2016-002535

特願２０１３－　３６４６４「プラズマチャンバーのアーク検出方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年　９月　９日出願公開、特開２０１３－１７９０４８〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は、成り立たない。

【理　由】 本願は、平成２５年　２月２６日の出願であって、その請求項１ないし５に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 これに対して、平成２９年　５月１７日付けで拒絶理由を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、請求人からは何らの応答もない。 そして、上記の拒絶理由は妥当なものと認められるので、本願は、この拒絶理由によって拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。