2015-010357

特願２０１１－５１３５９０「ウェーハー上の設計欠陥および工程欠陥の検出、ウェーハー上の欠陥の精査、設計内の１つ以上の特徴を工程監視特徴として使用するための選択、またはそのいくつかの組み合わせのためのシステムおよび方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２１年１２月１７日国際公開、ＷＯ２００９／１５２０４６、平成２３年　９月　１日国内公表、特表２０１１－５２４６３５、請求項の数（１１）〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

【理　由】 本願は、平成２１年　６月　５日（パリ条約による優先権主張　２００８年　６月１１日　（ＵＳ）アメリカ合衆国）の出願であって、その請求項に係る発明は、特許請求の範囲の請求項に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。