2018-011299

特願２０１３－２２３９７８「光スキャナー，画像表示装置，ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年　５月　７日出願公開，特開２０１５－　８７４４２，請求項の数（７）〕について，次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は，特許すべきものとする。

【理　由】 １　手続の経緯 本願は，平成２５年１０月２９日の出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。 平成２９年　６月２０日　拒絶理由通知（同年同月２７日発送） 同年　８月２１日　意見書提出 同年１１月２８日　拒絶理由通知（同年同月５日発送） 平成３０年　１月２９日　手続補正・意見書提出 同年　６月１２日　拒絶査定（同年同月１９日謄本送達） 同年　８月２１日　審判請求 平成３１年　２月２８日　拒絶理由通知（同年３月５日発送） 同年　４月１９日　手続補正・意見書提出 ２　本願発明 本願の請求項１～７に係る発明は，平成３１年４月１９日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１～７に記載されている事項により特定されるとおりのものであり，そのうち請求項１に係る発明（以下「本願発明１」という。）は，特許請求の範囲の請求項１に記載されている事項により特定される以下のとおりのものである。 「【請求項１】 光を反射する光反射部を備える可動板と， 前記可動板を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１ねじり棒ばね部と， 前記第１ねじり棒ばね部に接続された変位部と， 前記変位部を前記第１の軸と交差する第２の軸まわりに揺動可能に支持する第２ねじり棒ばね部と， 一方の磁極と他方の磁極とを結ぶ線分が前記第１の軸及び前記第２の軸に対して傾斜するように前記変位部に設けられた永久磁石と， 前記変位部と隔てて設けられ，前記永久磁石に作用する磁界を発生するコイルと，を備え， 前記変位部は，前記可動板を囲む枠部，前記枠部より厚みが薄く前記枠部から前記第２ねじり棒ばね部が延在する方向と交差する向きに延在し，前記第２の軸まわりにおける揺動の回転速度を減衰するダンパー部，を備え， 前記永久磁石は前記枠部により支持されていることを特徴とする光スキャナー。」 ３　原査定の理由及び当審拒絶理由の概要 －－－＜　引用例等一覧　＞－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ １　特開２０１８－２２８４３７号公報 ２　特開２００５－２５００７７号公報 ３　特開２０１０－５４９４４号公報 ４　特開２０１３－３５０８１号公報 ５　特開２０１３－２２２１５５号公報 ６　特開２００８－２６８４９号公報 ７　特開２００２－１３１６８５号公報 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ （１）原査定（平成３０年６月１２日付け拒絶査定）の理由の概要は次のとおりである。 請求項１に係る発明は，引用例１に記載された発明について，引用例５－７に記載された枠部を設ける周知技術，及び，引用例６，７，２に記載された，厚みが薄くねじり棒ばね部が延在する方向と交差する方向と交差する向きに延在する部分を設ける周知技術を踏まえた上で，引用例６に記載されたリブを設ける技術を適用し，引用例２によって既に知られた適宜な機能を有するダンパー部となすことにより，当業者が容易に発明をすることができたものである。 （２）平成３１年２月２８日付けで通知された拒絶理由（以下「当審拒絶理由」という。）の概要は次のとおりである。 請求項１に係る発明は，引用例１に記載された発明について，引用例２に記載されたダンパー構造を設ける技術を適用することにより，当業者が容易に発明をすることができたものである。 ４　引用例に記載された発明 （１）引用例１に記載された発明 ア　本願の出願前に日本国内において頒布された文献である引用例１（特開２０１８－２２８４３７号公報）には，図とともに以下の記載がある（下線は当審で付した。以下同様。）。 イ「【００２０】 図１および図２に示すように，アクチュエータ１は，第１の振動系２１と第２の振動系２２とを備える基体２と，基体２を支持する支持基板３と，支持基板３を介して基体２と対向する対向基板５と，永久磁石６１とコイル６２と電圧印加手段６３とで構成された駆動手段６と，永久磁石６１の固定位置を定める位置決め部７１，７２とを備えている。 図１に示すように，基体２は，枠状の支持部２３と，支持部２３に支持された第１の振動系２１と，第１の振動系２１に支持された第２の振動系２２とを備えている。 【００２１】 第１の振動系２１は，支持部２３の内側に設けられた枠状の駆動部材２１１と，駆動部材２１１を支持部２３に両持ち支持する１対の第１の軸部材２１２，２１３とで構成されている。また，第２の振動系２２は，駆動部材２１１の内側に設けられた可動板２２１と，可動板２２１を駆動部材２１１に両持ち支持する１対の第２の軸部材２２２，２２３とで構成されている。 【００２２】 駆動部材２１１は，図１の平面視（すなわち，可動板２２１の平面視）にて，円環状をなしている。ただし，駆動部材２１１の形状は，枠状をなしていれば，特に限定されず，例えば，図１の平面視にて，四角環状をなしていてもよい。駆動部材２１１の下面には，長手形状をなす永久磁石６１が固定（固着）されている。この永久磁石６１は，駆動部材２１１の下面に形成された１対の位置決め部７１，７２によって定められた固定位置に正確に固定されている。このような駆動部材２１１は，１対の第１の軸部材２１２，２１３によって支持部２３に両持ち支持されている。 【００２３】 第１の軸部材２１２，２１３のそれぞれは，長手形状をなしており，弾性変形可能である。第１の軸部材２１２，２１３のそれぞれは，駆動部材２１１を支持部２３に対して回動可能とするように，駆動部材２１１と支持部２３とを連結している。このような，第１の軸部材２１２，２１３は，互いに同軸的に設けられており，この軸（以下，「回動中心軸Ｘ」という）を中心として，駆動部材２１１が支持部２３に対して回動するように構成されている。 【００２４】 駆動部材２１１の内側に形成された可動板２２１は，図１の平面視にて，円形状をなしている。だたし，可動板２２１の形状は，駆動部材２１１の内側に形成することができれば特に限定されず，例えば，図１の平面視にて，楕円形状をなしていてもよいし，四角形状をなしていてもよい。可動板２２１の上面には，光反射性を有する光反射部２２１ａが形成されている。このような可動板２２１は，１対の第２の軸部材２２２，２２３によって，駆動部材２１１に両持ち支持されている。 【００２５】 第２の軸部材２２２，２２３のそれぞれは，長手形状をなしており，弾性変形可能である。第２の軸部材２２２，２２３のそれぞれは，可動板２２１を駆動部材２１１に対して回動可能とするように，可動板２２１と駆動部材２１１とを連結している。このような第２の軸部材２２２，２２３は，互いに同軸的に設けられており，この軸（以下，「回動中心軸Ｙ」という）を中心として，可動板２２１が駆動部材２１１に対して回動するように構成されている。 【００２６】 図１に示すように，回動中心軸Ｘと回動中心軸Ｙとは，互いに直交する軸である。すなわち，回動中心軸Ｘと回動中心軸Ｙとのなす角は，９０度である。また，駆動部材２１１および可動板２２１のそれぞれの中心は，図１の平面視にて，回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙの交点上に位置している。なお，以下，説明の便宜上，回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙの交点を「交点Ｇ」ともいう。 【００２７】 このような基体２は，例えば，シリコンを主材料として構成されていて，可動板２２１と，第２の軸部材２２２，２２３と，駆動部材２１１と，第１の軸部材２１２，２１３と，支持部２３とが一体的に形成されている。シリコンを主材料とすることで，優れた回動特性を実現できるとともに，優れた耐久性を発揮することができる。また，微細な処理（加工）が可能であり，アクチュエータ１の小型化を図ることができる。 ・・・（中略）・・・ 【００４６】 コイル６２は，電圧印加手段６３と電気的に接続されている。そして，電圧印加手段６３によりコイル６２に電圧が印加されることで，コイル６２から回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸に直交する軸方向の磁束を有する磁界が発生する。 図４に示すように，電圧印加手段６３は，可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに回動させるための第１の電圧Ｖ１を発生させる第１の電圧発生部６３１と，可動板２２１を回動中心軸Ｙまわりに回動させるための第２の電圧Ｖ２を発生させる第２の電圧発生部６３２と，第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳し，その電圧をコイル６２に印加する電圧重畳部６３３とを備えている。 【００４７】 第１の電圧発生部６３１は，図５（ａ）に示すように，周期Ｔ１で周期的に変化する第１の電圧Ｖ１（垂直走査用電圧）を発生させるものである。 第１の電圧Ｖ１は，鋸波のような波形をなしている。そのため，アクチュエータ１は効果的に光を垂直走査（副走査）することができる。なお，第１の電圧Ｖ１の波形は，これに限定されない。ここで，第１の電圧Ｖ１の周波数（１／Ｔ１）は，垂直走査に適した周波数であれば，特に限定されないが，３０～８０Ｈｚ（６０Ｈｚ程度）であるのが好ましい。 本実施形態では，第１の電圧Ｖ１の周波数は，駆動部材２１１と１対の第１の軸部材２１２，２１３とで構成された第１の振動系２１のねじり共振周波数と異なる周波数となるように調整されている。 【００４８】 一方，第２の電圧発生部６３２は，図５（ｂ）に示すように，周期Ｔ１と異なる周期Ｔ２で周期的に変化する第２の電圧Ｖ２（水平走査用電圧）を発生させるものである。 第２の電圧Ｖ２は，正弦波のような波形をなしている。そのため，アクチュエータ１は効果的に光を主走査することができる。なお，第２の電圧Ｖ２の波形は，これに限定されない。 【００４９】 このような第２の電圧Ｖ２の周波数は，第１の電圧Ｖ１の周波数よりも大きいのが好ましい。すなわち，周期Ｔ２は，周期Ｔ１よりも短いのが好ましい。これにより，より確実かつより円滑に，可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ，回動中心軸Ｙまわりに第２の電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。 また，第２の電圧Ｖ２の周波数は，第１の電圧Ｖ１の周波数と異なり，かつ，水平走査に適した周波数であれば，特に限定されないが，１０～４０ｋＨｚであるのが好ましい。このように，第２の電圧Ｖ２の周波数を１０～４０ｋＨｚとし，前述したように第１の電圧Ｖ１の周波数を６０Ｈｚ程度とすることで，ディスプレイでの描画に適した周波数で，可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。ただし，可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができれば，第１の電圧Ｖ１の周波数と第２の電圧Ｖ２の周波数との組み合わせなどは，特に限定されない。 【００５０】 本実施形態では，第２の電圧Ｖ２の周波数は，可動板２２１と１対の第２の軸部材２２２，２２３とで構成された第２の振動系２２のねじり共振周波数と等しくなるように調整されている。つまり，第２の振動系２２は，そのねじり共振周波数が水平走査に適した周波数になるように設計（製造）されている。これにより，可動板２２１の回動中心軸Ｙまわりの回動角を大きくすることができる。 【００５１】 また，第１の振動系２１の共振周波数をｆ１［Ｈｚ］とし，第２の振動系２２の共振周波数をｆ２［Ｈｚ］としたとき，ｆ１とｆ２とが，ｆ２＞ｆ１の関係を満たすことが好ましく，ｆ２≧１０ｆ１の関係を満たすことがより好ましい。これにより，より円滑に，可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ，回動中心軸Ｙまわりに第２の電圧Ｖ２の周波数で回動させることができる。 【００５２】 このような第１の電圧発生部６３１および第２の電圧発生部６３２は，それぞれ，制御部４に接続され，この制御部４からの信号に基づき駆動する。このような第１の電圧発生部６３１および第２の電圧発生部６３２には，電圧重畳部６３３が接続されている。 この電圧重畳部６３３は，コイル６２に電圧を印加するための加算器６３３ａを備えている。加算器６３３ａは，第１の電圧発生部６３１から第１の電圧Ｖ１を受けるとともに，第２の電圧発生部６３２から第２の電圧Ｖ２を受け，これらの電圧を重畳しコイル６２に印加するようになっている。 ・・・（中略）・・・ 【００５６】 なお，第１の電圧Ｖ１の周波数は，第２の電圧Ｖ２の周波数に比べて極めて低く設定されている。また，第１の振動系２１の共振周波数は，第２の振動系２２の共振周波数よりも低く設計されている（例えば，第２の振動系２２の共振周波数の１／１０以下）。つまり，第１の振動系２１は，第２の振動系２２よりも振動しやすいように設計されているため，第１の電圧Ｖ１によって回動中心軸Ｘまわりに回動する。すなわち，第２の電圧Ｖ２によって，駆動部材２１１が回動中心軸Ｘまわりに回動してしまうことを防止することができる。 ・・・（中略）・・・ 【００５９】 なお，第２の電圧Ｖ２の周波数は，第２の振動系２２のねじり共振周波数と等しい。そのため，第２の電圧Ｖ２によって，支配的に，可動板２２１を回動中心軸Ｙまわりに回動させることができる。つまり，第１の電圧Ｖ１によって，可動板２２１が回動中心軸Ｙまわりに回動してしまうことを防止することができる。 以上より，アクチュエータ１にあっては，第１の電圧Ｖ１と第２の電圧Ｖ２とを重畳させた電圧Ｖ３をコイル６２に印加することで，可動板２２１を回動中心軸Ｘまわりに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ，回動中心軸Ｙまわりに第２の電圧のＶ２の周波数で回動させることができる。これにより，低コスト化および小型化を図りつつ，可動板２２１を回動中心軸Ｘおよび回動中心軸Ｙのそれぞれの軸まわりに回動させることができる。」 ウ「【０１０１】 以上説明したようなアクチュエータは，光反射部を備えているため，例えば，加速度センサ，角速度センサなどのＭＥＭＳ応用センサや，レーザープリンタ，バーコードリーダー，走査型共焦点レーザー顕微鏡，イメージング用ディスプレイ等の画像形成装置に備える光スキャナ，光スイッチ，光アッテネータなどの光学デバイスに用いることができる。なお，本発明の光スキャナは，前述したアクチュエータと同様の構成であるため，その説明を省略する。 【０１０２】 ここで，図１２に基づき，画像形成装置の一例として，アクチュエータ１をイメージング用ディスプレイの光スキャナとして用いた場合を説明する。なお，スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい，長手方向に直角な方向を「縦方向」という。また，回動中心軸ＸがスクリーンＳの横方向と平行であり，回動中心軸ＹがスクリーンＳの縦方向と平行である。 【０１０３】 画像形成装置（プロジェクタ）９は，レーザーなどの光を照出する光源装置９１と，複数のダイクロイックミラー９２，９２，９２と，アクチュエータ１とを有している。 光源装置９１は，赤色光を照出する赤色光源装置９１１と，青色光を照出する青色光源装置９１２と，緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。 各ダイクロイックミラー９２は，赤色光源装置９１１，青色光源装置９１２，緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。 【０１０４】 このようなプロジェクタ９は，図示しないホストコンピュータからの画像情報に基づいて，光源装置９１（赤色光源装置９１１，青色光源装置９１２，緑色光源装置９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２で合成し，この合成された光がアクチュエータ１によって２次元走査され，スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。 【０１０５】 ２次元走査の際，アクチュエータ１の可動板２２１の，回動中心軸Ｙまわりの回動により光反射部２２１ａで反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方，アクチュエータ１の可動板２２１の，回動中心軸Ｘまわりの回動により光反射部２２１ａで反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。 なお，図１２中では，ダイクロイックミラー９２で合成された光をアクチュエータ１によって２次元的に走査した後，その光を固定ミラー９５で反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが，固定ミラー９５を省略し，アクチュエータ１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射してもよい。」 エ　ここで，図１は以下のものである。 上記図１において，１対の第１の軸部材２１２，２１３の軸と，１対の第２の軸部材２２２，２２３の軸は交差し，永久磁石６１は，１対の第１の軸部材２１２，２１３の軸及び１対の第２の軸部材２２２，２２３の軸に対して傾斜していることが示されている。 オ　上記イ～エから，引用例１には，次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。 「光源装置を有する画像形成装置に用いられる光スキャナであって， 第１の振動系と第２の振動系とを備える基体と， 永久磁石とコイルと電圧印加手段とで構成された駆動手段と， 第１の振動系は，枠状の駆動部材と，駆動部材を両持ち支持する１対の第１の軸部材とで構成され， 第２の振動系は，駆動部材の内側に設けられた可動板と，可動板を駆動部材に両持ち支持する１対の第２の軸部材とで構成され， 第１の振動系の共振周波数は，第２の振動系の共振周波数よりも低く設計されており， 永久磁石は，駆動部材の下面に形成された１対の位置決め部によって固定され， 可動板の上面には，光反射性を有する光反射部が形成され， １対の第１の軸部材の軸と，１対の第２の軸部材の軸は交差し，永久磁石は，１対の第１の軸部材の軸及び１対の第２の軸部材の軸に対して傾斜しており， コイルには，第１の電圧Ｖ１及び第２の電圧Ｖ２が重畳されて印加され， 第１の電圧Ｖ１の周波数は，第１の振動系のねじり共振周波数と異なる周波数となるように調整されており， 第２の電圧Ｖ２の周波数は，第２の振動系のねじり共振周波数と等しくなるように調整されており， 第１の電圧Ｖ１の周波数は，第２の電圧Ｖ２の周波数に比べて極めて低く設定されており， 可動板を１対の第１の軸まわりに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ，１対の第２の軸まわりに第２の電圧のＶ２の周波数で回動させるものである， 光スキャナ。」 （２）引用例２に記載された事項 ア　引用例２（特開２００５－２５００７７号公報）には，図とともに次の記載がある。 「【実施例１】 【００１９】 図１は，本発明の実施例１の光偏向器を説明する概略図である。実施例１の光偏向器において，可動子１００，１０１が形成され，可動子１００は第一ねじりばね１０２で可動子１０１に連結される。可動子１０１は第二ねじりばね１０３で支持体１０４に連結される。可動子１００，１０１，第一ねじりばね１０２，第二ねじりばね１０３，支持体１０４は，マイクロマシニング技術でシリコン基板などに一体形成することができる。可動子１００の一方面側には，表面に光の反射率の高いアルミニウムや誘電体多層膜などの物質をコーティングして反射面１０５を形成する。また，可動子１０１の一方面側には，メッキ等により硬磁性体が成膜されている。硬磁性体はねじり軸に対して垂直方向に磁化されている。コイル１０６に電流を印加することによって，コイル１０６から磁場が発生する。発生した磁場により可動子１０１の硬磁性体にはトルクが作用し，光偏向器を駆動することができる。 【００２０】 本発明の特徴は，可動子１００の反射面１０５ではない箇所にダンパー構造１０７を形成したことである。可動子１００の厚みは２００μｍであり，ダンパー構造１０７は，１０μｍとした。これによって，可動子１００がねじり振動するときの空気抵抗が増大し，光偏向器の固有振動モードのＱ値が低減される。従って，光偏向器の固有振動モードと駆動周波数が完全に一致していなくても，固有振動モードの近傍の駆動周波数で駆動でき，光偏向器を２つの周波数の重ね合わせで駆動することができる。 【実施例２】 【００２１】 図２は，本発明の実施例２の光偏向器を説明する斜視図である。実施例２の光偏向器において，平板形状可動子２００，輪形状可動子２０１が形成され，平板形状可動子２００は第一ねじりばね２０２ａ，２０２ｂで輪形状可動子２０１に連結される。輪形状可動子２０１は第二ねじりばね２０３ａ，２０３ｂで支持体２０４に連結される。平板形状可動子２００，輪形状可動子２０１，第一ねじりばね２０２ａ，２０２ｂ，第二ねじりばね２０３ａ，２０３ｂ，支持体２０４は，マイクロマシニング技術でシリコン基板から一体形成できる。平板形状可動子２００の一方面側には，表面に光の反射率の高いアルミニウムや誘電体多層膜などの物質をコーティングして反射面２０５を形成する。また，平板形状可動子２００の他方面側には，メッキ等により硬磁性体が成膜されている。硬磁性体はねじり軸に対して垂直方向に磁化されている。コイル２５０に電流を印加することによって，コイル２５０から磁場が発生する。発生した磁場により平板形状可動子２００の硬磁性体にはトルクが作用し，光偏向器を駆動することができる。 【００２２】 本発明の特徴は，輪形状可動子２０１を第二ねじりばね２０３ａ，２０３ｂの二本で支持体２０４の２箇所に連結し，ダンパー構造２０６を可動子２０１より薄くしてねじりばねのねじり軸に直交する方向の可動子２０１の両端部に形成したことである。輪形状可動子２０１を第二ねじりばね２０３ａ，２０３ｂの二本で支持体２０４に連結してことで，曲げ剛性を高め，不要なたわみモードの動きを抑制することができる。さらに，ダンパー構造２０６を可動子２０１より薄くし，ねじりばねのねじり軸に直交する方向の可動子２０１の両端部に形成したことによって，慣性モーメントの増大を最小限にしてダンパー効果を大きくでき，Ｑ値を抑えることができる。従って，形状のばらつきなどにより，駆動周波数と固有振動モードが完全に一致していなくても，固有振動モードの近傍の駆動周波数で，光偏向器を駆動することができる。」 イ　上記記載から，引用例２には，次の技術（以下，「引用例２技術」という。）が記載されているものと認められる。 「可動子を有する光偏向器において，駆動周波数と固有振動モードを調整し，大きなダンパー効果を得るため，可動子より薄くしたダンパー構造を，ねじりばねのねじり軸に直交する方向に，可動子の両端部に形成する技術。」 （３）引用例３に記載された事項 ア　引用例３（特開２０１０－５４９４４号公報）には，図とともに次の記載がある。 「【００２７】 以下，本発明の一実施形態について図面を参照しながら説明する。ここでは，前記可動部の一方の面に配置されるリブが永久磁石で，対向する位置に配置されるコイルとの間に生じる電磁力で可動部を揺動させる場合について説明する。ただし，本発明の可動部を揺動させる駆動原理は電磁駆動に限定するものではない。 （光学デバイス） 最初に，図１乃至図４を参照して本発明に係る光学デバイスについて説明する。図１は，本発明に係る光学デバイスの構成を説明する上面図である。図２は，図１に示したＡ－Ａ線矢視方向断面図である。図３は，図１に示したＢ－Ｂ線矢視方向断面図である。なお，以下の説明では，図１中の紙面手前側を「上」，紙面奥側を「下」，右側を「右」，左側を「左」といい，図２中の上側を「上」，下側を「下」，右側を「右」，左側を「左」といい，図３中の上側を「上」，下側を「下」，右側を「右」，左側を「左」という。 【００２８】 光学デバイス１は，光を走査するためのものであり，例えば光スキャナなどに用いられ，光源から照射された光を対象物に走査する。図１に示すように，光学デバイス１は基体２を備える。 基体２は，可動部２１１と，可動部上面に配置されるリブ２１１ｄ，２１１ｅと，可動部下面に配置されるリブ２１１ｆ，２１１ｇと，可動部２１１を枠状の支持部材２２に対してＸ軸周りに揺動可能に支持する一対の軸部材２１２，２１３とから成る振動系２１で構成される。 可動部２１１は，反射膜２１１aが形成される反射膜支持部２１４と，反射膜支持部２１４の外側に接続部２１１ｂ，２１１ｃとを有し，軸部材２１２，２１３と接続部２１１ｂ，２１１ｃで連結している。 図２及び図３に示すように，光学デバイス１は，可動部２１１を支持部材２２に対して揺動運動させる駆動手段６とを備える。 駆動手段６は，可動部２１１の一方の面のリブとして配置される永久磁石２１１ｆ，２１１ｇと，永久磁石２１１ｆ，２１１ｇに対向する位置に配置されるコイル６２と，コイル６２に所定周波数の交流電流信号を印加する交流電流信号発生器６３であって，交流電流信号によりコイル６２が発生させる磁界と，永久磁石２１１ｆ，２１１ｇとの間に生じる電磁力により可動部２１１が揺動運動する。 なお，永久磁石は可動部２１１の一方の面に配置されていればよく，２１１ｆ，２１１ｇの代わりに，２１１ｄ，２１１ｅの配置でもよいし，すべて永久磁石であってもよい。 また，永久磁石は，軸部材２１２，２１３に対して着磁方向が垂直でなくてもよく，角度をなして着磁されていてもよい。 【００２９】 各軸部材２１２，２１３は，棒状をなしており，弾性変形可能である。 【００３０】 反射膜支持部２１４の上面には，光反射性を有する略円形の反射膜２１１ａが設けられている。また，可動部２１１は，反射膜支持部２１４の外側に，それぞれ軸部材２１２又は軸部材２１３に接続される接続部２１１ｂ，２１１ｃを有する。なお，可動部２１１の平面形状は，支持部材２２の内側に配置することができればよく，特に限定されない。但し，図１に示すように，可動部２１１の形状は入射する光のスポット径状に合わせた形，例えば円や楕円であることが好ましい。これにより，可動部２１１の不必要な慣性モーメントの増加を抑えることができる。 【００３１】 図２に示すように，可動部２１１の下面にはリブとして配置される永久磁石２１１ｆ，２１１ｇが設けられ，可動部２１１の上面にはリブ２１１ｄ，２１１eが設けられている。リブ２１１ｄ，２１１ｅ及びリブ２１１ｆ，２１１ｇは，軸部材２１２，２１３に対し，可動部２１１の上面側の慣性モーメントと下面側の慣性モーメントとが等しくなるように構成される。 【００３２】 なお，リブ２１１ｄ，２１１ｅ及びリブ２１１ｆ，２１１ｇは，軸部材２１２，２１３に対して可動部２１１の上面側の慣性モーメントと下面側の慣性モーメントとが等しくなるように構成されていればよく，リブの数，寸法，配置などは特に限定されない。但し，図２に示すように，上面に設けられるリブ２１１ｄ，２１１ｅに対し，下面に設けられるリブ２１１ｆ，２１１ｇが裏側に配置されるのが好ましい。これにより，上面側の慣性モーメントと下面側の慣性モーメントとを，容易に等しくすることができる。 【００３３】 図４は，図２に示した可動部の変形例を説明する要部拡大図である。図４に示すように，例えば反射膜支持部２１４の下側に，リブ２１１ｆ，２１１ｇに代えて，リブ２１１ｈのみを設けるようにしてもよく，リブの位置は特に限定されない。かかる場合には，リブ２１１ｈとして，後述の永久磁石と同様の材料が用いられる。但し，リブ２１１ｄ，２１１ｅのうち少なくとも１つは，軸部材２１２，２１３の近傍に設けられているのが好ましい。これにより，捩れ変形しながら揺動することにより非常に大きな変形を生じる軸部材２１２，２１３近傍が，リブ２１１ｄ，２１１ｅによって補強される。 【００３４】 また，上面のリブ２１１ｄ，２１１ｅは，それぞれ接続部２１１ｂ又は接続部２１１ｃに設けられているのが更に好ましい。これにより，捩れ変形しながら揺動することにより非常に大きな変形を生じる軸部材２１２，２１３近傍が，リブによって補強されるとともに，反射膜２１１ａにリブ２１１ｄ，２１１ｅが設けられることがない。 【００３５】 このように構成された基体２のうち，可動部と，軸部材と，支持部材と，可動部の一方の面に形成されるリブは，例えば第１のシリコン層と第２のシリコン層とが酸化膜層を介して構成される積層構造を有する基板から一体的に形成したものであってもよい。」 イ　上記記載から，引用例３には，次の技術（以下，「引用例３技術」という。）が記載されているものと認められる。 「可動部を有する光スキャナにおいて，慣性モーメントの調整のため，可動部の上面にリブを設ける技術。」 （４）引用例４に記載された事項 ア　引用例４（特開２０１３－３５０８１号公報）には，図とともに次の記載がある。 「【００２２】 以下，光スキャナー１を構成する各部を順次詳細に説明する。 ［基体］ 基体２は，前述したように，光反射部２１１が設けられた可動部２１と，可動部２１を支持する支持部２２と，可動部２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３，２４とを有する。 このような基体２は，シリコンで構成されており，可動部２１，支持部２２および連結部２３，２４が一体的に形成されている。この基体２は，後に詳述するように，シリコン基板をエッチングすることにより形成されたものであり，基体２には，厚さ方向に貫通した異形状の貫通孔２５が形成されている。 【００２３】 シリコンは，軽量かつＳＵＳなみの剛性を有するため，基体２がシリコンで構成されていることにより，優れた振動特性を有する基体２が得られる。また，シリコンは，後述するようにエッチングにより高精度な寸法精度で加工が可能であるので，シリコン基板を用いて基体２を形成することにより，所望の形状（所望の振動特性）を有する基体２を得ることができる。このようなシリコン基板としては，一般的に単結晶シリコン基板が用いられる。 【００２４】 以下，基体２についてさらに詳述する。 図１に示すように，支持部２２は，枠状をなしている。より具体的には，支持部２２は，四角環状をなしている。なお，支持部２２の形状としては，１対の連結部２３，２４を介して可動部２１を支持することができれば，特に限定されず，例えば，各連結部２３，２４に対応して分割された形状をなしていてもよい。 このような支持部２２の内側には，可動部２１が設けられている。 【００２５】 可動部２１は，板状をなしている。また，本実施形態では，可動部２１は，可動部２１の板厚方向からの平面視にて，四角形（本実施形態では正方形）をなしている。なお，可動部２１の平面視形状は，四角形に限定されず，例えば，十字形状，五角形，六角形等の他の多角形，円形，楕円形等であってもよい。 このような可動部２１の上面には，光反射性を有する光反射部２１１が設けられている。 【００２６】 各連結部２３，２４は，後述の回動中心軸Ｘに沿って長い長手形状をなしており，弾性変形可能に構成されている。また，連結部２３および連結部２４は，可動部２１を介して対向している。このような連結部２３，２４は，それぞれ，可動部２１を支持部２２に対して回動可能とするように，可動部２１と支持部２２とを連結している。１対の連結部２３，２４は，回動中心軸Ｘに沿って同軸的に設けられており，この回動中心軸Ｘを回動中心軸として，可動部２１が支持部２２に対して回動する。 【００２７】 また，各連結部２３，２４は，その横断面形状が四角形をなしている。本実施形態では，各連結部２３，２４は，基体２の板面に沿って互いに平行な上面および下面と，この上面および下面に対して垂直でかつ互いに平行な１対の側面とを有する。なお，各連結部２３，２４の横断面形状は，これに限定されず，例えば，台形をなしていてもよいし，平行四辺形をなしていてもよい。また，各連結部２３，２４は，互いに平行な複数の梁部材で構成されていてもよい。 【００２８】 このような基体２において，基体２の表面，特に貫通孔２５の壁面２５１が全域に亘って平坦化処理されている。また，図４に示すように，基体２の各角部，特に，可動部２１の側面と連結部２３，２４の側面との境界部付近に形成された角部２６および連結部２３，２４の側面と支持部２２の側面との境界部付近に形成された角部２７が，それぞれ，平坦化処理により丸められている。 このような平坦化処理により，１対の連結部２３，２４の捩り変形を伴う可動部２１の回動の際に，各連結部２３，２４に生じる応力集中を防止または緩和することができる。その結果，光スキャナー１の長寿命化を図ることができる。なお，かかる平坦化処理については，後に詳述する。」 イ　上記記載から，引用例４には，次の技術（以下，「引用例４技術」という。）が記載されているものと認められる。 「可動部と，可動部と支持部とを連結する１対の連結部とを有する光スキャナーにおいて，連結部に生じる応力集中を防止または緩和するため，可動部の側面と連結部の側面との境界部付近に形成された角部を丸める技術。」 ５　当審の判断 （１）対比 本願発明１と引用発明とを対比する。 ア　引用発明の「可動板」は，その「上面には，光反射性を有する光反射部が形成され」たものであるから，本願発明１の「光を反射する光反射部を備える可動板」に相当する。 イ　引用発明の「１対の第２の軸部材」は，「可動板を駆動部材に両持ち支持する」ものであって，可動板をその軸のまわりに揺動可能に支持するものであるから，本願発明１の「前記可動板を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１ねじり棒ばね部」に相当する。 ウ　引用発明の「駆動部材」は，１対の第２の軸部材によって可動板を支持するものであって，１対の第２の軸部材と接続されているから，本願発明１の「前記第１ねじり棒ばね部に接続された変位部」に相当する。 エ　引用発明の「１対の第１の軸部材」は，「駆動部材を両持ち支持する」ものであって，駆動部材をその軸のまわりに揺動可能に支持するものであり，１対の第１の軸部材の軸と，１対の第２の軸部材の軸は交差しているから，本願発明１の「前記変位部を前記第１の軸と交差する第２の軸まわりに揺動可能に支持する第２ねじり棒ばね部」に相当する。 オ　引用発明の「永久磁石」は，「駆動部材の下面に形成された１対の位置決め部によって固定され」，「１対の第１の軸部材の軸及び１対の第２の軸部材の軸に対して傾斜している」ことから，本願発明１の「一方の磁極と他方の磁極とを結ぶ線分が前記第１の軸及び前記第２の軸に対して傾斜するように前記変位部に設けられた永久磁石」に相当している。 カ　引用発明の「コイル」は，永久磁石に作用する磁界を発生するものであり，駆動部材とは別に設けられているから，本願発明１の「前記変位部と隔てて設けられ，前記永久磁石に作用する磁界を発生するコイル」に相当する。 キ　引用発明の「駆動部材」は，「枠状」のものであり，可動板を取り囲んでいるから，本願発明１の「前記可動板を囲む枠部」を備えたものであるといえ，上記（オ）のとおり，引用発明の「永久磁石」は，「駆動部材の下面に形成された１対の位置決め部によって固定され」て支持されているから，引用発明は，本願発明１の「前記永久磁石は前記枠部により支持されている」という構成も有しているといえる。 ク　引用発明の「光スキャナ」は，本願発明１の「光スキャナー」に相当する。 ケ　したがって，本願発明１と引用発明を対比したときの一致点及び相違点は，次のとおりである。 《一致点》 「光を反射する光反射部を備える可動板と， 前記可動板を第１の軸まわりに揺動可能に支持する第１ねじり棒ばね部と， 前記第１ねじり棒ばね部に接続された変位部と， 前記変位部を前記第１の軸と交差する第２の軸まわりに揺動可能に支持する第２ねじり棒ばね部と， 一方の磁極と他方の磁極とを結ぶ線分が前記第１の軸及び前記第２の軸に対して傾斜するように前記変位部に設けられた永久磁石と， 前記変位部と隔てて設けられ，前記永久磁石に作用する磁界を発生するコイルと，を備え， 前記変位部は，前記可動板を囲む枠部を備え， 前記永久磁石は前記枠部により支持されている， 光スキャナー。」 《相違点１》 本願発明１において，前記変位部は，「前記枠部より厚みが薄く前記枠部から前記第２ねじり棒ばね部が延在する方向と交差する向きに延在し，前記第２の軸まわりにおける揺動の回転速度を減衰するダンパー部」を備えるのに対し，引用発明の「駆動部材」は，このような構成を有していない点。 （２）判断 ア　上記相違点１について検討する。 イ　引用発明においては，「第１の振動系は，枠状の駆動部材と，駆動部材を両持ち支持する１対の第１の軸部材とで構成され，第２の振動系は，駆動部材の内側に設けられた可動板と，可動板を駆動部材に両持ち支持する１対の第２の軸部材とで構成され」るところ，「第１の電圧Ｖ１の周波数は，第１の振動系のねじり共振周波数と異なる周波数となるように調整されており，第２の電圧Ｖ２の周波数は，第２の振動系のねじり共振周波数と等しくなるように調整されており，第１の電圧Ｖ１の周波数は，第２の電圧Ｖ２の周波数に比べて極めて低く設定されており，可動板を１対の第１の軸まわりに第１の電圧Ｖ１の周波数で回動させつつ，１対の第２の軸まわりに第２の電圧のＶ２の周波数で回動させるものである」から，第２の振動系については共振周波数で駆動されているのに対して，第１の振動系については共振周波数で駆動されてはいないといえる。 ウ　引用例２技術は，「可動子を有する光偏向器において，駆動周波数と固有振動モードを調整し，大きなダンパー効果を得るため，可動子より薄くしたダンパー構造を，ねじりばねのねじり軸に直交する方向に，可動子の両端部に形成する」ものではある。しかしながら前記４（２）ア（特に段落【００２２】）に摘記したとおり，引用例２技術に係るダンパー構造は，Ｑ値を抑えて，駆動周波数と固有振動モードが完全に一致していなくても，固有振動モードの近傍の駆動周波数で，光偏向器を駆動することができるようにするためのものである。すなわち，引用例２技術は，固有振動モードの近傍の駆動周波数で，光偏向器を共振駆動するためのものといえる。 エ　これに対して，上記イのとおり，引用発明において，第１の振動系は共振周波数で駆動されていないものであるから，当該第１の振動系，すなわち本願発明１の「第２の軸回りの揺動」に係る系に相当するものについて，共振駆動するための技術である引用例２技術を適用する動機は生じ得ない。それゆえ，引用発明に対して引用例２技術を適用して，相違点１に係る構成を備えるようにすることは，当業者が適宜になし得たこととはいえない。 オ　また，引用例３ないし引用例７には，軸まわりにおける揺動の回転速度を減衰するダンパー部を設けることは記載されていないから，さらに引用例３ないし引用例７の記載を参照しても，引用発明において相違点１に係る構成を備えるようにすることは，当業者が適宜になし得たこととはいえない。 カ　そして，本願発明１は，相違点１に係る構成を備えることにより，光スキャナを小型にしても可動板の垂直走査に水平走査が影響し難いように振動性能を向上させたものである。 （３）小括 よって，本願発明１は，引用例３ないし７に記載された周知技術を勘案しても，引用発明及び引用例２に記載された事項に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。 （４）本願の請求項２～８について 本願の請求項２～７は，請求項１を直接または間接に引用するものであるから，当該各請求項に係る発明は請求項１に係る発明特定事項を含むものである。 そして，前記（１）ないし（３）で検討したとおり，請求項１に係る発明は当業者が容易に発明をすることができたものとはいえないから，本願の請求項２～７に係る発明についても，当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ６　むすび 以上のとおり，本願の請求項１～７に係る発明は，周知技術を勘案して引用発明及び引用例２技術に基づいて，当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできないから，原査定の理由及び当審拒絶理由によっては，本願を拒絶することはできない。 また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって，結論のとおり審決する。