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特許拒絶査定不服審判

2020-001328

表面形状由来のオーバーレイの分解分析および分解分析を用いたオーバーレイ制御の向上

審判番号
2020-001328
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2017-512350
請求日
2020年01月31日
審決日
2021年02月17日
公報発行日
2021年08月27日
結論
請求不成立
当事者
  • 【請求人】ケーエルエー コーポレイション
  • 【請求人代理人】特許業務法人YKI国際特許事務所
審判長/審判官
  • 審判長 辻本 泰隆
  • 審判官 井上 和俊
  • 審判官 ▲吉▼澤 雅博
分類
P18 .536-WZ (H01L) / P18 .537-WZ (H01L)
データ出所
審決公報(SGML)

事件の表示

特願2017-512350「表面形状由来のオーバーレイの分解分析および分解分析を用いたオーバーレイ制御の向上」拒絶査定不服審判事件〔平成28年 3月10日国際公開、WO2016/036763、平成29年11月24日国内公表、特表2017-535059〕について、次のとおり審決する。

結論

【結 論】 本件審判の請求は、成り立たない。

理由

【理 由】 本願は、平成27年 9月 1日の出願であって、「表面形状由来のオーバーレイの分解分析および分解分析を用いたオーバーレイ制御の向上」に関するものと認める。 これに対して、令和 2年 9月24日付けで拒絶理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、請求人からは何らの応答もない。 そして、上記の拒絶理由は妥当なものと認められるので、本願は、この拒絶理由によって拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。

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2020-001328

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