2015-016892

特願２０１３－　８１２９３「ナイオベート誘電体組成物の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年　８月１４日出願公開、特開２０１４－１４４９０４〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は、成り立たない。

【理　由】 第１．手続の経緯 本願は、平成２５年４月９日（パリ条約による優先権主張　２０１３年１月２９日　韓国（ＫＲ））の出願であって、平成２６年９月２５日付けの拒絶理由が通知され、平成２６年１２月２５日に手続補正がされたが、平成２７年５月７日に拒絶査定がされ、この査定に対して同年９月１４日に不服審判が請求されると同時に手続補正がされたものである。 第２．本願発明の認定 本願の請求項１係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成２７年９月１４日付けの手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された次の事項により特定されるとおりのものであると認められる。 「カリウム化合物、カルシウム化合物、ニオビウム酸化物及びストロンチウム化合物を混合及びか焼して、下記化学式１で表される誘電体組成物を製造するステップ； ＫＣａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０　　　（化学式１） （前記式中、ｘは、０＜ｘ≦０．８である） 前記化学式１で表される誘電体組成物を酸性溶液に攪拌してＫ+イオンをＨ+イオンでカチオン置換させて、下記化学式２で表される誘電体組成物を製造するステップ；及び ＨＣａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０　　　（化学式２） （前記式中、ｘは、０＜ｘ≦０．８である） 前記化学式２で表される誘電体組成物を水酸化物溶液で攪拌して、下記化学式３で表されるナノシート型誘電体組成物を製造するステップ；を含むナイオベート誘電体組成物の製造方法。 Ｃａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０　　　（化学式３） （前記式中、ｘは、０＜ｘ≦０．８である）」 第３．原査定の理由 原審でした拒絶査定の理由の一つは、 １：Osada.M，"New Dielectric Nanomaterials Fabricated from NanosheetTechnique"，ECS Transactions，2012年， 45(3, Dielectrics for Nanosystems 5)，P.3-8 （以下、「引用例１」という。）、 ２：国際公開第２０１２／０５０００７号（以下、「引用例２」という。） を引用し、 「本願発明は、その（優先権の基礎とされた先の）出願前に日本国内又は外国において、頒布された刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その（優先権の基礎とされた先の）出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。」 というものである。 第４．引用例の記載事項 引用例１ 摘示1-1（３頁「要約」１～５行） We present a novel procedure for fabricating high-k nanodielectrics by using of perovskite nanosheet (Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０) as a building block. We synthesized Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０ nanosheets by delaminating layered perovskites (ＫＣａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０), and fabricated multilayer nanofilms on atomically flat ＳｒＲｕＯ３ and Ｐｔ substrates by Langmuir-Blodgett method. 当審訳： ペロブスカイトナノシート（Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０）を構成ブロックとして用いて高-ｋナノ誘電体を構築する新規手順を提供する。Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０ナノシートを層状ペロブスカイト（ＫＣａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０）を剥離することにより作製し、原子的に平坦なＳｒＲｕＯ３及びＰｔの基板上に、ラングミュア-ブロッジェット法により、ナノフィルムの多層を構築した。 摘示1-2（４頁「実験」の欄１～１０行） Perovskite nanosheets (Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０，Ｓｒ２Ｎｂ３Ｏ１０) with a lateral dimension of 5-10μ m were prepared by delaminating layered perovskites according to previously described procedures (11). The starting materials （ＫＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０，ＫＳｒ２Ｎｂ３Ｏ１０), prepared by a solidstate reaction, were converted into their protonic forms (ＨＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０・Ｈ２Ｏ，ＨＳｒ２Ｎｂ３Ｏ１０・Ｈ２Ｏ) in ＨＮＯ３ solution. Colloidal suspensions of perovskite nanosheets were synthesized by delaminating protonic forms with tetrabutylammonium hydroxide solution. This exfoliation process produced the colloidal suspension of monodispersed and unilamellar perovskite nanosheets. We approached the preparation of multilayer films by the layer-by-layer assembly involving the Langmuir-Blodgett (ＬＢ) process (Fig. 2) (12). Atomically flat ＳｒＲｕＯ３ or Ｐｔ substrates were used as a substrate. 当審訳： ５から１０μｍの側面サイズを有するペロブスカイトナノシート（Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０，Ｓｒ２Ｎｂ３Ｏ１０）は、既述の手順（１１）にしたがって、層状ペロブスカイトの剥離により調製された。固相合成により調製された出発物質（ＫＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０，ＫＳｒ２Ｎｂ３Ｏ１０）は、ＨＮＯ３溶液中でプロトン型（ＨＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０・Ｈ２Ｏ，ＨＳｒ２Ｎｂ３Ｏ１０・Ｈ２Ｏ）に転換された。ペロブスカイトナノシートのコロイド懸濁液は、プロトン型をテトラブチルアンモニウム水酸化物溶液で剥離させて合成した。この剥離工程により単分散かつ単層のペロブスカイトナノシートのコロイド懸濁液が形成された。 多層フィルムはラングミュア-ブロッジェット法（図２）を含むレイヤーバイレイヤー手法により調製した。原子的に平坦なＳｒＲｕＯ３及びＰｔが基板として用いられた。 摘示1-3（５頁「結果と考察」の欄１０～１４行） Electron energy loss spectroscopy and HX-PES revealed no detectable interdiffusion and strains at the interface between the layers and substrate. We also note that such a superior interface property is not specific to　（Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０）ｎ/ＳｒＲｕＯ３, but also achieved in the similarly fabricated　（Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０）１０/ＳｒＲｕＯ３ and　（Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０）ｎ/Ｐｔ with different thicknesses. 当審訳： 電子エネルギー損失分光法及びＨＸ－ＰＥＳは、層と基板との間の界面で検出可能な相互拡散及び歪みを発見しなかった。このような優れた界面特性は、（Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０）ｎ/ＳｒＲｕＯ３に限られるわけではなく、同様に構築された（Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０）１０/ＳｒＲｕＯ３及び異なる厚さの（Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０）ｎ/Ｐｔについても同様に達成されたことが注目される。 摘示1-4（６頁７～９行） Such high-k property is not specific to Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０ and Ｓｒ２Ｎｂ３Ｏ１０ nanosheets; a simultaneous improvement of εr and size-effect-free characteristic are also achieved in similarly fabricated Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０ nanosheets (x = 0.5, 1, 1.5, 2). 当審訳： このような高-ｋ特性はＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０及びＳｒ２Ｎｂ３Ｏ１０ナノシートに特異的なものではない；εｒとサイズ効果のない特性を同時に改善することは、同様に構築されたＣａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０ナノシート（ｘ＝０．５，１，１．５，２）においても達成された。 引用例２ 摘示2-1（［００８６］［００８７］） 本実施例においては、第１及び第２の層状ペロブスカイト酸化物ＫＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０、ＫＳｒ２Ｎｂ３Ｏ１０を出発原料に、第１及び第２のペロブスカイトナノシートＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０、Ｓｒ２Ｎｂ３Ｏ１０を作製し、図１に示したように、下部電極基板である原子平坦性エピタキシャルＳｒＲｕＯ３基板（１）上に、ＬＢ法によりペロブスカイトナノシート（２）、（２’）からなる超格子構造を以下のように作製した。 第１及び第２の層状ペロブスカイト酸化物ＫＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０ 、ＫＳｒ２Ｎｂ３Ｏ１０は、炭酸カリウム、炭酸カルシウム（あるいは炭酸ストロンチウム）、および酸化ニオブをＫ：Ｃａ（Ｓｒ）：Ｎｂ比にして１．１：２：３の割合に混合し、１４７３Ｋで１２時間焼成して得られたものである。これらの粉体夫々５ｇを室温にて５規定の硝酸溶液２００ｃｍ３中で酸処理を行ない、第１及び第２の水素交換型層状ペロブスカイト酸化物を得、次いで、これらの水素交換型層状ペロブスカイト酸化物夫々０.４ｇにテトラブチルアンモニウム水酸化物（以下、ＴＢＡＯＨと記載する）水溶液１００ｃｍ３を加えて室温にて７日間撹拌、反応させて、夫々組成式Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０ 、Ｓｒ２Ｎｂ３Ｏ１０で表される厚さ１．５ｎｍ、横サイズ５００ｎｍ～５μｍの長方形状のナノシート（２）、（２’）が分散した乳白色状の第１及び第２のゾル溶液を作製した。 第５．引用発明の認定 引用例１には、高-ｋナノ誘電体ペロブスカイトナノシート（Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０）を、層状ペロブスカイト（ＫＣａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０）を剥離することにより、ＳｒＲｕＯ３及びＰｔの基板上に構築したこと（摘示1-1）が記載されており、その具体的な手順について、ｘ＝０（Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０）の場合を例に、固相反応により出発物質として層状ペロブスカイト（ＫＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０）を調整し、ＨＮＯ３溶液中でプロトン型（ＨＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０・Ｈ２Ｏ）に転換し、これをテトラブチルアンモニウム水酸化物溶液を用いて層間剥離することによってペロブスカイトナノシートの単分散単層コロイド懸濁液を形成し、これを剥離して基板上に構築したこと（摘示1-2）が記載されている。そして、同様の手順により、ｘ＝０．５，１，１．５，２のナノシートも構築されたこと（摘示1-4）が記載されている。 してみると、引用例１には、ｘ＝１の場合に相当する高-ｋナノ誘電体ＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０ナノシートの製造方法として、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる 「固相反応により層状ペロブスカイト（ＫＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０）を調整する工程、 前記層状ペロブスカイトをＨＮＯ３溶液中でプロトン型（ＨＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０・Ｈ２Ｏ）に転換する工程、 前記プロトン型をテトラブチルアンモニウム水酸化物溶液を用いて層間剥離することによってペロブスカイトナノシート（ＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０）の単分散単層コロイド懸濁液を形成する工程を含む、 高-ｋナノ誘電体ＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０の製造方法。」 第６．発明の対比 本願発明と引用発明とを対比する。 引用発明の「層状ペロブスカイト（ＫＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０）」「プロトン型（ＨＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０・Ｈ２Ｏ）」「ペロブスカイトナノシート（ＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０）」は、それぞれ本願発明の「ＫＣａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０（化学式１）で表される誘電体組成物」「ＨＣａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０（化学式２）で表される誘電体組成物」「Ｃａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０（化学式３）で表されるナノシート型誘電体組成物」におけるｘ＝０．５の場合に相当する。 また、引用発明の「ＨＮＯ３溶液」「プロトン型に転換」「テトラブチルアンモニウム水酸化物溶液」「高-ｋナノ誘電体ＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０」は、それぞれ本願発明の「酸性溶液」「Ｋ+イオンをＨ+イオンでカチオン置換」「水酸化物溶液」「ナイオベート誘電体組成物」に相当し、引用発明において、出発物質をプロトン型に転換するために、ＨＮＯ３溶液で「撹拌」すること、プロトン型を層間剥離するためにテトラブチルアンモニウム水酸化物溶液で「撹拌」することは、当業者に自明のことと認められる。 してみると、本願発明のうち、 「下記化学式１で表される誘電体組成物を製造するステップ； ＫＣａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０　　　（化学式１） （前記式中、ｘは、０＜ｘ≦０．８である） 前記化学式１で表される誘電体組成物を酸性溶液に攪拌してＫ+イオンをＨ+イオンでカチオン置換させて、下記化学式２で表される誘電体組成物を製造するステップ；及び ＨＣａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０　　　（化学式２） （前記式中、ｘは、０＜ｘ≦０．８である） 前記化学式２で表される誘電体組成物を水酸化物溶液で攪拌して、下記化学式３で表されるナノシート型誘電体組成物を製造するステップ；を含むナイオベート誘電体組成物の製造方法。 Ｃａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０　　　（化学式３） （前記式中、ｘは、０＜ｘ≦０．８である）」 の点は引用発明と一致し、次の点で両者は相違する。 相違点：本願発明は、「カリウム化合物、カルシウム化合物、ニオビウム酸化物及びストロンチウム化合物を混合及びか焼して」、ＫＣａ２（１－ｘ）Ｓｒ２ｘＮｂ３Ｏ１０（化学式１）で表される誘電体組成物を製造するのに対し、引用発明は、層状ペロブスカイト（ＫＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０）を調整するための固相反応の詳細が不明な点。 第７．相違点の判断 引用例２には、ＣａとＳｒの一方のみを含む層状ペロブスカイト酸化物ＫＣａ２Ｎｂ３Ｏ１０（又はＫＳｒ２Ｎｂ３Ｏ１０）が、炭酸カリウム、炭酸カルシウム（又は炭酸ストロンチウム）及び酸化ニオブを混合し１４７３Ｋで１２時間焼成して得られること（摘示2-1）が記載されており、これは、引用例１に記載されたｘ＝０（又はｘ＝２）の層状ペロブスカイト（ＫＣａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０）が、カリウム化合物、カルシウム化合物（又はストロンチウム化合物）及びニオビウム酸化物を混合及びか焼することで固相反応により生成することを開示したものと認められる。 してみると、ＣａとＳｒの両方を含むｘ＝１の層状ペロブスカイト（ＫＣａＳｒＮｂ３Ｏ１０）を調整するための固相反応を、カリウム化合物、カルシウム化合物、ストロンチウム化合物及びニオビウム酸化物の混合及びか焼によりおこなうこと、すなわち、引用発明において上記相違点を解消することは、引用例２の上記記載から当業者が容易に想到し得た原料と処理条件の選択といえる。 したがって、本願発明は、引用例１，２に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。 なお、請求人は審判請求書で、引用文献１，２には、一つの層にＣａ及びＳｒを含む誘電体組成物を製造する方法について記載されていないと主張しているが、引用例１には、層と基板との界面特性について、１つの層にＣａのみが含まれる（Ｃａ２Ｎｂ３Ｏ１０）ｎと同様の優れた界面特性が、１つの層にＣａ及びＳｒを含む（Ｃａ２－ｘＳｒｘＮｂ３Ｏ１０）１０の場合にも得られたこと（摘示1-3）が記載されているから、上記主張は採用できない。 第８．むすび 以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、その余について検討するまでもなく、本願は、原査定の理由により拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。