３ 当審拒絶理由通知書で通知した拒絶の理由の要旨 当審拒絶理由通知書で通知した拒絶の理由のうち理由４（進歩性の欠如）の要旨は、次のとおりである。 理由４（進歩性の欠如） 本願発明は、最先の優先日前に発行された下記の引用文献に記載された発明に基づいて、最先の優先日前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 記 ＜主たる引用文献＞ 引用文献１．特開２００８－２０３４０２号公報 ＜周知技術等を示す文献＞ 周知文献１．特表２０１５－５１８９７７号公報 周知文献２．国際公開第２０１６／００９２００号 （日本語ファミリ：特表２０１７－５２２６１５号公報） 周知文献３．国際公開第２０１３／１１８６０１号 周知文献４．特開平１１－３３７９９６号公報 ４ 引用文献１に記載された事項及び引用発明の認定等 (１) 引用文献１に記載された事項 当審拒絶理由通知書の拒絶の理由において引用された、最先の優先日前に発行された文献である引用文献１（特開２００８－２０３４０２号公報）には、次の記載がある（なお、図面は、対応する説明がされているところに適宜挿入して示した。また、当合議体により、後記(２)の引用発明の認定に直接用いる記載に下線を付した。）。 ア 特許請求の範囲 「【請求項１】 センサ装置であって、 固定部と、 センサを設けた移動部と、 前記固定部に固設され、前記移動部を支持する梁部と、 前記梁部の少なくとも一部を変形させることで前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させる駆動力付与部と、 前記梁部の前記センサ側から前記固定部側に至るまで配設され、前記センサと所定の外部回路との間を電気的に接続する配線部と、 を備えたことを特徴とするセンサ装置。 …（中略）… 【請求項７】 請求項１から請求項４のいずれかに記載のセンサ装置であって、 前記駆動力付与部が、 形状記憶合金を含むことを特徴とするセンサ装置。 …（中略）… 【請求項１４】 請求項１から請求項１２のいずれかに記載のセンサ装置であって、 前記駆動力付与部が、 前記梁部を変形させることで少なくとも前記センサの所定面に対して水平な一方向に沿って前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させることを特徴とするセンサ装置。 【請求項１５】 請求項１４に記載のセンサ装置であって、 前記駆動力付与部が、 前記梁部を変形させることで前記センサの所定面に対して水平であって前記一方向と直交する他方向に沿って前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させることを特徴とするセンサ装置。 …（後略）」 イ 段落【０００１】～【０００７】 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、センサを備えた装置に関する。 【背景技術】 【０００２】 近年、カメラを保持する手の振れなどに起因して撮影画像において生じる像振れを補正する機能（所謂手振れ補正機能）を有するカメラが広く普及してきている。小型のデジタルカメラや撮影機能付きの携帯電話機などといった軽量の撮像装置においては、特に手振れが発生し易いため、この手振れ補正機能の搭載が望まれる。 【０００３】 ところが、この手振れ補正機能を実現するためには、撮像素子などの各種部材を駆動させる駆動機構が必要であるため、撮像装置の小型・軽量化を図る上で障害となっている。 【０００４】 このような問題に対して、固定性基板と、固定性基板上に流動可能に配置される流動性基板と、固定性基板上に固定され、流動性基板上に配置される固定性櫛構造と、流動性基板上に配置され、流動性基板とともに固定性基板上で流動可能に構成される流動性櫛構造と、を含み、固定性櫛構造と流動性櫛構造に起電力が印加されることによって、固定性櫛構造と流動性櫛構造の間に作用する引力により流動性基板が流動するカメラレンズアセンブリーの手振れ補正装置が提案されている（例えば特許文献１）。 【０００５】 【特許文献１】特開２００６－１３３７３０号公報 【発明の開示】 【発明が解決しようとする課題】 【０００６】 しかしながら、上記特許文献１で提案された技術では、流動性基板上に設けられたイメージセンサからの各種信号が、所謂フレキシブル基板（FPC：Flexible printed circuits）を介して外部装置に出力される。このため、流動性基板を駆動させる際に、フレキシブル基板の変形に要する力に応じた反力が流動性基板に対して働き、流動性基板の微小駆動の阻害要因となる。すなわち、移動対象物の移動精度が低くなってしまう。 【０００７】 本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、移動対象物の移動精度が高い小型のセンサ装置ならびに撮像装置を提供することを目的とする。」 ウ 段落【００３０】～【０１０５】、【図１】～【図３】 「【発明を実施するための最良の形態】 【００３０】 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 【００３１】 ＜撮像装置＞ 図１は、本発明の実施形態に係る撮像装置１の概略構成を模式的に示す断面図である。図１および図１以降の図では、方位関係を明確化するために相互に直交するＸＹＺの３軸を付している。 【図１】 ［図：0001435447000004.jpg］ 【００３２】 撮像装置１は、主に撮像装置の本体部（カメラ本体部）２と、レンズ群４を含む光学系である鏡胴３とを備え、いわゆる手振れ補正機能を有するデジタルカメラである。 【００３３】 レンズ群４は、複数のレンズ４ａ～４ｃを備え、各レンズ間の距離が適宜変更されることで、撮影倍率および焦点の調整が可能となっている。 【００３４】 カメラ本体部２は、駆動機構１０および撮像素子１６を有して構成されるセンサ装置部５０を搭載するとともに、撮像装置１の全体を統括制御する制御部５を備えている。 【００３５】 撮像素子１６は、いわゆる撮像センサーチップによって構成され、鏡胴３の光軸Ｌに沿って入射される被写体に係る光像（被写体像）を＋Ｚ側に向いた前面（受光面）で受光し、各画素毎に画素信号に光電変換して、制御部５に対して出力する。 【００３６】 制御部５は、ＣＰＵやメモリやＲＯＭなどを含む回路によって構成され、例えばＲＯＭ内に格納されるプログラムをＣＰＵで実行することで、各種制御や機能を実現する。 【００３７】 駆動機構１０は、カメラ本体部２に対して固設され、制御部５からの制御信号に基づいて駆動することで、カメラ本体部２に対する撮像素子１６の姿勢を適宜変更させる。 【００３８】 駆動機構１０を駆動させる制御信号は、撮像装置１を保持するユーザーの手振れによる撮像装置１の振れの方向および量をジャイロ等のセンサ（不図示）を用いて検知し、当該振れの方向および量に基づく演算によって得られた制御量に対応する信号である。 【００３９】 撮影時に撮像装置１の姿勢がぶれると、撮影範囲がずれて主要な被写体と撮像装置１との相対的な角度関係がぶれる。このとき、何もしなければ、１フレーム分の記憶用の撮影画像を取得するための露光時間中において撮像素子１６で受光する被写体像がずれるため、撮影画像上で被写体がぶれてしまう。 【００４０】 そこで、撮像装置１では、手振れ補正機能により、撮像装置１の姿勢のぶれに対応して駆動機構１０が撮像素子１６の姿勢を変更することで、撮影時において撮像素子１６で受光される被写体像が極力一定となるように制御する。この手振れ補正により、撮影画像のぶれ補正、すなわち像振れ補正が実現される。 【００４１】 ＜センサ装置部の構成＞ 図２は、本発明の実施形態に係るセンサ装置部５０の主要な構成を模式的に示す図である。図２(ａ)は、センサ装置部５０の主要な構成を撮像素子１６の正面側（＋Ｚ方向）から見た正面図であり、図２(ｂ)は、図２(ａ)のＡ－Ａ断面を模式的に示した図である。 【図２】 ［図：0001435447000005.jpg］ 【００４２】 センサ装置部５０の主要な構成にあたるアクチュエート機構（駆動機構１０）は、複雑なパターンで構成される。このパターンは、微細装置の集積化のために使用される手法であるマイクロマシニング（micromachining）技法により製作される。この技法は、半導体加工技術の一種として、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）と称される。 【００４３】 ここで、ＭＥＭＳとは、半導体工程、特に集積回路技術を応用したマイクロマシニング技術を利用して、μｍ単位のマイクロセンサーやアクチュエータや電気機械的構造物を製作する技術を意味する。なお、マイクロマシニング技術により製作された微細な機械的構造は、ｍｍ以下のサイズおよびμｍ以下の精度で具現化される。 【００４４】 マイクロマシニング技術は、超精密微細加工を通じて、製作物の小型化、高性能化、多機能化、および集積化を可能とし、安全性および信頼性を向上させる長所がある。また、一体化された集積システムの具体化が可能であるため、別部材を組み合わせる組み立て工程の必要性が低減される。よって、一括工程による製作が可能となることにより、安価な大量生産が可能となる。 【００４５】 なお、ＭＥＭＳは、本発明の実施形態に係るセンサ装置部５０を製作するための一工法として用いられるが、センサ装置部５０の構造と直接的に関連する構成ではないため、ここでは、ＭＥＭＳを用いたセンサ装置部５０の製作工程についての詳細説明は省略する。 【００４６】 以下、図２を参照しつつセンサ装置部５０の構成について説明する。 【００４７】 センサ装置部５０は、主に、固定部２０、移動部１４０、静電アクチュエータ部１４５、梁構造部１０３、および支持部ＴＭを備えている。 【００４８】 図示を省略しているが、固定部２０は、カメラ本体部２に対して固設されている。 【００４９】 移動部１４０は、略矩形状の盤面を有する移動基板１０７と、当該移動基板１０７上に設けられた撮像素子１６および位置センサ１７とを備えて構成されている。また、移動部１４０は、移動基板１０７の各辺の両端部近傍にそれぞれ設けられた合計８つの梁構造部１０３により固定部２０から＋Ｚ方向にある程度離隔された状態で支持されている。 【００５０】 梁構造部１０３は、例えばシリコン（Ｓｉ）を主材料とする厚みが薄い帯状でかつ蛇行状の構造を有し、一端が移動基板１０７に対して固設されているとともに、他端が固定部２０上の支持部ＴＭに固設されている。 【００５１】 静電アクチュエータ部１４５は、固定部２０に対して固設されている櫛構造を有する部分（固定櫛構造部）１０４、および連結部ＣＮによって移動部１４０と連結されている櫛構造を有する部分（移動櫛構造部）１０５を備えて構成されている。より詳細には、移動基板１０７の各辺の中央付近に連結部ＣＮの一端がそれぞれ固設され、各連結部ＣＮの他端に移動櫛構造部１０５が固設されている。 【００５２】 固定櫛構造部１０４および移動櫛構造部１０５の櫛構造を構成する各突起部は、例えば、厚みおよび幅ともに数μｍ程度の寸法を有し、各突起部間の間隔も数μｍ程度の寸法を有している。そして、固定櫛構造部１０４の櫛構造を構成する突起部の各間隙に、移動櫛構造部１０５の櫛構造を構成する各突起部が入り込むように配置され、且つ固定櫛構造部１０４の各突起部と、移動櫛構造部１０５の各突起部とが所定距離だけ離隔された状態が初期状態として設定される。 【００５３】 なお、静電アクチュエータ部１４５では、固定櫛構造部１０４と移動櫛構造部１０５との間に互いに反発し合う静電気力が発生するため、移動部１４０は、梁構造部１０３だけでなく、当該静電気力によっても支持される。 【００５４】 また、初期状態では、固定櫛構造部１０４の櫛構造に対して移動櫛構造部１０５の櫛構造が若干＋Ｚ方向にずらされて配置されている。 【００５５】 ここで、梁構造部１０３は、比較的柔らかい素材（Ｓｉ）によって構成されるとともに厚みが薄い帯状の構造を有するため、可撓性を有している。 【００５６】 したがって、静電アクチュエータ部１４５における固定櫛構造部１０４と移動櫛構造部１０５との間で相互に及ぼし合う斥力の変更により、移動部１４０に対して駆動力が付与され、梁構造部１０３が適宜弾性変形する。このとき、移動櫛構造部１０５が固定櫛構造部１０４に対してＺ軸方向に沿って相対的に移動する。 【００５７】 具体的には、例えば、移動基板１０７の対辺に固設された２つの静電アクチュエータ部１４５において、固定櫛構造部１０４と移動櫛構造部１０５との間における斥力が強まると、移動部１４０が押し出されるように、＋Ｚ方向に沿って固定部２０に対して相対的に移動する。そして、固定櫛構造部１０４と移動櫛構造部１０５との間における斥力が弱まると、梁構造部１０３の弾性力により、移動部１４０が、－Ｚ方向に沿って初期位置に向けて固定部２０に対して相対的に移動する。 【００５８】 また、移動基板１０７の対辺に固設された２つの静電アクチュエータ部１４５によって移動部１４０に対して付与される力が偏った場合には、移動部１４０と固定部２０との角度関係が変更される。このような動きにより撮像素子１６と光軸Ｌとの角度関係が変更される。 【００５９】 このような固定櫛構造部１０４に対する移動櫛構造部１０５の相対的な移動の結果、固定部２０に対して移動部１４０が相対的に移動され、撮像素子１６の姿勢が適宜変更される。なお、静電アクチュエータ部１４５の駆動は、制御部５からの制御信号に基づいて適宜制御される。 【００６０】 移動基板１０７、梁構造部１０３、固定櫛構造部１０４、および移動櫛構造部１０５は、上記ＭＥＭＳと称される技法（ＭＥＭＳ技法）によって同時期に形成される。 【００６１】 具体的には固定部２０を構成する固定基板上に積層された積層物に対してＭＥＭＳ技法によるエッチング処理を施して移動基板１０７、梁構造部１０３、固定櫛構造部１０４、および移動櫛構造部１０５が同一工程で同時期に生成される。 【００６２】 ここで、ＭＥＭＳ技法を適用するために固定部２０を構成する固定基板がガラス基板を用いて製作される。そして、移動基板１０７、梁構造部１０３、固定櫛構造部１０４、および移動櫛構造部１０５を形成するための積層物は、例えば珪素（Ｓｉ）などの所定材料の層によって生成される。 【００６３】 また、撮像素子１６や位置センサ１７などは、Ｓｉなどの半導体材料を主材料として形成されることが多く、その場合には、梁構造部１０３の少なくとも一部が、撮像素子１６や位置センサ１７の主材料と同じ素材で構成される。 【００６４】 このような場合には、撮像素子１６や位置センサ１７などの各種センサも、ＭＥＭＳ技法によって梁構造部１０３と同一工程で同時期に生成することができ、効率的な生産が可能となる。換言すれば、撮像素子１６や位置センサ１７などの各種センサと同一の加工およびプロセスの中で、梁構造部１０３を形成できるため、梁構造部１０３の形成が容易となる。 【００６５】 移動基板１０７上に配設される撮像素子１６は、移動基板１０７に対して直接接合されている。直接接合とは、接着剤を用いない接合方法であり、例えば同種の材料間で生じる表面間の引力を利用した接合方法である。この直接接合は、接合後の強度確保や歪の低減、接合の簡便性、および省スペース化の実現などの面で非常に優れている。 【００６６】 本実施形態では、移動基板１０７および撮像素子１６の主材料が共に珪素（Ｓｉ）であるため、直接接合を利用することで、上記利点が得られる。 【００６７】 なお、本実施形態では、移動基板１０７と撮像素子１６とを直接接合を用いて接合しているが、これに限られず、例えば、移動基板１０７を設けることなく、撮像素子１６の背面（受光面の反対側の面）側に移動櫛構造部１０５を直接形成するようにしても良い。ここで、撮像素子１６上に光電変換機能を有する多数の画素を形成するプロセス、および移動櫛構造部１０５を形成するプロセスは、ともに基本的には同じ半導体製造プロセスである。このため、撮像素子１６の両面にＳｉの積層などの加工を施すことに特段の困難性はない。 【００６８】 このように、撮像素子１６の両面に、受光面および移動櫛構造部１０５の２つの機能を併せて持たせるような構成を採用すると、移動基板１０７と撮像素子１６との接合自体が不必要となるため、直接接合の場合よりも強度確保や歪の低減や省スペース化の実現などの各種メリットが得られる。 【００６９】 また、撮像素子１６上あるいは固定部２０の固定基板上には移動櫛構造部１０５などといったアクチュエート機構に係る各部のみならず、固定部２０の固定基板に対する移動基板１０７の位置を検出する位置センサ１７や撮像装置１の振れを検出するジャイロセンサなどの各種センサ類など、半導体製造プロセスで形成可能な機能も一体的に構成できる。 【００７０】 また、図２では図示を省略しているが、撮像素子１６や位置センサ１７と制御部５との間で各種信号などの送受信を行うための配線が梁構造部１０３上において当該梁構造部１０３の延設方向に沿って配設されている。この梁構造部１０３上に配設される配線は、上記の半導体製造プロセスを用いて、静電アクチュエータ部１４５と同時期に形成できる。なお、配線の配設経路については後述する。 【００７１】 梁構造部１０３上に配線を形成する工程としては、例えば、珪素（Ｓｉ）層表面に導電層（Ａｌ，Ｃｕ，Ｐｏｌｙ－Ｓｉなど）を積層させ、この導電層に対して選択的なエッチング処理を施すことで、配線が形成される工程が挙げられる。 【００７２】 移動基板１０７、梁構造部１０３、配線部１１０、および固定部２０を構成する固定基板は、上述したように同様なプロセスで形成できるため、一体的に製造され、各部を機械的に接続する必要性がない。 【００７３】 このように、移動基板１０７、梁構造部１０３、配線部１１０、および固定部２０を構成する固定基板が一体的に構成されると、移動部１４０を固定部２０に対して相対的に移動させる際に、梁構造部１０３と移動基板１０７とが接続する部分や梁構造部１０３と支持部ＴＭとが接続する部分などにおいて、梁構造部１０３の変形に伴う応力集中が生じ難くなるため好ましい。 【００７４】 なお、図２では図示を省略しているが、センサ装置部５０では、撮像素子１６の前面側（＋Ｚ方向の側）に保護ガラスが設けられて密封状態が保持されている。この保護ガラスの代わりに、レンズ群４に含まれる最も撮像素子１６に近いレンズによって密封状態を保持するような構成を採用しても良い。 【００７５】 ＜梁構造部の形態と配線経路＞ 図３は、梁構造部１０３の形態と配線の配設経路を模式的に例示する図である。図３では、合計で８つ存在している梁構造部１０３のうち、１つの梁構造部１０３に着目し、梁構造部１０３の形状および当該梁構造部１０３上に配設される配線経路を例示している。図３(ａ)は、撮像素子１６の正面側（＋Ｚ方向）から見た正面図であり、図３(ｂ)は、図３(ａ)で示されたものを、－Ｙ方向から＋Ｙ方向に向いて見た側面図である。 【図３】 ［図：0001435447000006.jpg］ 【００７６】 まず、梁構造部１０３の形態について説明する。 【００７７】 図３(ａ)に示すように、梁構造部１０３は、正面側（図中の＋Ｚ方向）から見ると、移動基板１０７の一辺の端部付近から移動基板１０７の側方（図中の－Ｙ方向）に突設された部分（突設部）１０３ａと当該突設部１０３ａから支持部ＴＭまで至るコの字型の部分（コの字部）１０３ｂとを備えて構成されている。 【００７８】 コの字部１０３ｂは、両端の第１および第２長辺部１０３ｂａ，１０３ｂｃと第１および第２長辺部１０３ｂａ，１０３ｂｃを連結する連結部１０３ｂｂとを有する。すなわち、梁構造部１０３は、突設部１０３ａ、第１長辺部１０３ｂａ、連結部１０３ｂｂ、および第２長辺部１０３ｂｃの順に一体的に構成されている。 【００７９】 また、図３(ｂ)に示すように、梁構造部１０３は、側方（図中の－Ｙ方向）から見ると、第１長辺部１０３ｂａが図中左上方から右下方に向けて延設され、第２長辺部１０３ｂｃが図中右上方から左下方に向けて延設されて構成されている。そして、梁構造部１０３は、Ｓｉなどといった比較的軟質の素材で構成され、かつ厚み（図中Ｚ軸方向に沿った厚み）が比較的薄く構成されているため、可撓性を有したバネ構造を形成している。 【００８０】 すなわち、移動部１４０が、４方の角部付近を各々２つの梁構造部１０３、合計８つの梁構造部１０３によって周囲から支持されることで、固定部２０に対して浮いた状態で支持されている。 【００８１】 そして、上述したように、移動部１４０の四方に配置された静電アクチュエータ部１４５によって、移動部１４０に対して負荷が掛けられると、梁構造部１０３が適宜変形して、移動部１４０が撮像素子１６や位置センサ１７などの所定面（ここでは前面）に対して垂直な方向に沿って相対的に移動する。 【００８２】 また、図３で示すように、梁構造部１０３は、Ｓｉなどの軟質な素材で形成されているとともに、帯状で且つ蛇行状に延設されているため延設距離が移動部１４０と固定部２０との離隔距離よりも例えば数倍以上と相対的に長く、図３では、相対的に３倍以上長い例が示されている。 【００８３】 このため、移動部１４０が固定部２０に対して相対的な移動を行う際における梁構造部１０３の変形は、局所的に集中することもなく、激しいねじれなども生じないため、梁構造部１０３は非常に耐久性に優れている。また、梁構造部１０３が微細であるため、複数（ここでは、８つ）形成することが可能であるため、この面でも、各梁構造部１０３に掛かる負荷が分散され、高耐久性が実現される。 【００８４】 なお、梁構造部１０３は、移動部１４０を支えるためにある程度の幅を有しておく必要性があるが、長い延設距離で変形応力を分散させつつ、弾性変形することが可能であるため、特に問題ない。 …（中略）… 【０１０４】 ◎また、上記実施形態では、静電アクチュエータ部１４５によって移動部１４０に対して外部から駆動力を付与したが、これに限られず、例えば、圧電素子を用いたアクチュエータ（圧電アクチュエータ）や、形状記憶合金（ＳＭＡ）を用いたアクチュエータ（ＳＭＡアクチュエータ）などといったその他のアクチュエータを採用しても、上記実施形態と同様な効果が得られる。 【０１０５】 なお、圧電アクチュエータやＳＭＡアクチュエータは小型のものが比較的容易に製作可能であるため、静電アクチュエータ部１４５と同様に、センサ装置の小型化を確保する上で好適である。」 エ 段落【０１０６】～【０１３５】、【図５】～【図７】 「【０１０６】 図５は、図２で示したセンサ装置部５０の静電アクチュエータ部１４５を、固体が伸縮するタイプのアクチュエータ（例えば、圧電アクチュエータやＳＭＡアクチュエータ）１６０に置換したセンサ装置部５０Ｂの主要な構成を示す模式図である。図５(ａ)は、図２(ａ)と同様に、センサ装置部５０Ｂの主要な構成を撮像素子１６の正面側（＋Ｚ方向）から見た正面図であり、図５(ｂ)は、図２(ｂ)と同様に、図５(ａ)のＣ－Ｃ断面を示す模式図である。なお、上記実施形態と同様に、撮像素子１６や位置センサ１７などの各部と制御部５とを電気的に接続する配線が、梁構造部１０３上において延設方向に沿って配設されているが、図５では図の複雑化を防ぐため、図示が省略されている。 【図５】 ［図：0001435447000007.jpg］ 【０１０７】 図５に示すように、固体が伸縮するタイプのアクチュエータ（固体伸縮アクチュエータ）１６０は、直方体状の形状を有し、１つの面が固定部２０に対して直接または間接的に固設されるとともに、固定部２０に対して固設されている面とは反対側の面が、連結部ＣＮを介して移動部１４０に対して固設されている。そして、固体伸縮アクチュエータ１６０の伸縮により、移動部１４０に対して駆動力が付与され、このとき、梁構造部１０３が変形することで、移動部１４０が固定部２０に対して相対的に移動する。 【０１０８】 ◎また、上記実施形態では、梁構造部１０３が変形することで、少なくともセンサ（例えば、撮像素子１６や位置センサ１７）の前面に対して略垂直な方向に沿って移動部１４０が固定部２０に対して相対的に移動したが、これに限られず、固定部２０に対する移動部１４０の相対的な移動の形態として、その他の形態を採用しても良い。その他の移動形態としては、例えば、センサ（例えば、撮像素子１６や位置センサ１７）の前面（一般的には所定面）に対して略平行な方向に沿って移動部が固定部に対して相対的に移動するような形態が挙げられる。 【０１０９】 図６および図７は、撮像素子１６が設けられた移動部１４０Ｃ，１４０Ｄが撮像素子１６の前面に対して略平行な方向に沿って移動するセンサ装置部５０Ｃ，５０Ｄの構成をそれぞれ例示した図である。図６では、一方向に沿って移動部１４０Ｃが移動する形態が示され、図７では、略直交する２方向に沿って移動部１４０Ｄが移動する形態が示されている。 【０１１０】 まず、図６で示すセンサ装置部５０Ｃについて説明する。 【０１１１】 図６(ａ)は、図２(ａ)と同様に、センサ装置部５０Ｃの主要な構成を撮像素子１６の正面側（＋Ｚ方向）から見た正面模式図であり、図６(ｂ)は、図２(ｂ)と同様に、図６(ａ)のＤ－Ｄ断面を示す模式図である。なお、上記実施形態と同様に、撮像素子１６などの各部と制御部５とを電気的に接続する配線が、梁構造部１０３Ｃ上において延設方向に沿って配設されているが、図６では図の複雑化を防ぐため、図示が省略されている。 【０１１２】 図６に示すように、センサ装置部５０Ｃは、底面が略正方形の器状の固定部２０Ｃと、撮像素子１６の前面側（＋Ｚ方向側）に設けられた前面ガラス板ＵＧとによって密封された内部空間ＳＰＣを有している。センサ装置部５０Ｃの主要な部分は、この内部空間ＳＰＣの内部に配置されており、以下主要な部分について説明する。 【図６】 ［図：0001435447000008.jpg］ 【０１１３】 内部空間ＳＰＣの底面には、まず、略長方形状の盤面を有する部分と固定部２０Ｃを貫通する多数の配線とによって構成されるリードフレーム部ＲＦが配置されている。このリードフレーム部ＲＦ上には、略長方形状の盤面を有するガラス基板（底面ガラス基板）１０１が固設されている。そして、底面ガラス基板１０１から所定距離だけ＋Ｚ方向に離隔した位置に移動部１４０Ｃが配置されている。この移動部１４０Ｃは、盤面が略長方形状の移動基板１０７Ｃと当該移動基板１０７Ｃの＋Ｚ方向の面に形成された撮像素子１６を備えて構成されている。 【０１１４】 底面ガラス基板１０１の盤面上（＋Ｚ方向の面上）の＋Ｘ方向ならびに－Ｘ方向の中央部の縁部近傍に支持部ＴＭＣがそれぞれ設けられ、各支持部ＴＭＣから移動基板１０７Ｃの４つの角部のうち比較的近距離に位置している２つの角部近傍に至るまで２本の帯状の梁構造部１０３Ｃが設けられている。つまり、４本の梁構造部１０３Ｃが配置されている。この梁構造部１０３Ｃは、上記実施形態に係る梁構造部１０３とは蛇行する態様は異なるが、素材ならびに厚みや幅については、同様な構成を有しており、可撓性を有する移動部１４０Ｃを支持する部材として機能している。 【０１１５】 また、移動基板１０７Ｃの＋Ｘ方向ならびに－Ｘ方向には、それぞれ静電アクチュエータ部１４５Ｃが設けられている。各静電アクチュエータ部１４５Ｃは、主に、固定櫛構造部１０４Ｃと移動櫛構造部１０５Ｃとを有している。 【０１１６】 移動櫛構造部１０５Ｃは、移動基板１０７Ｃの＋Ｘ方向ならびに－Ｘ方向の縁部にＸ軸方向に沿って延設される多数の突起部によって構成されている。固定櫛構造部１０４Ｃは、移動部１４０Ｃを＋Ｘ方向ならびに－Ｘ方向から挟むように配置されて底面ガラス基板１０１上に固設された直方体状の部位１１５Ｃのうち、移動部１４０Ｃに向いた面にＸ軸方向に沿って延設される多数の突起部を備えて構成されている。そして、固定櫛構造部１０４Ｃの多数の突起部の各突起部間に、移動櫛構造部１０５Ｃの各突起部が若干だけ入り込むように配置されている。但し、初期状態では、固定櫛構造部１０４Ｃと移動櫛構造部１０５Ｃとが所定距離だけ離隔した状態で配置されている。 【０１１７】 なお、移動櫛構造部１０５Ｃの電極部は梁構造部１０３Ｃ上に配置された配線を介してグランド電極部（ＧＮＤ）に接続されている。 【０１１８】 ここで、＋Ｘ側の固定櫛構造部１０４Ｃに正の電位を印加すると、＋Ｘ側の固定櫛構造部１０４Ｃと＋Ｘ側の移動櫛構造部１０５Ｃとの間に静電気力による引力が発生する。このとき、＋Ｘ側の移動櫛構造部１０５Ｃが＋Ｘ方向に引き寄せられて、移動櫛構造部１０５Ｃが固設されている移動基板１０７Ｃが＋Ｘ方向に移動する。このとき、４本の梁構造部１０３Ｃが適宜変形することで移動部１４０Ｃが固定部２０Ｃに対して＋Ｘ方向に沿って相対的に移動する。そして、＋Ｘ側の固定櫛構造部１０４Ｃへの電位の印加を停止すると、梁構造部１０３Ｃの復元力（弾性力）により移動基板１０７Ｃごと移動部１４０Ｃが元の初期位置に戻る。 【０１１９】 一方、－Ｘ側の固定櫛構造部１０４Ｃに正の電位を印加すると、－Ｘ側の固定櫛構造部１０４Ｃと－Ｘ側の移動櫛構造部１０５Ｃとの間に静電気力による引力が発生する。このとき、－Ｘ側の移動櫛構造部１０５Ｃが－Ｘ方向に引き寄せられて、移動櫛構造部１０５Ｃが固設されている移動基板１０７Ｃが－Ｘ方向に移動する。このとき、４本の梁構造部１０３Ｃが適宜変形することで移動部１４０Ｃが固定部２０Ｃに対して－Ｘ方向に沿って相対的に移動する。そして、－Ｘ側の固定櫛構造部１０４Ｃへの電位の印加を停止すると、梁構造部１０３Ｃの復元力（弾性力）により移動基板１０７Ｃごと移動部１４０Ｃが元の初期位置に戻る。 【０１２０】 したがって、センサ装置部５０Ｃを備えた手振れ補正装置では、移動基板１０７Ｃを移動させるべき方向に電位（すなわち電圧）を印加することで、手振れなどによる像振れ（撮影画像の劣化）を補正できる。そして、電圧の印加が停止されると、梁構造部１０３Ｃの弾性力に起因した復元力により、移動基板１０７Ｃが初期位置に復帰する。 【０１２１】 次に、図７で示すセンサ装置部５０Ｄについて説明する。 【図７】 ［図：0001435447000009.jpg］ 【０１２２】 図７(ａ)は、図２(ａ)と同様に、センサ装置部５０Ｃの主要な構成を撮像素子１６の正面側（＋Ｚ方向）から見た正面模式図であり、図７(ｂ)は、図２(ｂ)と同様に、図７(ａ)のＥ－Ｅ断面を示す模式図である。なお、上記実施形態と同様に、撮像素子１６などの各部と制御部５とを電気的に接続する配線が、梁構造部１０３Ｄ，１０３Ｅ上に配設されているが、図６では図の複雑化を防ぐため、図示が省略されている。 【０１２３】 図７で示すセンサ装置部５０Ｄでは、一方向に沿って移動部を移動させるための構成が、２階建てのような形式で２つ重ねられて設けられている。より詳細には、撮像素子１６が＋Ｚ方向の面に設けられた移動部１４０Ｄを一方向（Ｘ軸方向）に沿って固定部２０Ｄに対して相対的に移動させる構成と、移動部１４０Ｄを上記一方向と略直交する方向（Ｙ軸方向）に沿って固定部２０Ｄに対して相対的に移動させる構成とが設けられている。以下、具体的構成について説明する。 【０１２４】 図７に示すように、センサ装置部５０Ｄは、底面が略正方形の器状の固定部２０Ｄと、撮像素子１６の前面側（＋Ｚ方向側）に設けられた前面ガラス板ＵＧとによって密封された内部空間ＳＰＤを有している。センサ装置部５０Ｄの主要な部分は、この内部空間ＳＰＤに配置されており、以下主要な部分について説明する。 【０１２５】 内部空間ＳＰＤの底面には、まず、略長方形状の盤面を有する部分と固定部２０Ｄを貫通する多数の配線とによって構成されるリードフレーム部ＲＦｄが配置されている。このリードフレーム部ＲＦｄ上には、略長方形状の盤面を有するガラス基板（底面ガラス基板）１０１Ｄが固設されている。そして、底面ガラス基板１０１Ｄから第１の所定距離だけ＋Ｚ方向に離隔した位置にＸ軸方向に沿った長辺を有する盤面が長方形状の第１移動基板１０８Ｄが配置されている。更に、当該第１移動基板１０８Ｄから第２の所定距離だけ＋Ｚ方向に離隔した位置に盤面が略正方形状の第２移動基板１０７Ｄが配置されている。 【０１２６】 第２移動基板１０７Ｄの＋Ｚ方向の面には撮像素子１６が形成されて移動部１４０Ｄが形成されている。 【０１２７】 まず、底面ガラス基板１０１Ｄの盤面上（＋Ｚ方向の面上）において＋Ｙ方向ならびに－Ｙ方向の略中央部の縁部近傍に支持部ＴＭｄがそれぞれ設けられ、各支持部ＴＭｄから第１移動基板１０８Ｄの最も近い辺に至るまで２本の帯状の梁構造部１０３Ｅが設けられている。 【０１２８】 なお、＋Ｙ方向および－Ｙ方向にそれぞれ設けられている２本の梁構造部１０３Ｅは、第１移動基板１０８Ｄの一辺に対して、ある程度の距離だけ離隔された位置にそれぞれ固設されている。この梁構造部１０３Ｅは、Ｌ字状の形状を有し、上記実施形態に係る梁構造部１０３と同様な素材で構成され、可撓性を有する移動基板１０８Ｄを支持する部材として機能している。 【０１２９】 また、移動基板１０８Ｄの＋Ｙ方向ならびに－Ｙ方向には、それぞれ静電アクチュエータ部１４９が設けられている。各静電アクチュエータ部１４９は、移動基板１０８Ｄに固設された移動櫛構造部と、底面ガラス基板１０１Ｄの＋Ｚ方向の面上に固設された直方体状の構造体に固設された固定櫛構造部とを有している。そして、固定櫛構造部の多数の突起部の各突起部間に、移動櫛構造部の各突起部が若干だけ入り込むように配置されている。但し、初期状態では、固定櫛構造部と移動櫛構造部とは所定距離だけ離隔した状態で配置される。 【０１３０】 更に、移動基板１０８Ｄの盤面上（＋Ｚ方向の面上）において＋Ｘ方向ならびに－Ｘ方向の略中央部の縁部近傍に支持部ＴＭｄがそれぞれ設けられ、各支持部ＴＭｄから第２移動基板１０７Ｄの最も近い辺に至るまで２本の帯状の梁構造部１０３Ｄが設けられている。 【０１３１】 なお、＋Ｘ方向および－Ｘ方向にそれぞれ設けられている２本の梁構造部１０３Ｄは、第２移動基板１０７Ｄの一辺に対して、ある程度の距離だけ離隔された位置にそれぞれ固設されている。この梁構造部１０３Ｄは、Ｌ字状の形状を有し、上記実施形態に係る梁構造部１０３と同様な素材で構成され、可撓性を有する移動基板１０７Ｄすなわち移動部１４０Ｄを支持する部材として機能している。 【０１３２】 また、移動基板１０７Ｄの＋Ｘ方向ならびに－Ｘ方向には、それぞれ静電アクチュエータ部１４８が設けられている。各静電アクチュエータ部１４８は、移動基板１０７Ｄに固設された移動櫛構造部と、第１移動基板１０８Ｄの＋Ｚ方向の面上に固設された直方体状の構造体に固設された固定櫛構造部とを有している。そして、固定櫛構造部の多数の突起部の各突起部間に、移動櫛構造部の各突起部が若干だけ入り込むように配置されている。但し、初期状態では、固定櫛構造部と移動櫛構造部とは所定距離だけ離隔した状態で配置される。 【０１３３】 静電アクチュエータ１４８，１４９では、固定櫛構造部に対してグランド電位を印加し、移動櫛構造部に正の電位を印加すると、固定櫛構造部と移動櫛構造部との間に静電気力による力が発生する。この力を駆動力として適宜第１および第２移動基板１０７Ｄ，１０８Ｄに付与すると、梁構造部１０３Ｄ，１０３Ｅが適宜変形して、第１移動基板１０８Ｄが移動部１４０Ｄと一体的にＹ軸方向に沿って固定部２０Ｄに対して相対的に移動するとともに、第２移動基板１０７Ｄすなわち移動部１４０ＤがＸ軸方向に沿って固定部２０Ｄに対して相対的に移動する。 【０１３４】 なお、静電アクチュエータ１４８，１４９において電荷の印加を停止すると、梁構造部１０３Ｄ，１０３Ｅの弾性力に起因した復元力（弾性力）により、第１および第２移動基板１０７Ｄ，１０８Ｄが初期位置に復帰する。 【０１３５】 このような構成により、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿って移動部１４０Ｄを固定部２０Ｄに対して相対的に移動させることができる。そして、２軸に沿った移動を適宜組み合わせることで、撮像素子１６の所定面（ここでは、前面）に平行な面に沿って、移動部１４０Ｄを固定部２０Ｄに対して２次元的に移動させることができる。」 オ 段落【０１４７】 「【０１４７】 ◎なお、上記実施形態の構成および変形例で挙げた各種構成を、矛盾の生じない範囲で適宜組み合わせることで、各々の構成による作用効果を併せ持たせても良いのは言うまでもない。」 (２) 引用発明の認定 前記(１)に摘記した引用文献１に記載された事項を総合すると、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる（【００５７】及び【００６０】の「梁構造部１０３」は、【請求項１】の「梁部」の具体例であるので、「梁部」に記載を統一して引用発明を認定した。）。なお、認定の根拠となる記載箇所を括弧内に示した。 ＜引用発明＞ 「センサ装置であって、 固定部と、 センサを設けた移動部と、 前記固定部に固設され、前記移動部を支持する梁部と、 前記梁部の少なくとも一部を変形させることで前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させる駆動力付与部と、 前記梁部の前記センサ側から前記固定部側に至るまで配設され、前記センサと所定の外部回路との間を電気的に接続する配線部と、 を備え、（【請求項１】） 前記駆動力付与部が、形状記憶合金を含み、（【請求項７】） 前記梁部を変形させることで少なくとも前記センサの所定面に対して水平な一方向に沿って前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させるとともに、（【請求項１４】） 前記梁部を変形させることで前記センサの所定面に対して水平であって前記一方向と直交する他方向に沿って前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させるものであって、（【請求項１５】） 撮像装置の姿勢のぶれに対応して駆動機構が撮像素子の姿勢を変更することで、撮影時において撮像素子で受光される被写体像が極力一定となるように制御して、手振れ補正するためのものであり、（【００４０】） 移動部は、略矩形状の盤面を有する移動基板と、当該移動基板上に設けられた撮像素子を備えて構成されており、（【００４９】） 固定基板が固定部を構成し、（【００６１】） 梁部は、弾性力により、移動部初期位置に向けて固定部に対して相対的に移動するためのものであり、（【００５７】・【請求項１】） 移動基板及び梁部は、ＭＥＭＳと称される技法（ＭＥＭＳ技法）によって同時期に形成されたものである、（【００６０】・【請求項１】） センサ装置」 ５ 周知文献３に記載された事項と技術事項Ａの認定 (１) 周知文献３に記載された事項 当審拒絶理由通知書において周知文献３として引用された最先の優先日前に発行された文献である国際公開第２０１３／１１８６０１号には、次の記載がある。なお、当該文献の図を適宜挿入した。また、下線は当合議体が付したものであり、後記(２)及び(３)において参照する重要な箇所を示す。 ア ［０００１］～［００３４］ 「発明の名称：駆動装置およびレンズユニット 技術分野 ［０００１］ この発明は、駆動装置およびレンズユニットに関する。 背景技術 ［０００２］ 被駆動プレートの平面を、移動の前後において平行を維持して移動させる装置および方法として、特開２００７－１１４５８５号公報（特許文献１）、「２次元光走査のためのサスペンションワイヤ駆動機構」、精密光学学会誌Vol.74、No.1、2008、p102-106」（非特許文献１）、および、特表２０１１－５０１２４５号公報（特許文献２）が挙げられる。 ［０００３］ 特許文献１に開示される「像ぶれ補正装置及び撮像装置」においては、光学式手振れ補正装置の小型化を実現するために、２組の平行リンク機構とアクチュエータとを用いた像振れ補正装置が開示されている。 ［０００４］ 非特許文献１に開示される「２次元光走査のためのサスペンションワイヤ駆動機構」においては、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）スキャナの等速走査およびランダムアクセス走査を可能にするために、電磁アクチュエータを用いたサスペンションワイヤ機構が開示されている。 ［０００５］ 特許文献２に開示される「形状記憶合金駆動装置」においては、オートフォーカス付きカメラユニットの小型化を実現するために、板バネを用いた平行リンク機構と形状記憶合金アクチュエータとを備える１次元駆動装置が提案されている。 先行技術文献 特許文献 ［０００６］ 特許文献１：特開２００７－１１４５８５号公報 特許文献２：特表２０１１－５０１２４５号公報 非特許文献 ［０００７］ 非特許文献１：２次元光走査のためのサスペンションワイヤ駆動機構、精密光学学会誌Vol.74、No.1、2008、p102-106 発明の概要 発明が解決しようとする課題 ［０００８］ 特許文献１に開示される「像ぶれ補正装置及び撮像装置」においては、機構が複雑であり、装置の小型化が困難である。 ［０００９］ 非特許文献１に開示される「２次元光走査のためのサスペンションワイヤ駆動機構」においては、レンズを駆動するアクチュエータがレンズの外側に配置されているためスペースをとり、装置全体として大きくなり、重量も増加するため、装置の小型化が困難である。 ［００１０］ 特許文献２に開示される「形状記憶合金駆動装置」においては、１次元でしか駆動できない。 ［００１１］ 本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、被駆動プレートをＸ方向およびＹ方向の２次元方向に移動させることができるとともに、装置の小型化を実現可能とする機構を備える、駆動装置およびレンズユニットを提供することにある。 …（中略）… 発明の効果 ［００３４］ 本発明によれば、被駆動部材をＸ方向およびＹ方向の２次元方向に移動させることができるとともに、装置の小型化を実現可能とする機構を備える、駆動装置およびレンズユニットを提供することを可能とする。」 イ ［００３７］～［００５３］、［図１］～［図４］ 「［００３７］ （駆動装置の構成および移動原理） 図１を参照して、本発明に基づいた駆動装置の構成および移動原理について説明する。図１は、実施の形態における駆動装置の構成および駆動原理を示す第１模式図であり、（Ａ）は初期状態（移動前）を示す図、（Ｂ）は移動後を示す図である。 ［図１］ ［図：0001435447000010.jpg］ ［００３８］ 駆動装置１は、ベースプレート（ベース部材）１１０と、ベースプレート１１０に対して所定の間隔を隔てて配置され、平面１２０ｐを有する被駆動プレート（被駆動部材）１２０とを有する。ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間には、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０とを連結し、平面１２０ｐが移動の前後において平行移動するように、被駆動プレート１２０を支持する支持部材１３０が設けられている。なお、ベースプレート１１０が平面を有していてもよく、支持部材１３０によって、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０とが平面に対して平行移動するように構成されている。 ［００３９］ この駆動装置１には、上記平面１２０ｐが移動の前後において平行移動するように、被駆動プレート１２０を駆動する駆動部材１４０が設けられている。具体的には、駆動部材１４０は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜する（図１の側面視において対角線方向）ように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 ［００４０］ 図１において、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に駆動部材１４０が架設されている場合を示しているが、この構成に限定されない。他の構成については、後述の各実施の形態において説明する。 ［００４１］ ベースプレート１１０および被駆動プレート１２０は、たとえば主として樹脂成形品で構成され、その形状は、一例として、平面視において約１０ｍｍ×１０ｍｍ程度、厚さ約０．３ｍｍ～０．５ｍｍの四角形形状を有している。図示において、ベースプレート１１０の上面と被駆動プレート１２０の下面との距離は、約７ｍｍ～８ｍｍ程度である。 ［００４２］ ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０とは、相互に平行となるように、支持部材１３０に保持されている。しかし、移動の前後において被駆動プレート１２０の平面１２０ｐが平行移動可能であれば、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０とが、相互に平行となるように配置される必要はない。 ［００４３］ 支持部材１３０には、線太さが約８０μｍ～１００μｍ程度の線材である、サスペンションワイヤが用いられている。 ［００４４］ 駆動部材１４０には、線状の形状記憶合金線が用いられている。形状記憶合金線には、たとえば、Ｎｉ－Ｔｉ－Ｐｄ系形状記憶合金素子が用いられる。駆動部材１４０に用いられる形状記憶合金線に所定の電流を流して形状記憶合金線を加熱することで形状記憶合金線は縮む。また、加熱を停止することで、形状記憶合金線は元の長さに復元する。 ［００４５］ 本実施の形態においては、図１（Ｂ）を参照して、駆動部材１４０の形状記憶合金線を軸方向（線状の長手方向）に伸縮させることで、被駆動プレート１２０を、図中Ｘ方向に駆動させる。ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間には、平行リンク機構となるように支持部材１３０を配置することで、平面１２０ｐが移動の前後において平行移動する。すなわち、図１（Ｂ）では、被駆動プレート１２０は、ベースプレート１１０に対して、その間隔がほほ維持された状態でＸ方向に移動する。 ［００４６］ 平行リンク機構を構成するためには、平面視において、すべての支持部材１３０が直線状に配置されない状態で、３以上の支持部材１３０を用いるとよい。 ［００４７］ （支持部材１３０とベースプレート１１０との接合） 支持部材１３０とベースプレート１１０との接合について、図２から図４を参照して説明する。図2は、支持部材１３０のベースプレート１１０への接合部の構造を示す模式図であり、（Ａ）は、ベースプレート１１０に支持部材１３０を直接接合させた構造を示す図、（Ｂ）は、ベースプレート１１０と支持部材１３０との間に低弾性部材を設けた場合の構造を示す図である。 ［図２］ ［図：0001435447000011.jpg］ ［００４８］ 図３は、駆動装置の移動原理を示す第２模式図であり、（Ａ）は初期状態（移動前）を示す図、（Ｂ）は移動後を示す図である。図４は、支持部材１３０のベースプレート１１０への接合部の構造を示す模式図であり、支持部材１３０とベースプレート１１０との間に、回転軸受１３０Ｐが設けられる構造を示す図である。 ［図３］ ［図：0001435447000012.jpg］ ［図４］ ［図：0001435447000013.jpg］ ［００４９］ 支持部材１３０が弾性変形に富む場合には、図１（Ｂ）を参照して支持部材１３０は湾曲状に弾性変形する。この場合には、支持部材１３０とベースプレート１１０との接合部においては、図２（Ａ）を参照して、支持部材１３０の端部をベースプレート１１０に設けられた固定穴１１０ｈに直接固定することができる。 …（中略）… ［００５２］ 上記図２および図４においては、支持部材１３０とベースプレート１１０との接合部について説明したが、支持部材１３０と被駆動プレート１２０との接合部においても同様である。 ［００５３］ 以下に説明する各実施の形態における支持部材１３０とベースプレート１１０との接合部、および、支持部材１３０と被駆動プレート１２０との接合部には、上記構成が適用される。」 ウ ［００５４］～［００６４］、［図５］、［図６］ 「［００５４］ （実施の形態１） 図５および図６を参照して、実施の形態１における駆動装置１００Ａについて説明する。図５は、本実施の形態における駆動装置１００Ａを示す斜視図、図６は、本実施の形態における駆動装置１００Ａを示す平面図である。この駆動装置１００Ａには、上記で説明した移動原理が適用される。 ［図５］ ［図：0001435447000014.jpg］ ［図６］ ［図：0001435447000015.jpg］ ［００５５］ 駆動装置１００Ａは、正四角形のベースプレート１１０と、ベースプレート１１０に対して所定の間隔を隔てて配置され、正四角形の平面１２０ｐを有する被駆動プレート１２０とを有する。 ［００５６］ ベースプレート１１０は、第１辺１１０ａ、第２辺１１０ｂ、第３辺１１０ｃ、および第４辺１１０ｄを有する。また、第１辺１１０ａと第２辺１１０ｂとが交わる第１角部ｃ１１、第２辺１１０ｂと第３辺１１０ｃとが交わる第２角部ｃ１２、第３辺１１０ｃと第４辺１１０ｄとが交わる第３角部ｃ１３、および、第４辺１１０ｄと第１辺１１０ａとが交わる第４角部ｃ１４を有する。 ［００５７］ 被駆動プレート１２０は、第１辺１２０ａ、第２辺１２０ｂ、第３辺１２０ｃ、および第４辺１２０ｄを有する。また、第１辺１２０ａと第２辺１２０ｂとが交わる第１角部ｃ２１、第２辺１２０ｂと第３辺１２０ｃとが交わる第２角部ｃ２２、第３辺１２０ｃと第４辺１２０ｄとが交わる第３角部ｃ２３、および、第４辺１２０ｄと第１辺１２０ａとが交わる第４角部ｃ２４を有する。 ［００５８］ 図５および図６において、ベースプレート１１０の第１辺１１０ａおよび第３辺１１０ｃに沿う方向をＸ方向とし、ベースプレート１１０の第２辺１１０ｂおよび第４辺１１０ｄに沿うＸ方向の直交する方向をＹ方向とする。以下の各実施の形態においても同様である。 ［００５９］ ベースプレート１１０の第１角部ｃ１１の近傍と被駆動プレート１２０の第１角部ｃ２１の近傍との間には、第１支持部材１３０ａおよび第１駆動部材１４０ａが設けられている。ベースプレート１１０の第２角部ｃ１２の近傍と被駆動プレート１２０の第２角部ｃ２２の近傍との間には、第２支持部材１３０ｂおよび第２駆動部材１４０ｂが設けられている。 ［００６０］ ベースプレート１１０の第３角部ｃ１３の近傍と被駆動プレート１２０の第３角部ｃ２３の近傍との間には、第３支持部材１３０ｃおよび第３駆動部材１４０ｃが設けられている。ベースプレート１１０の第４角部ｃ１４の近傍と被駆動プレート１２０の第４角部ｃ２４の近傍との間には、第４支持部材１３０ｄおよび第４駆動部材１４０ｄが設けられている。 ［００６１］ 図６を参照して、ベースプレート１１０および被駆動プレート１２０が正方形の場合において、第１駆動部材１４０ａ、第２駆動部材１４０ｂ、第３駆動部材１４０ｃ、および第４駆動部材１４０ｄは、中心（重心）位置Ｐから見て、第１駆動部材１４０ａと第３駆動部材１４０ｃとが点対称となる位置に配置され、第２駆動部材１４０ｂと第４駆動部材１４０ｄとが点対称となる位置に配置されている。 ［００６２］ また、中心位置Ｐを通過するＸ軸に対して、第１駆動部材１４０ａと第２駆動部材１４０ｂとが線対称となる位置に配置され、第３駆動部材１４０ｃと第４駆動部材１４０ｄとが線対称となる位置に配置されている。 ［００６３］ 上記構成からなる駆動装置１００Ａにおいて、たとえば、第１駆動部材１４０ａと第２駆動部材１４０ｂとに同時に所定の電流を流した場合には、第１駆動部材１４０ａと第２駆動部材１４０ｂとは縮み、第３駆動部材１４０ｃと第４駆動部材１４０ｄとは引き伸ばされる状態となる。その結果、被駆動プレート１２０の平面１２０ｐは、Ｘ方向に平行移動する。 ［００６４］ また、第２駆動部材１４０ｂと第３駆動部材１４０ｃとに同時に所定の電流を流した場合には、第２駆動部材１４０ｂと第３駆動部材１４０ｃとは縮み、第１駆動部材１４０ａと第４駆動部材１４０ｄとは引き伸ばされる状態となる。その結果、被駆動プレート１２０の平面１２０ｐは、Ｙ方向に平行移動する。」 エ ［００８５］～［００８８］、［図１６］ 「［００８５］ （実施の形態２） 次に、図１６を参照して、実施の形態２における駆動装置１００Ｂについて説明する。図１６は、本実施の形態における駆動装置１００Ｂを示す斜視図である。なお、上記実施の形態１における駆動装置１００Ａと同一または相当箇所については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない。 ［図１６］ ［図：0001435447000016.jpg］ ［００８６］ 実施の形態１における駆動装置１００Ａにおいては、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に、第１駆動部材１４０ａから第４駆動部材１４０ｄを架設する構成を採用していた。本実施の形態における駆動装置１００Ｂにおいては、被駆動プレート１２０と第１支持部材１３０ａ～第４支持部材１３０ｂとの間に、第１駆動部材１４０ａから第４駆動部材１４０ｄをそれぞれ架設する構成を採用している。 ［００８７］ この構成を採用した場合でも、実施の形態１における駆動装置１００Ａと同様に、第１駆動部材１４０ａと第２駆動部材１４０ｂとに同時に所定の電流を流した場合には、第１駆動部材１４０ａと第２駆動部材１４０ｂとは縮み、第３駆動部材１４０ｃと第４駆動部材１４０ｄとが引き伸ばされる状態となる。その結果、被駆動プレート１２０の平面１２０ｐは、Ｘ方向に平行移動する。 ［００８８］ また、第２駆動部材１４０ｂと第３駆動部材１４０ｃとに同時に所定の電流を流した場合には、第２駆動部材１４０ｂと第３駆動部材１４０ｃとは縮み、第１駆動部材１４０ａと第４駆動部材１４０ｄとは引き伸ばされる状態となる。その結果、被駆動プレート１２０の平面１２０ｐは、Ｙ方向に平行移動する。」 オ ［００８９］～［０１０５］、［図１７］～［図２０］ 「［００８９］ （実施の形態３） 次に、図１７を参照して、実施の形態３における駆動装置１００Ｃについて説明する。図１７は、本実施の形態における駆動装置１００Ｃを示す平面図である。なお、上記実施の形態１における駆動装置１００Ａと同一または相当箇所については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない。 ［図１７］ ［図：0001435447000017.jpg］ ［００９０］ 実施の形態３における駆動装置１００Ｃにおいては、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に、第１駆動部材１４０ａ１から第８駆動部材１４０ｄ２の８本の駆動部材を架設する構成を採用している。 ［００９１］ （第１駆動部材１４０ａ１） 具体的には、被駆動プレート１２０の第１辺１２０ａ側において、第１駆動部材１４０ａ１の一端が被駆動プレート１２０の第１角部ｃ２１（第１の箇所）の近傍に固定され、第１駆動部材１４０ａ１の他端がベースプレート１１０の第４角部ｃ１４（第８の箇所）の近傍に固定されている。したがって、第１駆動部材１４０ａ１は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜するように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 ［００９２］ （第２駆動部材１４０ａ２） また、被駆動プレート１２０の第１辺１２０ａ側において、第２駆動部材１４０ａ２の一端が被駆動プレート１２０の第４角部ｃ２４（第４の箇所）の近傍に固定され、第２駆動部材１４０ａ２の他端がベースプレート１１０の第１角部ｃ１１（第５の箇所）の近傍に固定されている。したがって、第２駆動部材１４０ａ２は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜する（第１駆動部材１４０ａ１とは交差する）ように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 ［００９３］ （第３駆動部材１４０ｂ１） 同様に、被駆動プレート１２０の第２辺１２０ｂ側において、第３駆動部材１４０ｂ１の一端が被駆動プレート１２０の第２角部ｃ２２（第２の箇所）の近傍に固定され、第３駆動部材１４０ｂ１の他端がベースプレート１１０の第１角部ｃ１１（第５の箇所）の近傍に固定されている。したがって、第３駆動部材１４０ｂ１は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜するように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 ［００９４］ （第４駆動部材１４０ｂ２） また、被駆動プレート１２０の第２辺１２０ｂ側において、第４駆動部材１４０ｂ２の一端が被駆動プレート１２０の第１角部ｃ２１（第１の箇所）の近傍に固定され、第４駆動部材１４０ｂ２の他端がベースプレート１１０の第２角部ｃ１２（第６の箇所）の近傍に固定されている。したがって、第４駆動部材１４０ｂ２は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜する（第３駆動部材１４０ｂ１とは交差する）ように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 ［００９５］ （第５駆動部材１４０ｃ１） 同様に、被駆動プレート１２０の第３辺１２０ｃ側において、第５駆動部材１４０ｃ１の一端が被駆動プレート１２０の第３角部ｃ２３（第３の箇所）の近傍に固定され、第５駆動部材１４０ｃ１の他端がベースプレート１１０の第２角部ｃ１２（第６の箇所）の近傍に固定されている。したがって、第５駆動部材１４０ｃ１は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜するように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 ［００９６］ （第６駆動部材１４０ｃ２） また、被駆動プレート１２０の第３辺１２０ｃ側において、第６駆動部材１４０ｃ２の一端が被駆動プレート１２０の第２角部ｃ２２（第２の箇所）の近傍に固定され、第６駆動部材１４０ｃ２の他端がベースプレート１１０の第３角部ｃ１３（第７の箇所）の近傍に固定されている。したがって、第６駆動部材１４０ｃ２は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜する（第５駆動部材１４０ｃ１とは交差する）ように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 ［００９７］ （第７駆動部材１４０ｄ１） 同様に、被駆動プレート１２０の第４辺１２０ｄ側において、第７駆動部材１４０ｄ１の一端が被駆動プレート１２０の第４角部ｃ２４（第４の箇所）の近傍に固定され、第７駆動部材１４０ｄ１の他端がベースプレート１１０の第３角部ｃ１３（第７の箇所）の近傍に固定されている。したがって、第７駆動部材１４０ｄ１は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜するように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 ［００９８］ （第８駆動部材１４０ｄ２） また、被駆動プレート１２０の第４辺１２０ｄ側において、第８駆動部材１４０ｄ２の一端が被駆動プレート１２０の第３角部ｃ２３（第３の箇所）の近傍に固定され、第８駆動部材１４０ｄ２の他端がベースプレート１１０の第４角部ｃ１４（第８の箇所）の近傍に固定されている。したがって、第８駆動部材１４０ｄ２は、被駆動プレート１２０の一端側からベースプレート１１０の反対側に向けて傾斜する（第７駆動部材１４０ｄ１とは交差する）ように、ベースプレート１１０と被駆動プレート１２０との間に架設されている。 …（中略）… ［０１０１］ （駆動装置の位置決め方法） 上記構成からなる駆動装置１００Ｃを用いた場合の駆動装置の位置決め方法について、図１８から図２０を参照して説明する。図１８から図２０は、駆動装置１００Ｃの位置決め方法を示す第１から第３模式図である。 ［０１０２］ 図１８を参照して、第１駆動部材１４０ａ１と第４駆動部材１４０ｂ２とに同時に所定の電流を流した場合には、第１駆動部材１４０ａ１と第４駆動部材１４０ｂ２とは縮み、被駆動プレート１２０には、図１８中に示す矢印ＸＹ１方向に向かう力が作用する。 ［図１８］ ［図：0001435447000018.jpg］ ［０１０３］ 図１９を参照して、第７駆動部材１４０ｄ１と第２駆動部材１４０ａ２とに同時に所定の電流を流した場合には、第７駆動部材１４０ｄ１と第２駆動部材１４０ａ２とは縮み、被駆動プレート１２０には、図１９中に示す矢印ＸＹ２方向に向かう力が作用する。 ［図１９］ ［図：0001435447000019.jpg］ ［０１０４］ 図２０を参照して、上記図１８および図１９に示す移動原理から、第１駆動部材１４０ａ１、第４駆動部材１４０ｂ２、第７駆動部材１４０ｄ１、および第２駆動部材１４０ａ２に同時に所定の電流を流した場合には、第１駆動部材１４０ａ１、第４駆動部材１４０ｂ２、第７駆動部材１４０ｄ１、および第２駆動部材１４０ａ２は縮み、被駆動プレート１２０には、図２０中に示すように矢印Ｙ方向に向かう力が作用する。また、被駆動プレート１２０を矢印Ｙ方向に移動させるためには、第４駆動部材１４０ｂ２、第７駆動部材１４０ｄ１に、同時に所定の電流を流してもよい。 ［図２０］ ［図：0001435447000020.jpg］ ［０１０５］ このようにして、第１駆動部材１４０ａ１、第２駆動部材１４０ａ２、第３駆動部材１４０ｂ１、第４駆動部材１４０ｂ２、第５駆動部材１４０ｃ１、第６駆動部材１４０ｃ２、第７駆動部材１４０ｄ１、および第８駆動部材１４０ｄ２の伸縮を制御することで、被駆動プレート１２０を任意の移動方向に向けて平行移動させることができる。」 カ ［０１１７］～［０１２１］、［図２５］、［図２６］ 「［０１１７］ （実施の形態４） 次に、図２５および図２６を参照して、実施の形態４における駆動装置１００Ｄについて説明する。図２５は、本実施の形態における駆動装置１００Ｄを示す斜視図、図２６は、図２５中のＸＸＶＩで囲まれた領域の部分拡大斜視図であり、駆動部材である形状記憶合金線の被駆動プレートへの固定構造を示す図である。なお、上記実施の形態３における駆動装置１００Ｃと同一または相当箇所については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない。 ［図２５］ ［図：0001435447000021.jpg］ ［図２６］ ［図：0001435447000022.jpg］ ［０１１８］ 上記実施の形態３における駆動装置１００Ｃにおいては、８本の駆動部材を採用した場合について説明したが、本実施の形態は、実施の形態３における第１駆動部材１４０ａ１と第４駆動部材１４０ｂ２とに一本化された形状記憶合金線を用いて第１駆動部材１４０ａとし、第３駆動部材１４０ｂ１と第６駆動部材１４０ｃ２とに一本化された形状記憶合金線を用いて第２駆動部材１４０ｂとし、第５駆動部材１４０ｃ１と第８駆動部材１４０ｄ２とに一本化された形状記憶合金線を用いて第３駆動部材１４０ｃとし、第２駆動部材１４０ａ２と第７駆動部材１４０ｄ１とに一本化された形状記憶合金線を用いて第４駆動部材１４０ｄとした構成を採用している。 ［０１１９］ また、第１駆動部材１４０ａ、第２駆動部材１４０ｂ、第３駆動部材１４０ｃ、および第４駆動部材１４０ｄにおいて、各駆動部材の両端部は、ベースプレート１１０に固定され、各駆動部材１４０の中間領域は、被駆動プレート１２０に固定されている。 ［０１２０］ 図２６を参照して、第１駆動部材１４０ａの中間領域の被駆動プレート１２０への固定は、被駆動プレート１２０の第１角部ｃ２１の近傍に設けられた切欠領域１２０ｒに第１駆動部材１４０ａを係合する。他の駆動部材の中間領域の被駆動プレート１２０への固定も同様である。 ［０１２１］ 本実施の形態４における駆動装置１００Ｄにおいても、実施の形態３の駆動装置１００Ｅと同様の作用効果を得ることができる。」 キ ［０１２２］～［０１２６］、［図２７］ 「［０１２２］ （実施の形態５） 次に、図２７を参照して、実施の形態５における駆動装置１００Ｅについて説明する。図２７は、本実施の形態における駆動装置１００Ｅを示す斜視図である。なお、上記実施の形態３における駆動装置１００Ｃと同一または相当箇所については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない。 ［図２７］ ［図：0001435447000023.jpg］ ［０１２３］ 上記実施の形態３における駆動装置１００Ｃにおいては、８本の駆動部材を採用した場合について説明したが、本実施の形態は、実施の形態３における第１駆動部材１４０ａ１と第８駆動部材１４０ｄ２とに一本化された形状記憶合金線を用いて第１駆動部材１４０ａとし、第２駆動部材１４０ａ２と第３駆動部材１４０ｂ１とに一本化された形状記憶合金線を用いて第２駆動部材１４０ｂとし、第４駆動部材１４０ｂ２と第５駆動部材１４０ｃ１とに一本化された形状記憶合金線を用いて第３駆動部材１４０ｃとし、第６駆動部材１４０ｃ２と第７駆動部材１４０ｄ１とに一本化された形状記憶合金線を用いて第４駆動部材１４０ｄとした構成を採用している。 ［０１２４］ また、第１駆動部材１４０ａ、第２駆動部材１４０ｂ、第３駆動部材１４０ｃ、および第４駆動部材１４０ｄにおいて、各駆動部材の両端部は、被駆動プレート１２０に固定され、各駆動部材１４０の中間領域は、ベースプレート１１０に固定されている。 ［０１２５］ 第１駆動部材１４０ａ１の中間領域のベースプレート１１０への固定は、図２６に示した構成を適用することができる。 ［０１２６］ 本実施の形態５における駆動装置１００Ｅにおいても、実施の形態３の駆動装置１００Ｅと同様の作用効果を得ることができる。」 ク ［０１３７］～［０１３９］、［図３２］ 「［０１３７］ （実施の形態９） 次に、図３２を参照して、実施の形態９における駆動装置１００Ｉについて説明する。図３２は、本実施の形態における駆動装置１００Ｉを示す斜視図である。なお、上記実施の形態５における駆動装置１００Ｅと同一または相当箇所については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない。 ［図３２］ ［図：0001435447000024.jpg］ ［０１３８］ 本実施の形態における駆動装置１００Ｉは、上記実施の形態５における駆動装置１００Ｅの変形例を示したものである。実施の形態５における駆動装置１００Ｅにおいては、各駆動部材１４０ａ～１４０ｄを被駆動プレート１２０に固定した場合を示しているが、本実施の形態における駆動装置１００Ｉは、各駆動部材１４０ａ～１４０ｄの端部領域を各支持部材１３０ａ～１３０ｄに固定している。 ［０１３９］ 本実施の形態における駆動装置１００Ｉにおいても、実施の形態５の駆動装置１００Ｅと同様の作用効果を得ることができる。」 ケ ［０１４４］～［０１４６］、［図３４］ 「［０１４４］ （実施の形態１１） 次に、図３４を参照して、実施の形態１１における駆動装置１００Ｋについて説明する。図３４は、本実施の形態における駆動装置１００Ｋを示す斜視図である。なお、上記実施の形態７における駆動装置１００Ｇと同一または相当箇所については、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない。 ［図３４］ ［図：0001435447000025.jpg］ ［０１４５］ 本実施の形態における駆動装置１００Ｋは、上記実施の形態７における駆動装置１００Ｇの変形例を示したものである。実施の形態７における駆動装置１００Ｇにおいては、各駆動部材１４０の端部領域を被駆動プレート１２０に固定した場合を示しているが、本実施の形態における駆動装置１００Ｋは、各駆動部材１４０の端部領域を第３支持部材１３０ｃおよび第４支持部材１３０ｄに固定している。 ［０１４６］ 本実施の形態における駆動装置１００Ｋにおいても、実施の形態７の駆動装置１００Ｇと同様の作用効果を得ることができる。」 コ 請求の範囲 「［請求項１］ ベース部材と、 前記ベース部材に対して所定の間隔を隔てて配置される被駆動部材と、 前記ベース部材と前記被駆動部材とを連結し、前記被駆動部材の移動の前後において、前記ベース部材と前記被駆動部材とが前記所定の間隔をほぼ維持するように、前記被駆動部材を支持する支持部材と、 前記被駆動部材が移動の前後において平行移動するように、前記被駆動部材を駆動する駆動部材とを備え、 前記駆動部材は、線状の形状記憶合金線を伸縮させることで、前記被駆動部材を移動させる、駆動装置。 ［請求項２］ （省略） ［請求項３］ （省略） ［請求項４］ （省略） ［請求項５］ 前記駆動部材は、前記ベース部材と前記支持部材との間に架設されている、請求項１に記載の駆動装置。 ［請求項６］ （省略） ［請求項７］ 前記駆動部材の両端部が、前記支持部材に固定され、 前記駆動部材の中間領域が、前記ベース部材に固定されている、請求項５に記載の駆動装置。 …（後略）」 (２) 周知文献３の［図１６］からの認定事項 周知文献３の請求項１及び［００８６］の記載を参酌しつつ［図１６］を観察すると、当業者は次の事項（以下「認定事項１」という。）を認識することができる。 ＜認定事項１＞ 「駆動部材の一方の端部が支持部材に固定され、他方の端部がベース部材に固定されていること。」 (３) 技術事項Ａの認定 前記(２)において認定した認定事項１及び前記アに摘記した周知文献３に記載された事項（［請求項１］、［００４９］、［請求項７］、［図３２］、［図３４］、［００８６］、［図１６］）を総合すると、周知文献３には、次の技術事項（以下「技術事項Ａ」という。）が記載されていると認められる。 ＜技術事項Ａ＞ 「ベース部材と、 前記ベース部材に対して所定の間隔を隔てて配置される被駆動部材と、 前記ベース部材と前記被駆動部材とを連結し、前記被駆動部材の移動の前後において、前記ベース部材と前記被駆動部材とが前記所定の間隔をほぼ維持するように、前記被駆動部材を支持する弾性変形に富む支持部材と、 前記被駆動部材が移動の前後において平行移動するように、前記被駆動部材を駆動する駆動部材とを備え、 前記駆動部材は、線状の形状記憶合金線を伸縮させることで、前記被駆動部材を移動させる駆動装置において、（［請求項１］、［００４９］） 前記駆動部材の両端部が、前記支持部材に固定され、前記駆動部材の中間領域が、前記ベース部材に固定されている、（［請求項７］、［図３２］、［図３４］） 又は、 前記駆動部材の一方の端部が前記支持部材に固定され、他方の端部が前記ベース部材に固定されている、（認定事項１、［００８６］、［図１６］） 駆動装置」 ６ 本願発明と引用発明の対比 (１) 対比分析 本願発明と引用発明を対比する。 ア 構成Ａの観点（静止プレート） (ア) 構成Ａは、「静止プレート」を含むことである。 (イ) 引用発明における「固定部を構成［する］」「固定基板」は、本願発明における「静止プレート」に相当する。 (ウ) したがって、本願発明と引用発明は、次の点において一致する。 「静止プレート」を含む点。 イ 構成Ｂの観点（可動プレート） (ア) 構成Ｂは、「前記静止プレートに対してｘ軸及びｙ軸に関して移動可能な可動プレート」を含むことである。 (イ) 本願の明細書の【００１５】や【図１７】を参酌すると、本願発明における「ｘ軸及びｙ軸の方向」は、センサシフトカメラ組立体１００のｚ軸１１０に対して垂直な面内の方向である。 (ウ)ａ 引用発明における「移動部」の構成要素である「略矩形状の盤面を有する移動基板」は、本願発明における「可動プレート」に相当する。 ｂ そして、引用発明は次の構成を備える。 「前記梁部を変形させることで少なくとも前記センサの所定面に対して水平な一方向に沿って前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させるとともに、 前記梁部を変形させることで前記センサの所定面に対して水平であって前記一方向と直交する他方向に沿って前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させるもの［こと］」 ｃ そうすると、引用発明における「略矩形状の盤面を有する移動基板」は、本願発明における「前記静止プレートに対してｘ軸及びｙ軸に関して移動可能な可動プレート」に相当するといえる。 (エ) したがって、本願発明と引用発明は、次の点において一致する。 「前記静止プレートに対してｘ軸及びｙ軸に関して移動可能な可動プレート」を含む点。 ウ 構成Ｃの観点（センサ取付領域） (ア) 構成Ｃは、「前記可動プレートと一体である前記可動プレートにおけるセンサ取付領域」を含むことである。 (イ) 引用発明における「撮像素子」は、本願発明における「センサ」に相当する。そして、引用発明においては、「移動部は、略矩形状の盤面を有する移動基板と、当該移動基板上に設けられた撮像素子を備えて構成されて［いる］」のであるから、引用発明における移動基板（「可動プレート」に相当する。）が本願発明における「可動プレートと一体である可動プレートにおけるセンサ取付領域」を備えていることは明らかである。 (ウ) そうすると、本願発明と引用発明は、次の点において一致する。 「前記可動プレートと一体である前記可動プレートにおけるセンサ取付領域」を含む点。 エ 構成Ｄの観点（ばね） (ア) 構成Ｄは、「前記可動プレートを前記静止プレートに連結する１つ以上のばねであって、前記可動プレートから延びる１つ以上のばねアームを含み、前記１つ以上のばねアームは前記可動プレートのセンタリングを支援するように構成される、１つ以上のばね」を含むことである。 (イ) 引用発明における「梁部」は、「少なくとも一部を変形させること」ができるものであって、「弾性力」を有するものであるから、本願発明にいうところの「ばね」であるといえる。 (ウ) 引用発明における「梁部」は、「前記固定部に固設され、前記移動部を支持する」ことから、前記ア及びイを踏まえると、本願発明における「前記可動プレートを前記静止プレートに連結する」ことに相当する構成を備えるといえる。 (エ) 引用発明においては、「移動基板及び梁部は、ＭＥＭＳと称される技法（ＭＥＭＳ技法）によって同時期に形成されたものである」ことから、引用発明は、本願発明における「前記可動プレートから延びる１つ以上のばねアームを含［む］」ことに相当する構成を備えるといえる。 (オ) 引用発明においては、「梁部は、弾性力により、移動部初期位置に向けて固定部に対して相対的に移動するためのものであ［る］」ことから、引用発明は、本願発明における「前記１つ以上のばねアームは前記可動プレートのセンタリングを支援するように構成される」ことに相当する構成を備えるといえる。 (カ) 以上の検討結果をまとめると、本願発明と引用発明は、次の点において一致する。 「前記可動プレートを前記静止プレートに連結する１つ以上のばねであって、前記可動プレートから延びる１つ以上のばねアームを含み、前記１つ以上のばねアームは前記可動プレートのセンタリングを支援するように構成される、１つ以上のばね」を含む点。 オ 構成Ｅの観点（形状記憶合金（SMA）素子） (ア) 構成Ｅは、「前記静止プレートと前記可動プレートに連結される１つ以上の形状記憶合金（SMA）素子とを含［む］」ことである。 (イ)ａ 引用発明は、次の構成を備える。 「前記梁部の少なくとも一部を変形させることで前記移動部を前記固定部に対して相対的に移動させる駆動力付与部」 「前記駆動力付与部が、形状記憶合金を含［む］」こと。 ｂ そうすると、引用発明は、本願発明における「前記静止プレートと前記可動プレートに連結される１つ以上の形状記憶合金（SMA）素子とを含［む］」ことに相当する構成を備えることは明らかである。 (ウ) したがって、本願発明と引用発明は、次の点において一致する。 「前記静止プレートと前記可動プレートに連結される１つ以上の形状記憶合金（SMA）素子とを含［む］」点。 カ 構成Ｆの観点（レンズに対してセンサ取付領域を変位させる） (ア) 構成Ｆは、「前記可動プレートは、１つ以上のレンズに対して前記センサ取付領域を変位させ［る］」ことである。 (イ) 引用発明は、「撮像装置の姿勢のぶれに対応して駆動機構が撮像素子の姿勢を変更することで、撮影時において撮像素子で受光される被写体像が極力一定となるように制御して、手振れ補正するためのものであ［る］」から、前記イ及びウも踏まえると、本願発明における「前記可動プレートは、１つ以上のレンズに対して前記センサ取付領域を変位させ［る］」ことに相当する構成を備えることは明らかである。 (ウ) したがって、本願発明と引用発明は、次の点において一致する。 「前記可動プレートは、１つ以上のレンズに対して前記センサ取付領域を変位させ［る］」点。 キ 構成Ｇの観点（ＳＭＡ素子の取り付け） (ア) 構成Ｇは、「前記１つ以上のＳＭＡ素子はＳＭＡ材料を含み、１つ以上のＳＭＡ素子の各々は、ＳＭＡ材料の端部において各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられ、各ＳＭＡ素子の中心領域においてばねアームから開放される」ことである。 (イ) 引用発明においては「前記駆動力付与部が、形状記憶合金を含［む］」ことから、引用発明が「前記１つ以上のＳＭＡ素子はＳＭＡ材料を含［む］」ことに相当する構成を備えることは明らかである。 (ウ) 一方で、本願発明が「ＳＭＡ材料の端部において各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられ、各ＳＭＡ素子の中心領域においてばねアームから開放される」のに対し、引用発明においては、この点が特定されていない点において相違する。 (エ) 以上の検討結果を踏まえると、本願発明と引用発明の構成Ｇの観点にける一致点及び相違点は、次のａ及びｂのとおりである。 ａ 構成Ｇの観点における一致点 「前記１つ以上のＳＭＡ素子はＳＭＡ材料を含［む］」点。 ｂ 構成Ｇの観点における相違点 本願発明においては、 「ＳＭＡ材料の端部において各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられ、各ＳＭＡ素子の中心領域においてばねアームから開放される」のに対して、 引用発明においては、この点が特定されていない点。 ク 構成Ｘの観点（サスペンション組立体） 引用発明の「センサ装置」は、本願発明の構成Ａ～Ｆまでを備えることから、本願発明にいうところの「サスペンション組立体」であるといえる。 したがって、「サスペンション組立体」の発明である本願発明と「センサ装置」の発明である引用発明は、「サスペンション組立体」の発明である点において一致する。 (２) 一致点及び相違点 前記(１)の対比分析の結果をまとめると、本願発明と引用発明の一致点及び相違点は、それぞれ次のア及びイに示すとおりである。 ア 一致点 「静止プレートと、 前記静止プレートに対してｘ軸及びｙ軸に関して移動可能な可動プレートと、 前記可動プレートと一体である前記可動プレートにおけるセンサ取付領域と、 前記可動プレートを前記静止プレートに連結する１つ以上のばねであって、前記可動プレートから延びる１つ以上のばねアームを含み、前記１つ以上のばねアームは前記可動プレートのセンタリングを支援するように構成される、１つ以上のばねと、 前記静止プレートと前記可動プレートに連結される１つ以上の形状記憶合金（SMA）素子とを含み、 前記可動プレートは、１つ以上のレンズに対して前記センサ取付領域を変位させ、 前記１つ以上のＳＭＡ素子はＳＭＡ材料を含む サスペンション組立体」の発明である点。 イ 相違点 本願発明においては、 「ＳＭＡ材料の端部において各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられ、各ＳＭＡ素子の中心領域においてばねアームから開放される」のに対して、 引用発明においては、この点が特定されていない点。 （※当審注 本願の請求項１の記載においては、「ＳＭＡ材料の端部」が「両端部」であることの特定はないから、前記相違点においては、ＳＭＡ材料の片方の端部のみが各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられていることも包摂すると解釈する。） ７ 判断 (１) 引用発明において、「固定基板」（「固定部」を構成する。）、「移動基板」（「移動部」を構成する。）、「梁部」（「移動部」を支持する。）及び「形状記憶合金」（駆動力付与部（梁部の少なくとも一部を変形させることで移動部を固定部に対して相対的に移動させる。））の機械的な機構として具体的にどのようなものとするかは、当業者が適宜選択できる設計事項である。 (２)ア ここで、前記５(３)において、技術事項Ａとして認定したとおり、次の技術事項は最先の優先日前に発行された文献に記載されている。 ＜技術事項Ａ＞ 「ベース部材（引用発明の「固定基板」に相当する。）と、 前記ベース部材に対して所定の間隔を隔てて配置される被駆動部材（引用発明の「移動基板」に相当する。）と、 前記ベース部材と前記被駆動部材とを連結し、前記被駆動部材の移動の前後において、前記ベース部材と前記被駆動部材とが前記所定の間隔をほぼ維持するように、前記被駆動部材を支持する弾性変形に富む支持部材（引用発明の「梁部」に対応する。）と、 前記被駆動部材が移動の前後において平行移動するように、前記被駆動部材を駆動する駆動部材（引用発明の「駆動力付与部」に相当する。）とを備え、 前記駆動部材は、線状の形状記憶合金線を伸縮させることで、前記被駆動部材を移動させる駆動装置において、 前記駆動部材の両端部が、前記支持部材に固定され、前記駆動部材の中間領域が、前記ベース部材に固定されている、 又は、 前記駆動部材の一方の端部が、前記支持部材に固定され、他方の端部が前記ベース部材に固定されている、 駆動装置」 イ 技術事項Ａは、引用発明と、次の点において共通する。 「固定基板、移動基板、移動基板を固定基板に対して移動可能に支持する「ばねアーム」に相当する弾性の支持部材及び線状の形状記憶合金線を伸縮させる駆動力付与部より構成される駆動装置」 (３) そうすると、引用発明における「固定基板」、「移動基板」、「梁部」（「ばねアーム」に相当する。）及び「線状の形状記憶合金」の機構として、「線状の形状記憶合金の両端部がばねアームに固定され、さらに線状の形状記憶合金の中間領域が固定基板に固定されていること」又は「線状の形状記憶合金の一方の端部がばねアームに固定され、他方の端部が固定基板に固定されていること」のいずれかを選択することは、当業者には自明の設計変更にすぎず、その際、線状の形状記憶合金に通電する必要があることから、形状記憶合金とばねアームを固定する点で電気的に接続することも自明である。 (４) その結果、ＳＭＡ材料の端部において各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられ、各ＳＭＡ素子の中心領域においてばねアームから開放されることとなり、相違点に係る構成を備えることとなる。したがって、引用発明において前記相違点に係る構成を備えるようにすることは、当業者にとっては、適宜なし得る設計変更にすぎない。 (５) そして、本願発明が奏する効果としては、当該構成のものとして当業者が予測・発見困難であり、かつ、格別顕著な効果を認めることはできない。 (６) したがって、本願発明は、引用発明及び技術事項Ａに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。 ８ 請求人の主張について 請求人は、本願発明が有する「１つ以上のＳＭＡ素子の各々は、ＳＭＡ材料の端部において各ばねアームに電気的かつ構造的に取り付けられ、各ＳＭＡ素子の中心領域においてばねアームから開放される」という特徴は、引用文献１および周知文献１－４のいずれにも記載されておらず、示唆すらないと主張している。 しかしながら、当該技術事項が引用発明及び技術事項Ａから当業者が容易に想到し得たことは前記７において説示したとおりであるから、上記請求人の主張は採用できない。 ９ むすび 以上検討のとおり、本願発明は、特許法２９条２項の規定により、特許を受けることができない。 したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。