特許拒絶査定不服審判
2020-001328
表面形状由来のオーバーレイの分解分析および分解分析を用いたオーバーレイ制御の向上
- 審判番号
- 2020-001328
- 法域
- 特許
- 審判種別
- 拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
- 出願番号
- 特願2017-512350
- 請求日
- 2020年01月31日
- 審決日
- 2021年02月17日
- 公報発行日
- 2021年08月27日
- 結論
- 請求不成立
- 当事者
- 【請求人】ケーエルエー コーポレイション
- 【請求人代理人】特許業務法人YKI国際特許事務所
- 審判長/審判官
- 審判長 辻本 泰隆
- 審判官 井上 和俊
- 審判官 ▲吉▼澤 雅博
- 分類
- P18 .536-WZ (H01L) / P18 .537-WZ (H01L)
- データ出所
- 審決公報(SGML)
事件の表示
特願2017-512350「表面形状由来のオーバーレイの分解分析および分解分析を用いたオーバーレイ制御の向上」拒絶査定不服審判事件〔平成28年 3月10日国際公開、WO2016/036763、平成29年11月24日国内公表、特表2017-535059〕について、次のとおり審決する。
結論
【結 論】
本件審判の請求は、成り立たない。
理由
【理 由】
本願は、平成27年 9月 1日の出願であって、「表面形状由来のオーバーレイの分解分析および分解分析を用いたオーバーレイ制御の向上」に関するものと認める。
これに対して、令和 2年 9月24日付けで拒絶理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、請求人からは何らの応答もない。
そして、上記の拒絶理由は妥当なものと認められるので、本願は、この拒絶理由によって拒絶すべきものである。
よって、結論のとおり審決する。
審決本文(J-PlatPat)
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2020-001328