2021-013967

特願２０１９－５６９７１５号「インピーダンス整合方法、インピーダンス整合器及びプラズマ生成装置」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年１２月２０日国際公開、ＷＯ２０１８／２２８１３３号、令和２年９月１０日国内公表、特表２０２０－５２７８２２号〕について、次のとおり審決する。

結 論 本件審判の請求は、成り立たない。

理 由 １ 手続きの経緯 本願は、２０１８年（平成３０年）５月２１日（パリ条約による優先権主張 外国庁受理２０１７年（平成２９年）６月１５日 中国）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。 令和３年 ２月 ５日付け：拒絶理由通知書 令和３年 ５月１３日 ：意見書の提出 令和３年 ６月 ８日付け：拒絶査定（以下、「原査定」という。） 令和３年１０月１４日 ：審判請求書、手続補正書の提出 令和４年 ４月 ４日 ：上申書の提出 ２ 本願発明 本願の請求項１ないし８に係る発明(以下、「本願発明１」ないし「本願発明８」という。)は、令和３年１０月１４日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし８に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、本願発明３は、次のとおりのものである。 また、本願の願書に添付した明細書を、図面を含めて「本願明細書等」という。 「【請求項３】 ＲＦ電源と前記ＲＦ電源に接続された負荷との間のインピーダンスを整合させるために用いられるインピーダンス整合器であって、 インピーダンス整合ネットワークと、 前記インピーダンス整合ネットワークを駆動して一定のインピーダンスを提供するモータと、 前記ＲＦ電源の作動モードに基づいて、選択的に第一指令若しくは第二指令を発するコントローラと、を含み、 ここで、前記第一指令は、インピーダンス整合ネットワークを駆動して一定のインピーダンスを提供するよう前記モータに指示し、前記第二指令は、前記モータに駆動を停止するよう指示するとともに、前記ＲＦ電源に周波数掃引操作を行うよう指示し、 前記ＲＦ電源の作動モードはパルスデュアルレベルモードであり、前記パルスデュアルレベルモードはハイレベル段階とローレベル段階を含み、 前記ハイレベル段階においては前記コントローラが前記第一指令を発し、前記ローレベル段階においては前記コントローラが前記第二指令を発し、 若しくは 前記ハイレベル段階においては前記コントローラが前記第二指令を発し、前記ローレベル段階においては前記コントローラが前記第一指令を発することを特徴とする、 インピーダンス整合器。」 ３ 原査定の拒絶の理由 原査定の拒絶の理由は、概略、以下のとおりである。 【理由１】（新規性） この出願の（本願の出願時に願書に添付した特許請求の範囲の）請求項１ないし１０に係る発明は、下記の引用文献１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。 【理由２】（進歩性） この出願の（本願の出願時に願書に添付した特許請求の範囲の）請求項１ないし１０に係る発明は、下記の引用文献１に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 記 引用文献１：特開２００９－２４６０９１号公報 ４ 引用文献１の記載及び引用発明 （１）引用文献１に記載された事項 ア 引用文献１には以下の記載がある。 「【技術分野】 【０００１】 本発明は、被処理基板にプラズマ処理を施す技術に係り、特にプラズマ処理に用いる高周波のパワーを周期的に変調する方式のプラズマ処理装置およびプラズマ処理方法に関する。」 「【発明が解決しようとする課題】 【０００８】 上記のようなチャージングダメージを防止するうえで、プラズマ生成に用いる高周波のパワーをデューティ可変なＨレベル／ＬレベルまたはＯＮ／ＯＦＦのパルスで変調する方式が有効とされる。 【０００９】 しかしながら、上記のようにプラズマ処理に用いる高周波のパワーをパルス変調する方式は、高周波のパワーがパルス周波数で周期的に変化することによって、プラズマないしイオンシースのインピーダンスが周期的に変動し、これに整合器のオートマッチング機能が追従できず、処理容器内のプラズマ生成・分布特性あるいはイオンエネルギーの変動を招いてプロセスの再現性がとれないことや、反射波によって高周波電源がオーバーヒートや故障を来たすなどの課題があり、量産装置への適用が困難であった。 【００１０】 本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであって、プラズマ処理に用いる高周波のパワーを周期的に変調する方式において、プラズマまたはイオンシースのインピーダンス変動や高周波電源への反射を可及的に少なくして、プロセスの安定性・再現性および高周波電源の安全保護を保証する実用性の高いプラズマ処理装置、プラズマ処理方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体を提供することを目的とする。」 「【００３７】 図１に、本発明の一実施形態におけるプラズマ処理装置の構成を示す。このプラズマ処理装置は、容量結合型の平行平板プラズマエッチング装置として構成されており、たとえばアルミニウムまたはステンレス鋼等の金属製の円筒型チャンバ（処理容器）１０を有している。チャンバ１０は保安接地されている。」 「【００４０】 下部整合器３２には、後述するように、高周波電源２８側のインピーダンスと負荷（電極、プラズマ、チャンバ）側のインピーダンスとの間で整合をとるための整合回路が収容されるとともに、オートマッチング用のＲＦセンサ、ステップモータ、コントローラ等も備わっている。 【００４１】 一般に、プラズマ処理装置においては、処理容器の中または近傍に配置された電極またはアンテナに高周波を印加する高周波給電部は、高周波を出力する高周波電源だけでなく、負荷側（電極、プラズマ、チャンバ）のインピーダンスと高周波電源側のインピーダンスとの間で整合（マッチング）をとるための整合器を備えている。高周波電源は通常５０Ωの純抵抗出力になるように設計されるため、整合器も含めた負荷側のインピーダンスが５０Ωになるように、整合器内のインピーダンスが設定または調節される。この種の整合器は、整合回路内に１個または複数の可変リアクタンス素子（可変コンデンサ、可変インダクタンスコイル等）を含み、ステップモータ等により可変範囲内の各ステップ位置またはポジションを選択することで整合器内のインピーダンスひいては負荷インピーダンスを可変調整できるように構成されている。プラズマ処理中には、圧力変動などによってプラズマ・インピーダンスが変わると、整合器のオートマッチング機能が働いて、それら可変リアクタンス素子のインピーダンス・ポジションを可変調整して自動的に負荷インピーダンスを補正して整合ポイント（５０Ω）に合わせるようになっている。」 「【００５１】 図２に、この実施形態におけるパルス変調方式の基本的な手法を示す。この実施形態では、バイアス制御用高周波（ＬＦ）のパワーをプロセスに応じた一定の周波数（たとえば１０ｋＨｚ）およびデューティ（たとえば５０％）でパルス変調するだけでなく、ＬＦパワーのパルス変調に同期してその周波数（ＬＦ周波数）もパルス変調する。すなわち、ＬＦパワーとＬＦ周波数との間に、１サイクル内で、ＬＦパワーがＨレベルの設定値ＰA（たとえば５００Ｗ）を維持する期間ＴAの間はＬＦ周波数もＨレベルの設定値ＦA（たとえば１３．５６ＭＨｚ）を維持し、ＬＦパワーがレベルの設定値ＰB（たとえば１００Ｗ）を維持する期間ＴBの間はＬＦ周波数もＬレベルの設定値ＦB（たとえば１２．０５ＭＨｚ）を維持するような同期関係を持たせる。ここで、ＬＦ周波数のＨレベル／Ｌレベルは２つの異なる周波数設定値間の相対的な高低関係を意味し、Ｈレベルが相対的に高い方の周波数設定値で、Ｌレベルが相対的に低い方の周波数設定値である。・・・ 【００５４】 この実施形態では、制御部８０の制御の下で、下部整合器３２が、Ｈレベル期間ＴAにおける負荷側のインピーダンスを高周波電源２８側のインピーダンスにマッチングさせるように動作し、Ｌレベル期間ＴB中の負荷インピーダンスを無視（非検知）するようになっている。もっとも、そのようにすると、Ｈレベル期間ＴAにおいて下部シース厚さがＨレベルの値ＤAでインピーダンスマッチングがとれている状態から、Ｌレベル期間ＴBに移行すると下部シース厚さがＨレベルの値ＤAからＬレベルの値ＤBに変じた分だけ（つまり下部シース容量が増大した分だけ）共振点からずれてインピーダンスマッチングがとれなくなる。そこで、Ｌレベル期間ＴBにおけるそのようなインピーダンスマッチングのずれを極力少なくするために、下部シース厚さの減少つまりシース容量（キャパシタンス）の増大をキャンセルするように、ＬＦ周波数をＨレベルのときの基準周波数ＦAよりも適当に低いＬレベルの値ＦBまで下げる。 【００５５】 このように、この実施形態のパルス変調方式においては、Ｈレベル期間ＴA中は下部整合器３２のオートマッチング機能により高周波電源２８と負荷との間でインピーダンスマッチングをとり、Ｌレベル期間ＴB中は下部整合器３２が負荷インピーダンスに応答しないで代わりに高周波電源２８がＬＦ周波数を適宜下げる手法でインピーダンスマッチングのずれを補正するようにしている。したがって、ＬＦパワーがＨレベルとＬレベルとの間で周期的に変化することによって、下部シースの容量が周期的で変動しても、プラズマインピーダンスないし負荷インピーダンスの急激な変動はないので、下部整合器３２のオートマッチングがハンチングを起こすおそれはなく、プラズマ負荷から高周波電源２８への反射を効果的に抑制することができる。・・・ 【００５９】 この実施形態では、制御部８０が、高周波電源２８を通じてパルス変調の時間的な特性（周波数、デューティ、位相等）の一切を制御しており、第１～第４ステートを順次かつ繰り返し切り換えるタイミングも全て管理している。さらに、制御部８０は、下部整合器３２が負荷インピーダンスに感応するサイクルないし期間も制御しており、図３に示すように、第３ステートＴAの中に、第２ステートＴCの終端または第４ステートＴDの始端にかからないタイミングで、整合器感応期間ＴMを設定している。 【００６０】 図４に、この実施形態における高周波電源２８および下部整合器３２の構成を示す。高周波電源２８は、周波数可変の正弦波を発振出力する発振器８２と、この発振器８２より出力された正弦波のパワーを可変の増幅率で増幅するパワーアンプ８４とを備えている。制御部８０は、発振器８２を通じてＬＦ周波数のパルス変調または可変制御を行い、パワーアンプ８４を通じてＬＦパワーのパルス変調または可変制御を行う。 【００６１】 下部整合器３２は、少なくとも１つの可変リアクタンス素子を含む整合回路９０と、この整合回路９０の各可変リアクタンス素子のインピーダンス・ポジションを個別に可変制御するためのコントローラ９２と、整合回路９０を含めた負荷インピーダンスを測定する機能を有するＲＦセンサ９４とを有している。 【００６２】 図示の例では、整合回路９０が２つの可変コンデンサＣ1，Ｃ2と１つのインダクタンスコイルＬ1とからなるＴ形回路として構成され、コントローラ９２がステップモータ９６，９８を通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御するようになっている。ＲＦセンサ９４は、たとえばその設置位置における伝送線路上のＲＦ電圧およびＲＦ電流をそれぞれ検出する電圧センサおよび電流センサを有し、電圧測定値および電流測定値から負荷インピーダンスの測定値を複素数表示で求める。コントローラ９２は、たとえばマイクロコンピュータからなり、ＲＦセンサ９４より負荷インピーダンスの測定値をゲート回路１００を介して受け取り、制御部８０からは各種の設定値やコマンドを受け取る。 【００６３】 ゲート回路１００は、制御部８０の制御の下で、パルス変調の各サイクルにおいて第３ステートＴA内に設定された整合器感応期間ＴM（図３）の間だけＲＦセンサ９４の出力信号（負荷インピーダンス測定値）をコントローラ９２に与える。これにより、コントローラ９２は、第３ステートＴA内の整合器感応期間ＴM中だけＲＦセンサ９４の出力信号を入力し、負荷インピーダンス測定値が基準インピーダンスまたは整合ポイント（通常５０Ω）に一致するように、ステップモータ９６，９８を通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御する。・・・ 【００７０】 なお、各サイクル毎に第１ステートＴBの仮周波数設定値を一定のステップ幅でディクリメントまたはインクリメントする代わりに、図９に示すように複数サイクルに亘って第１ステートＴB中にＬＦ周波数を一定の上昇率または減少率で連続的にスイープする手法も可能である。」 「【０１０１】 図１６に、この実施形態におけるパルス変調方式の基本的な手法を示す。この実施形態では、ＨＦパワーのパルス変調に同期してその周波数（ＨＦ周波数）もパルス変調する。より詳細には、ＨＦパワーとＨＦ周波数との間に、１サイクル内で、ＨＦパワーがＨレベルの設定値ＰA（たとえば５００Ｗ）を維持する期間ＴAの間はＨＦ周波数がＬレベルの設定値ＦA（たとえば基準の６０ＭＨｚ）を維持し、ＨＦパワーがＬレベルの設定値ＰB（たとえば１００Ｗ）を維持する期間ＴBの間はＨＦ周波数がＨレベルの設定値ＦB（たとえば６２．４５ＭＨｚ）を維持するような同期関係を持たせる。この場合も、ＨＦ周波数のＨレベル／Ｌレベルは２つの異なる周波数設定値間の相対的な高低関係を意味し、Ｈレベルが相対的に高い方の周波数設定値で、Ｌレベルが相対的に低い方の周波数設定値である。 【０１０２】 容量結合型においては、上部電極と下部電極との間にプラズマが無いときよりも有るときの方がプラズマ容量は大きく、プラズマ密度を高くするほどプラズマ容量は大きくなる。つまり、ＨＦの印加が無いときよりも有るときの方がプラズマ容量は大きく、ＨＦのパワーが高いほどプラズマ容量は大きくなる。 【０１０３】 したがって、ＨＦパワーのパルス変調に同期させてＨＦ周波数に逆位相のパルス変調をかけることで、ＨＦパワーのパルス変調に伴ってプラズマ容量が周期的に変化するのを周波数の可変制御でキャンセルして、プラズマインピーダンスの急激な変動を抑えることができる。 【０１０４】 したがって、この実施形態のパルス変調方式においても、ＨＦパワーのＨレベル期間ＴA中は整合器１０４のオートマッチング機能により高周波電源１０２と負荷との間でインピーダンスマッチングをとり、ＨＦパワーのＬレベル期間ＴB中は整合器１０４が負荷インピーダンスに応答しないで代わりに高周波電源１０２がＨＦ周波数を適宜上げる手法でインピーダンスマッチングのずれを補正することができる。したがって、ＨＦパワーがＨレベルとＬレベルとの間で周期的に変化することによって、プラズマ容量が周期的に変動しても、プラズマインピーダンスないし負荷インピーダンスの急激な変動はないので、整合器１０４のオートマッチングがハンチングを起こすおそれはなく、負荷（特にプラズマ）側から高周波電源１０２への反射を効果的に抑制することができる。」 イ 図１～４、１６は、以下のものである。 ［図：0001393640000001.jpg］ 【図３】 ［図：0001393640000002.jpg］ 【図４】 ［図：0001393640000003.jpg］ 【図９】 ［図：0001393640000004.jpg］ ［図：0001393640000005.jpg］ （２）引用文献１に記載された発明 上記(１)によれば、引用文献１には、次の発明(以下「引用発明」という。)が記載されていると認められる（なお、認定の根拠となる段落を参考までに括弧内に付してある。）。 「高周波電源側のインピーダンスと負荷側のインピーダンスとの間で整合をとるための整合回路が収容されるとともに、オートマッチング用のＲＦセンサ、ステップモータ、コントローラも備わっている下部整合器であって、（【００４０】） 前記下部整合器は、少なくとも１つの可変リアクタンス素子を含む整合回路と、この整合回路の各可変リアクタンス素子のインピーダンス・ポジションを個別に可変制御するためのコントローラと、整合回路を含めた負荷インピーダンスを測定する機能を有するＲＦセンサとを有し、（【００６１】） 前記整合回路が２つの可変コンデンサＣ1，Ｃ2と１つのインダクタンスコイルＬ1とからなるＴ形回路として構成され、コントローラがステップモータを通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御するようになっていて、（【００６２】） 前記コントローラは、第３ステートＴA内の整合器感応期間ＴM中だけＲＦセンサの出力信号を入力し、負荷インピーダンス測定値が基準インピーダンスまたは整合ポイント（通常５０Ω）に一致するように、ステップモータを通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御し、（【００６３】） バイアス制御用高周波（ＬＦ）のパワーをパルス変調するものであって、当該パルス変調は、１サイクル内で、ＬＦパワーがＨレベルの設定値ＰA（たとえば５００Ｗ）を維持する期間ＴAと、ＬＦパワーがレベルの設定値ＰB（たとえば１００Ｗ）を維持する期間ＴBを含み、（【００５１】） 前記制御部の制御の下で、下部整合器が、Ｈレベル期間ＴAにおける負荷側のインピーダンスを高周波電源側のインピーダンスにマッチングさせるように動作し、Ｌレベル期間ＴB中の負荷インピーダンスを無視（非検知）するようになっているとともに、Ｌレベル期間ＴBにおけるインピーダンスマッチングのずれを極力少なくするために、下部シース厚さの減少つまりシース容量の増大をキャンセルするように、ＬＦ周波数をＨレベルのときの基準周波数ＦAよりも適当に低いＬレベルの値ＦBまで下げ、（【００５４】） 複数サイクルに亘ってＬレベル期間ＴB中にＬＦ周波数を一定の減少率で連続的にスイープする手法とし、（【００７０】） Ｈレベル期間ＴA中は下部整合器のオートマッチング機能により高周波電源と負荷との間でインピーダンスマッチングをとり、Ｌレベル期間ＴB中は下部整合器が負荷インピーダンスに応答しないで代わりに高周波電源がＬＦ周波数を適宜下げる手法でインピーダンスマッチングのずれを補正するようにして、ＬＦパワーがＨレベルとＬレベルとの間で周期的に変化することによって、下部シースの容量が周期的で変動しても、プラズマインピーダンスないし負荷インピーダンスの急激な変動はないので、下部整合器のオートマッチングがハンチングを起こすおそれはなく、プラズマ負荷から高周波電源への反射を効果的に抑制することができる、（【００５５】） 下部整合器。（【００４０】）」 ５ 対比・判断 （１）対比 本願発明３と引用発明を対比すると、以下のことがいえる。 ア 引用発明の「高周波電源」、「負荷側」及び「下部整合器」は、本願発明３の「ＲＦ電源」、「負荷」及び「インピーダンス整合器」にそれぞれ相当するから、引用発明の「高周波電源側のインピーダンスと負荷側のインピーダンスとの間で整合をとるための整合回路が収容されるとともに、オートマッチング用のＲＦセンサ、ステップモータ、コントローラも備わっている下部整合器」は、本願発明３の「ＲＦ電源と前記ＲＦ電源に接続された負荷との間のインピーダンスを整合させるために用いられるインピーダンス整合器」に相当する。 イ 引用発明の「２つの可変コンデンサＣ1，Ｃ2と１つのインダクタンスコイルＬ1とからなるＴ形回路として構成され、コントローラがステップモータを通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御するようになってい」る「整合回路」は、本願発明３の「インピーダンス整合ネットワーク」に相当する。 ウ 引用発明の「基準インピーダンスまたは整合ポイント（通常５０Ω）」は、本願発明３の「一定のインピーダンス」に相当するから、引用発明の「可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御するようになってい」る「ステップモータ」であって、「コントローラは、第３ステートＴA内の整合器感応期間ＴM中だけＲＦセンサの出力信号を入力し、負荷インピーダンス測定値が基準インピーダンスまたは整合ポイント（通常５０Ω）に一致するように、ステップモータを通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御」する「ステップモータ」は、本願発明３の「前記インピーダンス整合ネットワークを駆動して一定のインピーダンスを提供するモータ」に相当する。 エ 引用発明の「Ｈレベルの設定値ＰA（たとえば５００Ｗ）を維持する期間ＴA」及び「ＬＦパワーがレベルの設定値ＰB（たとえば１００Ｗ）を維持する期間ＴB」は、それぞれ本願発明３の「ハイレベル段階」及び「ローレベル段階」に相当する。 また、引用発明の「高周波電源のバイアス制御用高周波（ＬＦ）のパワーであるＬＦパワー」の「パルス変調」が、「１サイクル内で、ＬＦパワーがＨレベルの設定値ＰA（たとえば５００Ｗ）を維持する期間ＴAと、ＬＦパワーがレベルの設定値ＰB（たとえば１００Ｗ）を維持する期間ＴBを含み」、当該「ＬＦパワーがＨレベルとＬレベルとの間で周期的に変化すること」は、本願発明３の「ＲＦ電源の作動モード」であって、「前記ＲＦ電源の作動モードはパルスデュアルレベルモードであ」ることに相当する。 したがって、引用発明の「前記高周波電源のバイアス制御用高周波（ＬＦ）のパワーであるＬＦパワーをパルス変調するものであって、当該パルス変調は、１サイクル内で、ＬＦパワーがＨレベルの設定値ＰA（たとえば５００Ｗ）を維持する期間ＴAと、ＬＦパワーがレベルの設定値ＰB（たとえば１００Ｗ）を維持する期間ＴBを含」むことは、本願発明３の「前記ＲＦ電源の作動モードはパルスデュアルレベルモードであり、前記パルスデュアルレベルモードはハイレベル段階とローレベル段階を含」むことに相当する。 オ 引用発明の「制御部の制御の下で、下部整合器が、Ｈレベル期間ＴAにおける負荷側のインピーダンスを高周波電源側のインピーダンスにマッチングさせるように動作し、Ｌレベル期間ＴB中の負荷インピーダンスを無視（非検知）するようになってい」て、「前記整合回路が２つの可変コンデンサＣ1，Ｃ2と１つのインダクタンスコイルＬ1とからなるＴ形回路として構成され、コントローラがステップモータを通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御するようになっていて、前記コントローラは、第３ステートＴA内の整合器感応期間ＴM中だけＲＦセンサの出力信号を入力し、負荷インピーダンス測定値が基準インピーダンスまたは整合ポイント（通常５０Ω）に一致するように、ステップモータを通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御」することは、「制御部」が「整合回路」の「ステップモータ」を駆動して、「基準インピーダンスまたは整合ポイント（通常５０Ω）に一致するように」、コントローラを介してステップモータに指示する指令を発しているといえるから、本願発明３の「前記第一指令は、インピーダンス整合ネットワークを駆動して一定のインピーダンスを提供するよう前記モータに指示」することに相当する。 カ 引用発明の「制御部の制御の下で、下部整合器が」、「Ｌレベル期間ＴB中の負荷インピーダンスを無視（非検知）するようになっているとともに」、「ＬＦ周波数をＨレベルのときの基準周波数ＦAよりも適当に低いＬレベルの値ＦBまで下げ」、「複数サイクルに亘ってＬレベル期間ＴB中にＬＦ周波数を一定の減少率で連続的にスイープする手法と」することは、「制御部」が「高周波電源」に、「ＬＦ周波数を一定の減少率で連続的にスイープ」を行うよう指示する指令を発しているといえるから、本願発明３の「前記第二指令は、前記モータに駆動を停止するよう指示するとともに、前記ＲＦ電源に周波数掃引操作を行うよう指示」することと、「前記第二指令は、前記ＲＦ電源に周波数掃引操作を行うよう指示」することの点で一致する。 キ 引用発明の「Ｈレベル期間ＴA」では、「下部整合器が、Ｈレベル期間ＴAにおける負荷側のインピーダンスを高周波電源側のインピーダンスにマッチングさせるように動作し、Ｌレベル期間ＴB中の負荷インピーダンスを無視（非検知）」していて、「Ｌレベル期間ＴB」では、「ＬＦ周波数をＨレベルのときの基準周波数ＦAよりも適当に低いＬレベルの値ＦBまで下げ」ている「制御部」は、上記エないしカでの検討を踏まえると、本願発明３の「前記ＲＦ電源の作動モードに基づいて、選択的に第一指令若しくは第二指令を発するコントローラ」と、「前記ＲＦ電源の作動モードに基づいて、選択的に第一指令若しくはＲＦ電源に周波数変更操作を行うよう指示する指令を発するコントローラ」の点で一致する。 ク 引用発明の「前記制御部の制御の下で、下部整合器が、Ｈレベル期間ＴAにおける負荷側のインピーダンスを高周波電源側のインピーダンスにマッチングさせるように動作し、Ｌレベル期間ＴB中の負荷インピーダンスを無視（非検知）するようになっているとともに、Ｌレベル期間ＴBにおけるインピーダンスマッチングのずれを極力少なくするために、下部シース厚さの減少つまりシース容量の増大をキャンセルするように、ＬＦ周波数をＨレベルのときの基準周波数ＦAよりも適当に低いＬレベルの値ＦBまで下げ」ることは、上記エないしキでの検討を踏まえると、本願発明３の「前記ハイレベル段階においては前記コントローラが前記第一指令を発し、前記ローレベル段階においては前記コントローラが前記ＲＦ電源に周波数変更操作を行うよう指示する指令を発」する点で一致する。 ケ 以上によれば、本願発明３と引用発明とは、 「ＲＦ電源と前記ＲＦ電源に接続された負荷との間のインピーダンスを整合させるために用いられるインピーダンス整合器であって、 インピーダンス整合ネットワークと、 前記インピーダンス整合ネットワークを駆動して一定のインピーダンスを提供するモータと、 前記ＲＦ電源の作動モードに基づいて、選択的に第一指令若しくはＲＦ電源に周波数掃引操作を行うよう指示する指令を発するコントローラと、を含み、 ここで、前記第一指令は、インピーダンス整合ネットワークを駆動して一定のインピーダンスを提供するよう前記モータに指示し、前記ＲＦ電源に周波数掃引操作を行うよう指示する指令は、前記ＲＦ電源に周波数変更操作を行うよう指示し、 前記ＲＦ電源の作動モードはパルスデュアルレベルモードであり、前記パルスデュアルレベルモードはハイレベル段階とローレベル段階を含み、 前記ハイレベル段階においては前記コントローラが前記第一指令を発し、前記ローレベル段階においては前記コントローラが前記ＲＦ電源に周波数掃引操作を行うよう指示する指令を発する、 インピーダンス整合器。」 である点で一致するとともに下記点で一応相違する。 ＜相違点＞ 「第二指令」が、本願発明３は、「前記モータに駆動を停止するよう指示する」ものであるのに対して、引用発明はステップモータに駆動を停止するよう指示するのか明らかではない点。 （２）判断 ・相違点について 引用発明の「ステップモータ」は、「制御部」が「コントローラ」を介して、「第３ステートＴA内の整合器感応期間ＴM中だけＲＦセンサの出力信号を入力し、負荷インピーダンス測定値が基準インピーダンスまたは整合ポイント（通常５０Ω）に一致するように、ステップモータを通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御」するものであって、「制御部の制御の下で、下部整合器が、Ｈレベル期間ＴAにおける負荷側のインピーダンスを高周波電源側のインピーダンスにマッチングさせるように動作し、Ｌレベル期間ＴB中の負荷インピーダンスを無視（非検知）するようになっている」ものであるから、「負荷インピーダンス」が「無視（非検知）」されている「Ｌレベル期間ＴB中」は、「負荷インピーダンス測定値が基準インピーダンスまたは整合ポイント（通常５０Ω）に一致するように、ステップモータを通じて可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションを可変制御」することができないものである。 そうすると、当該「負荷インピーダンス」が「無視（非検知）」されている「Ｌレベル期間ＴB中」は、「ステップモータ」を駆動しないと考えるのが自然であるところ、「ステップモータ」を駆動しないように、衝撃等によるステップモータの空回りを防止することを考慮し、引用発明において、ステップモータに駆動を停止する指示をするものであると解される。 したがって、引用発明において、「Ｌレベル期間ＴB中」に「ステップモータ」に対する通電を解除した場合は、衝撃等で「ステップモータ」が動き、可変コンデンサＣ1，Ｃ2のインピーダンス・ポジションも変化するという不都合が生じることを踏まえると、ステップモータを駆動しないように、衝撃等によるステップモータの空回りを防止することを考慮しているといえるので、ステップモータに駆動を停止する指示をしていることであると解されるところ、当該「ステップモータに駆動を停止する指示をしていること」は本願発明３における「モータに駆動を停止するよう指示する」ことに相当するといえる。 よって、相違点は実質的な相違点ではない。 仮にそうでないとしても、当該「負荷インピーダンス」が「無視（非検知）」されている「Ｌレベル期間ＴB中」は、「ステップモータ」を駆動しないように、衝撃等によるステップモータの空回りを防止することを考慮し、引用発明において、ステップモータに駆動を停止する指示をするようになすことは、当業者が適宜なし得た事項である。 （３）請求人の主張 ア 請求人は、審判請求書【請求の理由】「４．本願発明が特許されるべき理由」において概略下記のとおり主張する。 「出願人は、新請求項１が引用文献１と比較して少なくとも以下の際だった技術的な特徴を有すると考えております。 特徴Ａ：『前記周波数掃引整合ステップにおいては、モータに駆動を停止するよう指示するとともに、前記ＲＦ電源に周波数掃引操作を行うよう指示し、 前記ＲＦ電源の作動モードはパルスデュアルレベルモードであり、前記パルスデュアルレベルモードはハイレベル段階とローレベル段階を含み、ここで、 前記ハイレベル段階においては前記自動整合ステップを行い、前記ローレベル段階においては前記周波数掃引整合ステップを行い、 若しくは、 前記ハイレベル段階においては前記周波数掃引整合ステップを行い、前記ローレベル段階においては前記自動整合ステップを行う』（以下、特別な技術的特徴Ａと称します）。 ・・・ このように、引用文献１では、異なる周波数のＲＦ電源に対して異なる整合方法が存在します。高周波のパワー（ＨＦ）のＲＦ電源または高周波数のパワー（ＬＦ）のＲＦ電源が同じレベルモード（例えば、Ｌレベル）にある場合、周波数調整の異なる変化傾向を有し、周波数調整がパワー変化により影響され、異なるパワーレンジは、周波数調整の異なる変化傾向に対応します。 よって、引用文献１の整合調整モード、特に周波数調整は、本願の周波数調整方法における周波数掃引整合とは異なります。引用文献１は、本願の”周波数掃引整合ステップ”を開示しておらず、引用文献１の整合方法の全体は、本願の方法とは全く異なっております。引用文献１は上記の特別な技術的特徴Ａを開示しておりません。」 イ また、請求人は、令和４年４月４日提出の上申書の【上申の内容】「２．上申の内容」「（２）請求項１、２の進歩性について」において概略下記のとおり主張する。 「出願人が強調したいことは、本願の整合方法は技術的な解決策の完全な組み合わせであり、整合方法のロジックは、全体の整合プロセスの異なる段階で異なる整合動作を行うことです。どの段階でどの整合操作を行なうかを決定するときに、複数の整合操作および複数の段階は、相互に関連していて分けることはできません。引用文献１が周波数を下げたり上げたりする整合操作および自動整合ステップを開示していることだけに基づいて、引用文献１が前記ハイレベル段階においては前記自動整合ステップを行い、前記ローレベル段階においては前記周波数掃引整合ステップを行い（方法１）、若しくは、前記ハイレベル段階においては前記周波数掃引整合ステップを行い、前記ローレベル段階においては前記自動整合ステップを行う（方法２）ことを開示したと結論づける理由はありません。 周波数掃引整合と自動整合が共通の整合操作であることはこの技術分野でよく知られており、本願の進歩性は、どちらの整合操作をどの段階で行なうか、すなわち、全体の整合プロセスにおける異なる段階と異なる整合操作との間の関係にあります。 これに対して、引用文献１は、周波数を下げる操作が低周波（ＬＦ）パワー供給のＬレベル期間ＴＢの間でだけ実行され、周波数を上げる操作が高周波（ＨＦ）パワー供給のＬレベル期間ＴＢの間でだけ実行されることを開示しています。引用文献１に開示されているように、周波数を下げる操作および周波数を上げる操作は、それぞれ異なる種類のパワー供給に対応しています。当然ながら、異なるパワー供給が原因で、Ｌレベル期間も異なる期間に対応し、ＨＦパワー供給が使われるときの低レベル期間か、あるいはＬＦパワー供給が使われるときの低レベル期間の何れかであります。 これから分かるように、引用文献１では、異なる周波数のＲＦ電源に対して異なる整合方法があります。高周波（ＨＦ）のＲＦ電源または低周波（ＬＦ）のＲＦ電源が同じレベルモード（例えば、Ｌレベル）にある場合、周波数調整によって生じる変化は異なり、周波数調整はパワーの変化に影響され、異なるパワーレンジでは周波数調整によって生じる変化が異なります。 本願の周波数掃引整合は、周波数掃引整合ステップが実行されるときに整合を実現する周波数が見出されるまで周波数が下げられ、または上げられ得ることを規定しています。本願の周波数下げ操作および周波数上げ操作は、パワー供給の種類によっては限定されず、同じ段階（方法１のローレベル段階、または方法２のハイレベル段階）に存在します。 すなわち、本願では、高周波ＲＦ電源または低周波ＲＦ電源のために異なる整合方法が選択的に設計されておらず、ＲＦ電源が交互に作動されるハイレベル段階およびローレベル段階に対してのみ自動整合ステップおよび周波数掃引整合ステップが選択的に実行されます。更に、周波数掃引整合ステップでは、ＲＦ電源の調節可能な全周波数域において最適な周波数を選択することが要求され、周波数の選択は、ＲＦ電源の高い周波数およびパワーとは全く無関係です。」 ウ しかしながら、上記アの点については上記（２）で検討したとおりである。 また、上記イの点については、本願発明３は、「第二指令は」、「ＲＦ電源に周波数掃引操作を行うよう指示」するとしか特定しておらず、一般的な「周波数掃引操作」以上の具体的内容（周波数掃引整合）までは特定されておらず、さらに、「前記ハイレベル段階においては前記コントローラが前記第一指令を発し、前記ローレベル段階においては前記コントローラが前記第二指令を発し（以下「構成Ａ」という。）、若しくは前記ハイレベル段階においては前記コントローラが前記第二指令を発し、前記ローレベル段階においては前記コントローラが前記第一指令を発する（以下「構成Ｂ」という。）」ことを特定しているのであって、上記構成Ａ及びＢの両構成を同時に備えることを特定しているのではなく、上記構成Ａ若しくはＢいずれかを備えればよいことを特定しているにすぎないから、いずれも、請求項３の記載のみに基づいた主張ではなく、請求人の上記イの主張は採用できない。 （４）小括 以上の検討によれば、引用発明は本件発明３の構成をすべて備えている。 よって、本件発明３は引用発明である。 また、仮に、相違点が実質的な相違点である場合についても、前記（２）で検討したように、引用発明において、当業者が適宜なし得た事項にすぎない。 ６ むすび 以上のとおり、本願発明３は、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、特許を受けることができないものであり、また、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。 よって、結論のとおり審決する。