2020-001379

特願２０１７－５０７９８５「プラズマ化学気相堆積システムにおいて高温で圧縮又は引張応力を有するウェハを処理する方法及び装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年　２月１８日国際公開、ＷＯ２０１６／０２５５７３、平成２９年　９月１４日国内公表、特表２０１７－５２７１１５、請求項の数（１０）〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

【理　由】 本願は、平成２７年　８月１２日（パリ条約による優先権主張　２０１４年　８月１５日　（ＵＳ）アメリカ合衆国）の出願であって、その請求項１～１０に係る発明は、令和　３年　１月　５日付け手続補正によって補正された特許請求の範囲の請求項１～１０に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由及び当審で通知した拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。