2018-003740

特願２０１４－９５１３７「ビーム整形マスク、レーザ加工装置及びレーザ加工方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年１１月２６日出願公開、特開２０１５－２１１９７８、請求項の数（７）〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

【理　由】 第１　手続の経緯 本願は、平成２６年５月２日の出願であって、平成２９年１０月４日付けで拒絶理由通知がされ、平成２９年１２月８日に意見書が提出され、平成３０年２月１６日付けで拒絶査定（原査定）がされ、これに対し、平成３０年３月１５日に拒絶査定不服審判の請求がされると同時に手続補正がされ、平成３０年５月１１日に審判請求人から上申書が提出されたものである。 第２　原査定の概要 原査定（平成３０年２月１６日付け拒絶査定）の概要は次のとおりである。 １．本願請求項１－４に係る発明は、以下の引用文献１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。 ２．本願請求項１－４に係る発明は、以下の引用文献１に基づいて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 ３．本願請求項５－９に係る発明は、以下の引用文献１－３に基づいて、当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 引用文献等一覧 １．特開平６－３２８６９９号公報 ２．特開２０１３－１４４６１３号公報（周知技術を示す文献） ３．特開２００９－６１７７５号公報（周知技術を示す文献） 第３　本願発明 本願請求項１－７に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」－「本願発明７」という。）は、平成３０年３月１５日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１－７に記載された事項により特定される発明であり、以下のとおりの発明である。 「　【請求項１】 被加工物にレーザ加工される孔の形状に相似形の開口を有するビーム整形マスクであって、 前記開口は、該開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、レーザ光の複数ショットにより前記被加工物を貫通させてレーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように形成されたことを特徴とするビーム整形マスク。 【請求項２】 前記開口は、縦横に並べて複数個が設けられていることを特徴とする請求項１記載のビーム整形マスク。 【請求項３】 前記被加工物は、樹脂製のフィルムであることを特徴とする請求項１又は２記載のビーム整形マスク。 【請求項４】 ビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に縮小投影して、該被加工物に孔をレーザ加工するレーザ加工装置であって、 前記ビーム整形マスクは、前記開口を、該開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、レーザ光の複数ショットにより前記被加工物を貫通させてレーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように形成したものであることを特徴とするレーザ加工装置。 【請求項５】 前記被加工物は、樹脂製のフィルムであることを特徴とする請求項４記載のレーザ加工装置。 【請求項６】 ビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に縮小投影して、該被加工物に孔をレーザ加工するレーザ加工方法であって、 前記開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、レーザ光の複数ショットにより前記被加工物を貫通させてレーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように前記ビーム整形マスクに形成された前記開口を複数ショットの前記レーザ光を透過させ、前記開口を透過した前記複数ショットのレーザ光を前記被加工物に照射して前記被加工物に前記孔を加工する、ことを特徴とするレーザ加工方法。 【請求項７】 前記被加工物は、樹脂製のフィルムであることを特徴とする請求項６記載のレーザ加工方法。」 第４　引用文献、引用発明等 １．引用文献１について 原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には、図面とともに次の事項が記載されている。 「【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、一般にインクジェットプリンタに関し、更に詳細には、インクジェットプリンタ用のノズル部材にテーパ付きノズルを形成するために使用するマスク、およびテーパ付きノズルの形成方法に関する。」 「【００１３】マスクの一実施例では、形成しようとするノズルパターンに対応するマスクの透明な部分は、各々可変密度のドットパターンを組み込んでいるが、不透明ドット（どんな形状でもよい）は下層のポリマーノズル部材をレーザエネルギから部分的に遮蔽する働きをする。ドットパターンの下にあるノズル部分のこの部分的遮蔽によりノズル部材は遮蔽が存在しない場合より除去される深さが少くなる。 【００１４】マスク開口の周辺部分の周りの不透明ドットの密度を適切に選定することにより、ポリマーノズル部材に形成される各ノズルの中心部分は完全に削り取られ、ノズルの周辺部分は部分的にしか削り取られないことになる。ドットの密度を各マスク開口の周辺に向って増大させることにより、得られるノズルを所要形状に形成することができる。」 「【００１７】図１（ａ）はレーザ加工技術を用いてポリマーノズル部材にテーパ付きノズルを形成するのに使用することができるマスク３０の一部の上面図である。図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ－Ａ線矢視方向断面図である。 【００１８】好適実施例では、マスク３０は不透明材料３４の薄層がレーザ光を遮蔽しまたは反射したい場所上に形成されている透明な水晶の基板３２から構成されている。不透明材料はクロムの層、紫外線増強被膜、または他の適切な反射性の、またはそうでなければ不透明の被膜でよい。図１ａのマスクに使用するのに好適なレーザの形式はエキシマ（ｅｘｃｉｍｅｒ）レーザである。 【００１９】不透明材料３４の円形開口３５は、ノズル部材に形成しようとする一つのノズルを形成する。 【００２０】不透明なドット３６はマスク３０の円形開口３５の内部に分配されている。これらドット３６の分配により下層のノズル部材をレーザ光から程度を可変して効果的に覆い隠す。マスク３０の放射源およびノズル部材に対する配列を図２に示してあり、これについては後に説明することにする。」 「【００２２】更に高い密度のドット３６がマスク３０の円形開口３５の周辺の周りに示されており、ノズルの周辺の周りを一層覆い隠してノズルのテーパ形成を達成する。ドット３６の配列はノズル部材内のノズルの形状に直接影響する。 【００２３】図２は、放射線４２のビームをマスク４４に導く、ビーム形成光学装置を有するエキシマレーザのような、光学系４０を示している。マスク４４の各開口３５は図１（ａ）の開口３５に対応し、ドット３６は図１（ａ）に示すように分配されている。不透明部分によって遮蔽または反射されないレーザ放射線４２はマスク４４を通過してレンズ系４５により伝えられ、ポリマーノズル部材４６に照射される。好適実施例では、ポリマーノズル部材４６はＫａｐｔｏｎＴＭ、ＵｐｉｌｅｘＴＭ、または他の同等材料のような材料から構成されており、その厚さは約２ミルである。 【００２４】好適実施例では、ノズル部材４６に使用される材料はリールにより供給され、このノズル部材材料はリールから巻きほぐされ、マスク４４およびレンズ系４５から構成される像配送システムの下に設置される。光学システム４０の中のレーザはこうしてから所定の時間だけ反復してパルスを発生してノズル部材４６を削り取る。・・・」 したがって、上記引用文献１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「ポリマーノズル部材４６にレーザ加工で形成されるテーパ付きノズル４８の形状に対応した開口３５を有するマスク３０、４４であって、 マスクの開口３５は、開口内に不透明なドット３６を分配し、高い密度のドット３６が円形開口３５の周辺の周りに配置されており、所定の時間だけ反復してパルスを発生するレーザ加工により、マスクの開口３５の周辺のドット３６がノズル部材をレーザ光から程度を可変して効果的に覆い隠し、ノズル部材の周辺の周りを一層覆い隠してノズルのテーパ形成を達成するように形成されたマスク。」 また、上記引用文献１には次の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されていると認められる。 「マスク３０、４４に形成された開口３５をポリマーノズル部材４６に投影して、該ポリマーノズル部材４６にテーパ形状のノズルをレーザ加工するビーム形成光学装置であって、 前記マスク３０、４４は、前記開口３５を、該開口内に不透明なドット３６を分配し、高い密度のドット３６が円形開口３５の周辺の周りに配置されており、所定の時間だけ反復してパルスを発生するレーザ加工により、マスクの開口３５の周辺のドット３６がノズル部材をレーザ光から程度を可変して効果的に覆い隠し、ノズル部材の周辺の周りを一層覆い隠してノズルのテーパ形成を達成するように形成したビーム形成光学装置。」 ２．引用文献２について 周知技術を示す文献として引用された上記引用文献２の段落【００６７】及び第２図の記載からみて、当該引用文献２には、マスク１３０を通過したエキシマレーザ光１９０をガラス基板１２０に縮小投影するという技術的事項が記載されていると認められる。 ３．引用文献３について 周知技術を示す文献として引用された上記引用文献３の段落【００２３】及び第１３図の記載からみて、当該引用文献３には、マスク２６を通過したエキシマレーザ光２２を加工試料２９に縮小投影するという技術的事項が記載されていると認められる。 第５　対比・判断 １．本願発明１について （１）対比 本願発明１と引用発明とを対比すると、次のことがいえる。 引用発明における「ポリマーノズル部材４６」は、本願発明１における「被加工物」に相当する。 また、引用発明における、「テーパ付きノズル４８の形状に対応した開口３５を有するマスク３０、４４」は、本願発明１における「被加工物にレーザ加工される孔の形状に相似形の開口を有するビーム整形マスク」に相当する。 そして、引用発明のレーザ加工で「所定の時間だけ反復してパルスを発生する」点は、本願発明１のレーザ加工が「レーザ光の複数ショット」を行うことに相当する。 さらに、引用発明の「マスクの開口３５は、開口内に不透明なドット３６を分配し、高い密度のドット３６が円形開口３５の周辺の周りに配置されており、」「マスクの開口３５の周辺のドット３６がノズル部材をレーザ光から程度を可変して効果的に覆い隠し、ノズル部材の周辺の周りを一層覆い隠してノズルのテーパ形成を達成するように形成された」という技術的事項は、本願発明１における「開口は、該開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、」「被加工物を」「レーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように形成された」という技術的事項に限って一致する。 したがって、本願発明１と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。 （一致点） 「被加工物にレーザ加工される孔の形状に相似形の開口を有するビーム整形マスクであって、前記開口は、該開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、レーザ光の複数ショットにより前記被加工物をレーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように形成されたビーム整形マスク。」 （相違点） （相違点１）本願発明１は、開口の周縁部においても、被加工物を貫通させてレーザ加工できるという構成を備えるのに対し、引用発明は、開口の周縁部では、被加工物を貫通させずにテーパ形状にレーザ加工している点。 （２）相違点についての判断 上記相違点１について検討すると、引用発明は、インクジェットプリンタ用のノズル部材にテーパ付きノズルを形成するために使用するマスクであって、被加工物であるテーパ付きノズルはノズル周辺部をテーパ形状に加工する必要があることから、被加工物の開口の周縁部を貫通させることでテーパ部分をなくしてしまうことには阻害要因がある。 したがって、本願発明１は、当業者であっても引用発明に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。 ２．本願発明２、３について 本願発明２、３も、本願発明１が有する「開口の周縁部においても、被加工物を貫通させてレーザ加工できる」という構成と同一の構成を備えるものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用発明に基づいて容易に発明できたものとはいえない。 ３．本願発明４について （１）対比 本願発明４と引用発明２とを対比すると、次のことがいえる。 引用発明２における「マスク３０、４４」、「ポリマーノズル部材４６」は、本願発明４における「ビーム整形マスク」、「被加工物」に相当する。 また、引用発明２における、「該ポリマーノズル部材４６にテーパ形状のノズルをレーザ加工するビーム形成光学装置」は、本願発明４における「該被加工物に孔をレーザ加工するレーザ加工装置」に相当する。 そして、レーザ加工について、引用発明２で「マスク３０、４４に形成された開口３５をポリマーノズル部材４６に投影」することは、本願発明４とは、「ビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に投影」することを限度として一致する。 引用発明２のレーザ加工で「所定の時間だけ反復してパルスを発生する」点は、本願発明４のレーザ加工が「レーザ光の複数ショット」を行うことに相当する。 さらに、引用発明２の「前記マスク３０、４４は、前記開口３５を、該開口内に不透明なドット３６を分配し、高い密度のドット３６が円形開口３５の周辺の周りに配置されており、」「マスクの開口３５の周辺のドット３６がノズル部材をレーザ光から程度を可変して効果的に覆い隠し、ノズル部材の周辺の周りを一層覆い隠してノズルのテーパ形成を達成するように形成した」という技術的事項は、本願発明４における「前記ビーム整形マスクは、前記開口を、該開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、」「被加工物を」「レーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように形成した」という技術的事項に限って一致する。 したがって、本願発明４と引用発明２との間には、次の一致点、相違点があるといえる。 （一致点） 「ビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に投影して、該被加工物に孔をレーザ加工するレーザ加工装置であって、 前記ビーム整形マスクは、前記開口を、該開口内の光透過率が中央部から周縁部に向かって漸減すると共に、周縁部においても、レーザ光の複数ショットにより前記被加工物をレーザ加工できる少なくとも最低限のレーザ強度が確保し得る光透過率を有するように形成したレーザ加工装置。」 （相違点） （相違点２）本願発明４は、ビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に「縮小投影」しているのに対し、引用発明２は、ビーム整形マスクに形成された開口の被加工物上への投影が縮小であるか否か不明な点。 （相違点３）本願発明４は、開口の周縁部においても、被加工物を貫通させてレーザ加工できるという構成を備えるのに対し、引用発明２は、開口の周縁部では、被加工物を貫通させずにテーパ形状にレーザ加工している点。 （２）相違点についての判断 ア．相違点２について 相違点２に係る本願発明４のビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に縮小投影するという構成に関して、上記「第４」２．及び３．で示した引用文献２，３に記載されているように、マスクを通過したレーザ光を被加工物に縮小投影するという技術的事項は、本願出願日前において周知技術であったといえる。 そして、引用発明２と上記周知技術とはいずれも、マスクを介してレーザ光を投影し、被加工物をレーザ加工する微細加工の技術に係るものであって、より微細な加工を行うためにレーザ光を絞って縮小投影させることも技術常識にすぎないから、引用発明２に上記周知技術を適用し、引用発明２において、ビーム整形マスクに形成された開口を被加工物上に縮小投影することは当業者であれば容易に想到し得たことである。 イ．相違点３について 引用発明２は、インクジェットプリンタ用のノズル部材にテーパ付きノズルを形成するために使用するビーム形成光学装置であって、被加工物であるテーパ付きノズルはノズル周辺部をテーパ形状に加工する必要があることから、被加工物の開口の周縁部を貫通させることでテーパ部分をなくしてしまうことには阻害要因がある。 ウ．したがって、本願発明４は、当業者であっても引用発明２に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。 ４．本願発明５について 本願発明５も、本願発明４が有する「開口の周縁部においても、被加工物を貫通させてレーザ加工できる」という構成と同一の構成を備えるものであるから、本願発明４と同じ理由により、当業者であっても、引用発明２及び上記周知技術に基づいて容易に発明できたものとはいえない。 ５．本願発明６、７について 本願発明６、７は、本願発明４、５に対応する方法の発明であり、本願発明４が有する「開口の周縁部においても、被加工物を貫通させてレーザ加工できる」という構成と同一の構成を備えるものであるから、本願発明４と同様の理由により、当業者であっても、引用発明２及び上記周知技術に基づいて容易に発明できたものとはいえない。 第６　原査定について １．理由１（特許法第２９条第１項第３号）について 審判請求時の補正により、上記「第５」の「１．（１）」で説示したとおり、本願発明１は引用発明と対比して相違点１を有するから、本願発明１－７は、引用文献１に記載された発明ではない。したがって、原査定の理由１を維持することはできない。 ２．理由２（特許法第２９条第２項）について 審判請求時の補正により、本願発明１－７は開口の周縁部においても、被加工物を貫通させてレーザ加工できるという事項を有するものとなっており、当業者であっても、拒絶査定において引用された引用文献１－３に基づいて、容易に発明できたものとはいえない。したがって、原査定の理由２を維持することはできない。 第７　むすび 以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。