2026-700061

特許第７７１４０８１号発明「プラズマエッチング装置用部材等に好適な成膜材料およびその製造方法」の特許異議申立事件について、次のとおり決定する。

結 論 特許第７７１４０８１号の請求項１、２、５～９に係る特許を維持する。

理 由 第１ 手続の経緯 本件の特許第７７１４０８１号（以下「本件特許」という。）の請求項１～１１に係る特許についての出願（特願２０２４－６６３５５号。以下「本願」という。）は、２０２２年（令和 ４年）１２月 ８日（優先権主張 令和 ３年１２月１０日）を国際出願日とする特願２０２３－５６６３５３号の一部を、令和 ６年 ４月１６日に新たな特許出願としたものであって、令和 ７年 ７月１７日にその特許権の設定登録がされ、同年 ７月２８日に特許掲載公報が発行され、その後、令和 ８年 １月２０日に、その請求項１、２、５～９に係る特許について、特許異議申立人である鈴木 利之（以下「申立人」という。）により特許異議の申立てがされたものである。 第２ 本件発明 本件特許の特許請求の範囲の請求項１～１１に係る発明は、本願の願書に添付した特許請求の範囲の請求項１～１１に記載された事項により特定される次のとおりのものである（以下、本件特許の請求項１～１１に係る発明をそれぞれ「本件発明１」等といい、これらを総称して「本件発明」という。また、本願の願書に添付した明細書を「本件明細書」という。）。 【請求項１】 ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体を含む成膜材料であって、前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合は、ＺｒＯ２の含有量が７～１２モル％であり、前記金属酸化物がＨｆＯ２である場合は、ＨｆＯ２の含有量が４～１６モル％であり、前記金属酸化物がＮｂ２Ｏ５である場合は、Ｎｂ２Ｏ５の含有量が１～８モル％であり、且つ該固溶体の結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有することを特徴とする成膜材料。 【請求項２】 前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合、ＺｒＯ２の含有量が８～１１モル％である請求項１に記載の成膜材料。 【請求項３】 前記金属酸化物がＨｆＯ２である場合、ＨｆＯ２の含有量が１０～１６モル％である請求項１に記載の成膜材料。 【請求項４】 前記金属酸化物がＮｂ２Ｏ５である場合、Ｎｂ２Ｏ５の含有量が３～７モル％である請求項１に記載の成膜材料。 【請求項５】 前記固溶体に含まれる、Ｙ原子に対するＺｒ、Ｈｆ又はＮｂ原子の比率が、成膜材料に含まれる固溶体の無作為に選んだ５点において、絶対値に対して±５％以内である請求項１～４のいずれかに記載の成膜材料。 【請求項６】 前記固溶体が、Ｘ線回折（ＸＲＤ）において、Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造のピークのみが生じる請求項１～４のいずれかに記載の成膜材料。 【請求項７】 請求項１～４のいずれか１項に記載の成膜材料を用いて物理蒸着する成膜方法。 【請求項８】 請求項７に記載の成膜方法によって基材上に保護被膜を形成するプラズマエッチング装置用部材の製造方法。 【請求項９】 請求項１～４のいずれかに記載の成膜材料の製造方法であって、ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物粉末と、Ｙ２Ｏ３粉末と、の混合粉末であり、前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合は、ＺｒＯ２の含有量が７～１２モル％である混合粉末を１０００～１６００℃で熱処理して固溶体を形成し、前記金属酸化物がＨｆＯ２である場合は、ＨｆＯ２の含有量が４～１６モル％である混合粉末を１２００～１６００℃で熱処理して固溶体を形成し、前記金属酸化物がＮｂ２Ｏ５である場合は、Ｎｂ２Ｏ５の含有量が１～８モル％である混合粉末を１２００～１６００℃で熱処理して固溶体を形成することを特徴とする成膜材料の製造方法。 【請求項１０】 前記固溶体を形成した後、１５～４０μｍの平均粒径を有する粒子に造粒し、１２００～１５００℃の温度で熱処理する請求項９に記載の成膜材料の製造方法。 【請求項１１】 請求項１～４のいずれかに記載の成膜材料の製造方法であって、 ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５を含む金属酸化物ゾルと、Ｙ２Ｏ３粉末と、を含む混合液を原料としてスプレードライ造粒し、得られたＺｒＯ２微粒子、ＨｆＯ２微粒子又はＮｂ２Ｏ５微粒子とＹ２Ｏ３微粒子との一次粒子から構成される球状粒子を酸化雰囲気中で１０００～１５００℃の温度で熱処理することにより、固溶体を形成することを特徴とする成膜材料の製造方法。 第３ 申立理由の概要 申立人は、証拠方法として、甲第１号証～甲第５号証（以下「甲１」等という。）を提出し（下記４参照。）、以下の理由により、本件特許の請求項１、２、５～９に係る特許は取り消されるべきものである旨主張している。 １ 申立理由１（新規性） （１） 申立理由１－１ 本件発明１、２、７、８、９は、甲１に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当するものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 （２） 申立理由１－２ 本件発明１、２、６は、甲２に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号に該当するものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 ２ 申立理由２（進歩性） （１） 申立理由２－１ 本件発明１、２、６は、甲２に記載された発明と甲３に記載された事項に基いて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 （２） 申立理由２－２ 本件発明５は、甲１に記載された発明と甲４及び甲５に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 （３） 申立理由２－３ 本件発明５は、甲２に記載された発明と甲４及び甲５に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、同発明に係る特許は、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。 ３ 申立理由３（実施可能要件） 本件発明５の「前記固溶体に含まれる、Ｙ原子に対するＺｒ、Ｈｆ又はＮｂ原子の比率が、成膜原料に含まれる固溶体の無作為に選んだ５点において、絶対値に対して±５％以内である」との発明特定事項について、本件明細書の発明の詳細な説明には、「絶対値に対して±５％以内」を実現するための具体的な方法が記載されていないから、発明の詳細な説明の記載が、特許法３６条４項１号に適合するものではないから、同発明に係る特許は、同法１１３条４号に該当し、取り消されるべきものである。 ４ 証拠方法 甲１：特表２０１６－５１６８８７号公報 甲２：特開２００２－２４９８６４号公報 甲３：米国特許出願公開第２０１４／０２６３２７２号明細書 甲４：特開２００６－２０６９６６号公報 甲５：国際公開第２０１９／１６７５６４号 第４ 当審における判断 １ 申立理由１－１（新規性）、申立理由２－２（進歩性）：甲１を主たる引用文献とするもの （１） 甲１に記載された発明 甲１には、【００３９】～【００４４】に記載される一実施形態のうち、特にセラミックスコーティングＣＣ２に着目すると、以下の発明が記載されていると認められる。 「Ｙ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、及びＺｒＯ２の原料セラミックス粉末が混合され、 原料セラミックス粉末が混合された後、約１２００～１６００℃の焼成温度で、約５～１０日間の焼成時間で焼成され、 約５３モル％のＹ２Ｏ３と、約３７モル％のＡｌ２Ｏ３と、約１０モル％のＺｒＯ２から形成されたセラミックスコーティングのＸ線回折結果が、１００％立方晶、微量のアモルファスである、 混合され焼成された原料セラミックス粉末。」（以下「甲１発明」という。） （２） 本件発明１について ア 本件発明１と、甲１発明とを対比する。 （ア） 甲１発明の「混合され焼成された原料セラミックス粉末」は、「セラミックスコーティング」を「形成」するためのものであるから、本件発明１の「成膜材料」に相当する。 （イ） 甲１発明の「混合され焼成された原料セラミックス粉末」に含まれる「ＺｒＯ２」は、金属酸化物であるから、本件発明１の「ＺｒＯ２」「からなる金属酸化物」に相当する。 （ウ） 甲１発明の「混合され焼成された原料セラミックス粉末」は、「Ｙ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、及びＺｒＯ２の原料セラミックス粉末」が、「混合された後、約１２００～１６００℃の焼成温度で、約５～１０日間の焼成時間で焼成され」るから、焼成温度及び焼成時間を踏まえると、原料セラミックス粉末に含まれる各成分間の固溶体が形成されているものと認められる。 そうすると、甲１発明の「Ｙ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、及びＺｒＯ２の原料セラミックス粉末」が「混合され」「焼成され」ることで得られた「混合され焼成された原料セラミックス粉末」は、原料セラミックス粉末に含まれるＹ２Ｏ３とＺｒＯ２との固溶体が形成されているものと認められるから、上記（ア）、（イ）も踏まえると、本件発明１の「ＺｒＯ２」「からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体を含む成膜材料」に相当する。 （エ） そうすると、本件発明１と甲１発明とは、 「ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体を含む成膜材料。」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点１－１＞ 成膜材料の組成について、本件発明１が「前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合は、ＺｒＯ２の含有量が７～１２モル％であり、前記金属酸化物がＨｆＯ２である場合は、ＨｆＯ２の含有量が４～１６モル％であり、前記金属酸化物がＮｂ２Ｏ５である場合は、Ｎｂ２Ｏ５の含有量が１～８モル％であ」るのに対して、甲１発明は、「約５３モル％のＹ２Ｏ３と、約３７モル％のＡｌ２Ｏ３と、約１０モル％のＺｒＯ２」である点 ＜相違点１－２＞ 本件発明１では、「ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体」について、「該固溶体の結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」のに対して、甲１発明では、「形成されたセラミックスコーティングのＸ線回折結果」については、「１００％立方晶、微量のアモルファス」であるものの、「混合され焼成された原料セラミックス粉末」に形成されたＹ２Ｏ３とＺｒＯ２との固溶体については、「該固溶体の結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」のかどうか不明である点 イ 上記相違点について、事案に鑑みて、相違点１－２から検討する。 （ア） 「結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」ことについて、本件明細書の発明の詳細な説明（【００２６】）によれば、「固溶体が有する結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶を有する場合、固溶体のＸ線回折（ＸＲＤ）は、Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造のピークのみが生じる」とされ、「Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造のピークのみが生じるとは、Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造と同じピークを有する一方で、Ｙ２Ｏ３に固溶させた金属酸化物のピークを有しないことを意味する」とされ、また、「換言すれば、本発明のＹ２Ｏ３含有固溶体をＸ線回折した場合の線図は、Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造の線図と同じ位置（それが平行移動した位置）にピークが見られる、すなわち、Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造の線図と同形となることを意味する」とされている。 （イ） また、本件明細書の発明の詳細な説明（【００１８】～【００２５】、【図２】、【図３】、【図４】）によれば、本件発明は、金属酸化物の結晶格子構造における酸素が８配位または１０配位し、金属酸化物をＹ２Ｏ３に対して１モル％以上添加してもＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造が維持されるような金属酸化物として、ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物を選択するとともに、ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物とＹ２Ｏ３との二元系状態図において、Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造が維持される組成域である、金属酸化物がＹ２Ｏ３に固溶する組成域を選択したものと認められる。 （ウ） 上記（ア）を踏まえて、甲１発明について検討すると、「混合され焼成された原料セラミックス粉末」に形成されたＹ２Ｏ３とＺｒＯ２との固溶体について、甲１には、どのような結晶構造を有しているか記載されていない。 また、形成されたセラミックスコーティングのＸ線回折結果が「１００％立方晶、微量のアモルファス」であることは特定されているものの、「混合され焼成された原料セラミックス粉末」が同様のＸ線回折の結果を示すとはいえない。 仮に、「混合され焼成された原料セラミックス粉末」が、形成されたセラミックスコーティングと同様のＸ線回折の結果を示すとしても、立方晶となる物質はＹ２Ｏ３のみではないから、Ｘ線回折結果が１００％立方晶であったとしても、他の立方晶を示す物質のピークを含む可能性を排除できず、「混合され焼成された原料セラミックス粉末」に形成されたＹ２Ｏ３とＺｒＯ２との固溶体が、「Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造」であるとまではいえない。 （エ） また、甲１発明の原料粉末は、「約５３モル％のＹ２Ｏ３と、約３７モル％のＡｌ２Ｏ３と、約１０モル％のＺｒＯ２の混合セラミックス原料粉末」であるから、Ｙ２Ｏ３とＺｒＯ２の他に「約３７モル％のＡｌ２Ｏ３」をさらに含むものであって、Ａｌ２Ｏ３に起因するピークが生じる可能性を排除できず、「Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造と同じピークを有する一方で、Ｙ２Ｏ３に固溶される金属酸化物のピークを有しない」とまではいえない。 （オ） さらに、甲１発明の原料粉末の混合比について、「約５３モル％のＹ２Ｏ３と、約３７モル％のＡｌ２Ｏ３と、約１０モル％のＺｒＯ２の混合セラミックス原料粉末」は、Ｙ２Ｏ３とＺｒＯ２の総量に対するＺｒＯ２のモル比を計算すると、以下のとおり、約１５．９モル％であることがわかる。 １０／（５３＋１０）≒０．１５８７３ そうすると、甲１発明のＹ２Ｏ３とＺｒＯ２の総量に対するＺｒＯ２のモル比は、本件発明１の「前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合は、ＺｒＯ２の含有量が７～１２モル％」の範囲から外れるものであって、上記（イ）の記載も踏まえると、「Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造と同じピークを有する一方で、Ｙ２Ｏ３に固溶される金属酸化物のピークを有しない」とまではいえない。 （カ） 申立人は、特許異議申立書（ｐ１１）において、ＣＣ２では、Ｙ２Ｏ３のモル比が約５３モル％であり、Ｙ２Ｏ３のモル比が最も高いことから、Ｘ線回折において、Ｙ２Ｏ３の立方晶構造が検出されている蓋然性が高い旨主張しているが、上記（エ）、（オ）で検討したとおり、「Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造と同じピークを有する一方で、Ｙ２Ｏ３に固溶される金属酸化物のピークを有しない」とまではいえない。 （キ） そうすると、甲１発明が「ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体」を含むとしても、この固溶体の結晶構造が、「Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」とはいえないから、相違点１－２は、実質的な相違点である。 ウ 以上によれば、本件発明１は、甲１発明であるとはいえない。 （３） 本件発明２について ア 本件発明２は、本件発明１において、「前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合、ＺｒＯ２の含有量が８～１１モル％である」ことをさらに特定するものである。 イ そうすると、上記（２）の検討を踏まえて、本件発明２と甲１発明とを対比すると、両者は、対比する本件発明が本件発明２である点及び本件発明２のＺｒＯ２の含有量の範囲が本件発明１のものより狭い点を除いて、上記相違点１－１及び上記相違点１－２と同様の以下の相違点１－１’及び相違点１－２’で相違する。 ＜相違点１－１’＞ 成膜材料の組成について、本件発明２が「前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合、ＺｒＯ２の含有量が８～１１モル％であり、前記金属酸化物がＨｆＯ２である場合は、ＨｆＯ２の含有量が４～１６モル％であり、前記金属酸化物がＮｂ２Ｏ５である場合は、Ｎｂ２Ｏ５の含有量が１～８モル％であ」るのに対して、甲１発明は、「約５３モル％のＹ２Ｏ３と、約３７モル％のＡｌ２Ｏ３と、約１０モル％のＺｒＯ２」である点 ＜相違点１－２’＞ 本件発明２では、「ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体」について、「該固溶体の結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」のに対して、甲１発明では、「形成されたセラミックスコーティングのＸ線回折結果」については、「１００％立方晶、微量のアモルファス」であるものの、「混合され焼成された原料セラミックス粉末」に形成されたＹ２Ｏ３とＺｒＯ２との固溶体については、「該固溶体の結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」のかどうか不明である点 ウ 上記（２）のイの検討を踏まえると、上記相違点１－２’は、実質的な相違点である。 エ 以上によれば、本件発明２は、甲１発明であるとはいえない。 （３） 本件発明５について ア 本件特許の請求項５は、請求項１の記載を直接または間接的に引用するものであるから、本件発明５は、本件発明１の発明特定事項をすべて備えたものである。 イ そうすると、上記（２）の検討を踏まえると、本件発明５は、甲１発明と、少なくとも相違点１－２と同様の相違点において相違する。 ウ そこで、相違点１－２と同様の相違点について、甲１発明において、甲１、甲４及び甲５の記載事項に基いて、当業者が容易に想到することができるかについてさらに検討する。 （ア） 「ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体」の結晶構造を「Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」ものとすることについて、甲１には記載も示唆もされていない。 そうすると、甲１発明において、相違点１－２と同様の相違点に係る発明特定事項を備えさせることが動機づけられるとはいえない。 （イ） また、甲４、甲５のいずれの証拠にも、「ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体」の結晶構造を「Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」ものとするという技術思想は記載されておらず、また、このことが技術常識であるとも周知技術であるともいえない。 そうすると、甲４、甲５の記載事項を考慮しても、甲１発明において、相違点１－２と同様の相違点に係る発明特定事項を備えさせることが動機づけられるとはいえず、当業者が容易に想到することができたものとはいえない。 エ 以上によれば、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明５は、甲１発明と甲４及び甲５に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （４） 本件発明７、８について ア 本件発明７は、請求項１～４のいずれか１項に記載の成膜材料を用いて物理蒸着する成膜方法の発明である。 イ ここで請求項３及び４の成膜材料については、特許異議の申立てがされておらず、請求項１及び２の成膜材料、すなわち、本件発明１及び２については、上記（２）及び（３）で検討したとおり、甲１発明であるとはいえないから、これらの成膜材料を用いて物理蒸着する成膜方法である本件発明７も同様に、甲１発明であるとはいえない。 ウ また、本件特許の請求項８は、請求項７の記載を引用するものであるから、本件発明８は、本件発明７の発明特定事項をすべて備えたものである。 そうすると、上記イのとおり、本件発明７が甲１発明であるとはいえない以上、同様に、本件発明８も、甲１発明であるとはいえない。 （５） 本件発明９について ア 本件発明９は、請求項１～４のいずれか１項に記載の成膜材料の製造方法の発明である。 イ ここで請求項３及び４の成膜材料については、特許異議の申立てがされておらず、請求項１及び２の成膜材料、すなわち、本件発明１及び２については、上記（２）及び（３）で検討したとおり、甲１発明であるとはいえないから、これらの成膜材料の製造方法の発明である本件発明９も同様に、甲１発明であるとはいえない。 （６） 申立理由１－１（新規性）、申立理由２－２（進歩性）のまとめ 以上によれば、本件発明１、２、７～９は甲１に記載された発明であるとはいえず、また、本件発明５は甲１に記載された発明と甲４及び甲５に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 したがって、申立理由１－１（新規性）、申立理由２－２（進歩性）によって、本件発明１、２、５、７～９に係る特許を取り消すことができない。 ２ 申立理由１－２（新規性）、申立理由２－１（進歩性）、申立理由２－３（進歩性）：甲２を主たる引用文献とするもの （１）甲２に記載された発明 ア 甲２には、【００８５】～【００９０】に記載される実験Ｆのうち、特に【表６】の下から６行目の耐食膜に着目すると、以下の発明が記載されていると認められる。 「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した材料であって、 プラズマ溶射し、耐蝕膜を形成した後の試料を１６００℃で熱処理した耐食膜の組成が、９０ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３・１０ｍｏｌ％ＺｒＯ２である 希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した材料。」（以下「甲２発明」という。） （２）本件発明１について ア 本件発明１と甲２発明とを対比する。 （ア） 甲２発明の「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混合した材料」は、プラズマ溶射し、耐蝕膜を形成するものであるから、本件発明１の「成膜材料」に相当する。 （イ） そうすると、両者は、 「成膜材料」 である点で一致し、以下の点で相違する。 ＜相違点２－１＞ 成膜材料について、本件発明１が「ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体を含」み、「該固溶体の結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」のに対して、甲２発明が「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した」材料であって、この材料から形成した耐蝕膜の組成が「９０ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３・１０ｍｏｌ％ＺｒＯ２」である点 ＜相違点２－２＞ 本件発明１が、「前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合は、ＺｒＯ２の含有量が７～１２モル％であり、前記金属酸化物がＨｆＯ２である場合は、ＨｆＯ２の含有量が４～１６モル％であり、前記金属酸化物がＮｂ２Ｏ５である場合は、Ｎｂ２Ｏ５の含有量が１～８モル％であ」るのに対して、甲２発明が「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した材料」から形成した耐蝕膜の組成が「９０ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３・１０ｍｏｌ％ＺｒＯ２である」点 イ 相違点２－１について検討する。 （ア） 甲２発明の材料は、「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した」材料であって、酸化ジルコニウムは、希土類酸化物に混入、つまり、単に混合された状態であると認められるから、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）と希土類酸化物（Ｙ２Ｏ３）との固溶体が形成されるものではない。 そうすると、相違点２－１は、実質的な相違点である。 （イ） 上記（ア）の点について、申立人は、特許異議申立書（ｐ１６）において、甲２の表６に記載されているような、９０ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３、１０ｍｏｌ％のＺｒＯ２の組成を有する耐蝕膜は、Ｙ２Ｏ３のモル比が高いため、Ｙ２Ｏ３の立方晶構造を有している蓋然性が高い旨主張する。 しかしながら、プラズマ溶射による成膜後に耐蝕膜となった場合において仮にＹ２Ｏ３の立方晶構造を有している蓋然性が高いとしても、上記（ア）で検討したように、プラズマ溶射を実施する前の甲２発明の材料は、単に混合された状態であり、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）と希土類酸化物（Ｙ２Ｏ３）との固溶体が形成されるものではないから、この主張は採用できない。 （ウ） 次に甲２発明において、「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した」材料について、これを「酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）と希土類酸化物（Ｙ２Ｏ３）との固溶体」を含むものとすることについて検討すると、甲２には、甲２発明において、プラズマ溶射を実施する前に、上記のような固溶体が形成されるように処理することについて、記載も示唆もされていない。 そうすると、甲２発明において、相違点２－１に係る発明特定事項を備えさせることが動機づけられるとはいえず、当業者が容易に想到することができたものとはいえない。 （エ） また、甲３にも、プラズマ溶射を実施する前に、「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した」材料について、これを「酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）と希土類酸化物（Ｙ２Ｏ３）との固溶体」を含むものとするという技術思想は記載されておらず、また、このことが技術常識であるともいえないから、甲３の記載事項を考慮しても、甲２発明において、相違点２－１に係る発明特定事項を備えさせることが動機づけられるとはいえず、当業者が容易に想到することができたものとはいえない。 （オ） 上記（エ）の点について、申立人は、特許異議申立書（ｐ１７）において、甲３の記載に基づいて、立方晶イットリア結晶構造を有する構成を採用することは当業者によって容易に想到できたものである旨主張する。 しかしながら、上記（エ）で検討したとおり、甲３の記載をみても、同構成を採用する動機付けを見いだせないから、この主張は採用できない。 ウ よって、他の相違点について検討するまでもなく、本件発明１は、甲２発明であるとはいえず、また、甲２発明と甲３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 （３） 本件発明２について ア 本件発明２は、本件発明１において、「前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合、ＺｒＯ２の含有量が８～１１モル％である」ことをさらに特定するものである。 イ そうすると、上記（２）の検討を踏まえて、本件発明２と甲２発明とを対比すると、両者は、対比する本件発明が本件発明２である点及び本件発明２のＺｒＯ２の含有量の範囲が本件発明１のものより狭い点を除いて、上記相違点２－１及び上記相違点２－２と同様の以下の相違点２－１’及び相違点２－２’で相違する。 ＜相違点２－１’＞ 成膜材料について、本件発明２が「ＺｒＯ２、ＨｆＯ２又はＮｂ２Ｏ５からなる金属酸化物と、Ｙ２Ｏ３と、を含む固溶体を含」み、「該固溶体の結晶構造がＹ２Ｏ３の正六面体結晶構造を有する」のに対して、甲２発明が「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した」材料であって、この材料から形成した耐食膜の組成が「９０ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３・１０ｍｏｌ％ＺｒＯ２」である点 ＜相違点２－２’＞ 本件発明２が、「前記金属酸化物がＺｒＯ２である場合は、ＺｒＯ２の含有量が７～１２モル％であり、前記金属酸化物がＨｆＯ２である場合は、ＨｆＯ２の含有量が４～１６モル％であり、前記金属酸化物がＮｂ２Ｏ５である場合は、Ｎｂ２Ｏ５の含有量が１～８モル％であ」るのに対して、甲２発明が「希土類酸化物に酸化ジルコニウムを混入した材料」から形成した耐食膜の組成が「９０ｍｏｌ％Ｙ２Ｏ３・１０ｍｏｌ％ＺｒＯ２である」点 ウ 上記（２）イの検討を踏まえると、上記相違点２－１’は、実質的な相違点であって、甲２発明において、甲２及び甲３の記載事項に基いて、当業者が容易に想到することができたものとはいえない。 エ 以上によれば、本件発明２は、甲２発明であるとはいえず、また、甲２発明と甲３に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 （４） 本件発明５について ア 本件特許の請求項５は、請求項１の記載を直接または間接的に引用するものであるから、本件発明５は、本件発明１の発明特定事項をすべて備えたものである。 イ そうすると、上記（２）の検討を踏まえると、本件発明５は、甲２発明と、少なくとも上記相違点２－１と同様の相違点において相違する。 ウ そして、上記相違点２－１と同様の相違点については、上記（２）の検討を踏まえると、甲２発明において、甲２及び甲３に記載された事項から、相違点２－１と同様の相違点に係る発明特定事項を備えさせることが動機づけられるとはいえず、当業者が容易に想到することができたものとはいえない。 エ また、甲４及び甲５に記載された事項をみても、甲２発明において、相違点２－１と同様の相違点に係る発明特定事項を備えさせることが動機づけられるとはいえず、当業者が容易に想到することができたものとはいえない。 オ 以上によれば、本件発明５は、甲２発明及び甲４及び甲５の記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 （５） 本件発明６について ア 本件特許の請求項６は、請求項１の記載を直接または間接的に引用するものであるから、本件発明６は、本件発明１の発明特定事項をすべて備えたものである。 イ そうすると、上記（２）の検討を踏まえると、本件発明６は、甲２発明であるとはいえず、甲２発明及び甲３の記載事項に基いて当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。 （６）申立理由１－２（新規性）、申立理由２－１（進歩性）、申立理由２－３（進歩性）のまとめ 以上によれば、本件発明１、２、６は甲２に記載された発明であるとはいえず、甲２に記載された発明と甲３の記載事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものともいえない。また、本件発明５は甲２に記載された発明と甲４及び甲５に記載された事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 したがって、申立理由１－２（新規性）、申立理由２－１（進歩性）、申立理由２－３（進歩性）によって、本件発明１、２、５、６に係る特許を取り消すことができない。 ３ 申立理由３（実施可能要件）について （１）本件発明５の「前記固溶体に含まれる、Ｙ原子に対するＺｒ、Ｈｆ又はＮｂ原子の比率が、成膜原料に含まれる固溶体の無作為に選んだ５点において、絶対値に対して±５％以内である」との発明特定事項について、本件明細書には以下の記載がある（なお、下線は強調のため当合議体において付した。） ア 「【００２９】 本発明のＹ２Ｏ３含有固溶体成膜材料では、添加された金属酸化物が、成膜材料中において均一に固溶されていることが好ましく、以下の製造方法によれば、均一な成膜材料を得ることができる。 本発明で得られる均一な成膜材料は、成膜材料に含まれる固溶体粒子について無作為に５点選び、各点毎にＹ原子に対する添加された金属酸化物を構成する金属原子の含有量比を求め、かかる値における、全５点の金属原子／Ｙ原子のばらつきが絶対値に対して、±５％以内のものを指す。なお、ここにおける絶対値とは、添加金属酸化物が成膜材料中に均一に固溶していると仮定したときの金属原子／Ｙ原子の理論値のことである。 例えば、Ｙ２Ｏ３に対して１０モル％のＺｒＯ２を固溶させてなる成膜材料の場合、絶対値は０．１１１であり、Ｙ２Ｏ３に対して１０モル％のＺｒＯ２を固溶させてなる成膜材料が均一であるとは、無作為に選んだ５点の全てにおいて、Ｚｒ原子／Ｙ原子の値が０．１１１±０．００５５５の範囲にあることを意味する。 【００３０】 なお、固溶体における金属原子の含有率を求める方法としては、例えば、誘導結合プラズマ発光分光分析装置を用いる方法が挙げられる。このように、成膜材料の段階で均一に固溶していることにより、成膜後の被膜においても均一に固溶している状態を保てるため、被膜中の耐プラズマ性のばらつきを抑制することができる。 【００３１】 以下、Ｙ２Ｏ３含有固溶体成膜材料の製造方法について、金属酸化物がＺｒＯ２である場合を例にとって説明する。金属酸化物がＨｆＯ２またはＮｂ２Ｏ５である場合も、これに準じた製造方法にて作製することができる。 Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末とを粉砕・混合する際に用いる粉末の純度は９９．５重量％以上が好ましい。また、粉砕・混合工程に供されるこれらの粉末の平均粒子径（Ｄ５０）は４μｍ以下であることが好ましく、粉砕・混合を行った混合粉の平均粒子径は２μｍ以下とすることが好ましい。 【００３２】 熱処理前のＺｒＯ２粉末の平均粒子径は、Ｙ２Ｏ３粉末の平均粒子径の好ましくは１／３以下、より好ましくは１／５である。ＺｒＯ２粉末の混合比は、Ｙ２Ｏ３粉末に比べて少ないため、Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との接点はその分少なくなる。そこで、ＺｒＯ２粉末の平均粒子径を、Ｙ２Ｏ３粉末の平均粒子径を上記の範囲にすることによって、Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との接触機会を増やすことができる。このように、Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との接触機会が多い状態で熱処理を行うことにより、固相反応が促進され、短時間でＹ２Ｏ３粉末に対してＺｒＯ２粉末を固溶させることが可能となる。 【００３３】 Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との混合粉末を焼結させる際の熱処理は、好ましくは１１００℃～１６００℃、より好ましくは１３００～１５００℃で行われる。これにより、Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との固相反応速度を十分速くすることが可能となり、かつ、熱処理後の焼結体の粒度調整が可能となる。なお、Ｙ２Ｏ３粉末とＨｆＯ２粉末との混合粉末を焼結させる際の熱処理、或いは、Ｙ２Ｏ３粉末とＮｂ２Ｏ５粉末との混合粉末を焼結させる際の熱処理は、いずれも、好ましくは、１２００～１６００℃、より好ましくは１４００～１６００℃で行われる。これにより、Ｙ２Ｏ３粉末とＨｆＯ２粉末との固相反応速度、或いは、Ｙ２Ｏ３粉末とＮｂ２Ｏ５粉末との固相反応速度を十分速くすることが可能となり、かつ、熱処理後の焼結体の粒度調整が可能となる。 なお、上記範囲より低い温度で熱処理を行った場合、組織の均一化を十分に行えず、また、固相反応速度が遅くなるため、製造時間が非常に長くなる。一方、上記範囲よりも高い温度で処理を行った場合、Ｙ２Ｏ３粒子同士の焼結が活発となり、固結が進行することによって、以降の粒度調整などが困難となる。なお、熱処理時間は、好ましくは３～１２時間、より好ましくは５～８である。」 イ 「【実施例】 【００４２】 以下、実施例によって本発明について具体的に説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。本発明において、平均粒径は、特に言及のない限り、レーザー回折・散乱法によって求めた粒度分布における積算値５０％での粒径（Ｄ５０）を意味する。 【００４３】 （実施例１） 平均粒径が３．３μｍのＹ２Ｏ３粉末と、平均粒径が１．０μｍのＺｒＯ２粉末を準備した。ＺｒＯ２粉末の含有量が、得られるＹ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との混合物中、２モル％となるように、両者の粉末を乾式で遊星ミル（ジルコニアボールとジルコニアポットを使用）を用いて混合した。得られた混合粉末を、電気炉により、１５００℃で１０時間加熱し、固溶体の合成化処理に供した。次いで、合成化処理後の粉末をアルミナ乳鉢と乳棒を用いて解砕し、解砕後の粉末を用いて放電プラズマ焼結装置により焼結体（固溶体）を作製した。 【００４４】 次に、作製した焼結体の表面を湿式エメリー紙（ＳｉＣ砥粒）で＃１２００まで研磨し、Ｘ線回折法（ＸＲＤ）によって結晶相を同定した。 最後に、Ｘ線回析法に供した焼結体をプラズマ曝露試験に供し、消耗速度を測定した。ここで、消耗速度は、焼結体の表面のうち、プラズマに曝露されないようマスキングを行った部位とプラズマに暴露された部位との段差を、レーザー顕微鏡を用いて測定した段差の大きさにより、以下のように定義した。 消耗速度＝段差の大きさ（μｍ）／エッチング時間（分） 【００４５】 プラズマ曝露試験には、ドライエッチング装置を用い、４インチのＳｉウエハ上に焼結体を静置し、プラズマに曝露した。プラズマの生成は、下記の条件で行った。 プラズマガス種と流量： ＣＦ４・・５０ｓｃｃｍ、 Ｏ２・・・１０ｓｃｃｍ、 Ａｒ・・・５０ｓｃｃｍ ＲＦ出力・・８００Ｗ、 バイアス・・６００Ｗ 【００４６】 （実施例２） Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との混合物中のＺｒＯ２粉末の含有量を５モル％となるようにしたこと以外は、実施例１と同様の方法にて、焼結体の作製、結晶相の同定、プラズマ曝露試験、および消耗速度の測定を行った。 【００４７】 （実施例３） Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との混合物中のＺｒＯ２粉末の含有量を１０モル％となるようにしたこと以外は、実施例１と同様の方法にて、焼結体の作製、結晶相の同定、プラズマ曝露試験、および消耗速度の測定を行った。 実施例３で、得られた焼結体粉末粒子１つの中で無作為に５点選び、各点毎にＹ原子に対するＺｒ原子の含有量比を調べた結果、それぞれ０．１１２３、０．１０８８、０．１０７５、０．１１１５、０．１１３５であった。Ｙ２Ｏ３に対してＺｒＯ２を１０モル％固溶させてなる材料の絶対値は０．１１１であるため、本実施例で得られた粉末では、ＺｒＯ２が粉末材料中において均一に固溶されていることが分かった。ここで、実施例３の固溶体の結晶相の同定に使用したＸＲＤ図を図５（ａ）に示す。図５（ａ）から、実施例３の固溶体は、Ｙ２Ｏ３の正六面体結晶構造のピークのみが生じていることが分かる。」 （２）ア 上記（１）アの記載によれば、「成膜材料に含まれる固溶体粒子について無作為に５点選び、各点毎にＹ原子に対する添加された金属酸化物を構成する金属原子の含有量比を求め、かかる値における、全５点の金属原子／Ｙ原子のばらつきが絶対値に対して、±５％以内のもの」である「添加された金属酸化物が、成膜材料中において均一に固溶されている」「均一な成膜材料」は、以下の方法により得ることができるとされている。 ・Ｙ２Ｏ３粉末と金属酸化物粉末の純度が９９．５重量％以上が好ましいこと ・粉砕・混合工程に供されるこれらの粉末（Ｙ２Ｏ３粉末と金属酸化物粉末）の平均粒子径（Ｄ５０）は４μｍ以下であることが好ましく、粉砕・混合を行った混合粉の平均粒子径は２μｍ以下とすることが好ましいこと ・熱処理前のＺｒＯ２粉末の平均粒子径は、Ｙ２Ｏ３粉末の平均粒子径の好ましくは１／３以下、より好ましくは１／５であること ・Ｙ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との混合粉末を焼結させる際の熱処理は、好ましくは１１００℃～１６００℃、より好ましくは１３００～１５００℃で行われ、Ｙ２Ｏ３粉末とＨｆＯ２粉末との混合粉末を焼結させる際の熱処理、或いは、Ｙ２Ｏ３粉末とＮｂ２Ｏ５粉末との混合粉末を焼結させる際の熱処理は、いずれも、好ましくは、１２００～１６００℃、より好ましくは１４００～１６００℃で行われること イ また、上記（１）イの特に実施例３として、上記アの条件と合致する、以下の方法で焼結体を作成したことが具体的に記載されている。 ＜方法＞ 平均粒径が３．３μｍのＹ２Ｏ３粉末と、平均粒径が１．０μｍのＺｒＯ２粉末を準備した。ＺｒＯ２粉末の含有量が、得られるＹ２Ｏ３粉末とＺｒＯ２粉末との混合物中、１０モル％となるように、両者の粉末を乾式で遊星ミル（ジルコニアボールとジルコニアポットを使用）を用いて混合した。得られた混合粉末を、電気炉により、１５００℃で１０時間加熱し、固溶体の合成化処理に供した。次いで、合成化処理後の粉末をアルミナ乳鉢と乳棒を用いて解砕し、解砕後の粉末を用いて放電プラズマ焼結装置により焼結体（固溶体）を作製した。 ウ そして、上記イの方法で得られた焼結体粉末粒子１つの中で無作為に５点選び、各点毎にＹ原子に対するＺｒ原子の含有量比を調べた結果、材料の絶対値が０．１１１に対し、それぞれ０．１１２３（＋１．１７％）、０．１０８８（－１．９８％）、０．１０７５（－３．１５％）、０．１１１５（＋０．４５％）、０．１１３５（＋２．２５％）であり、５点において、絶対値に対して５％以内となったことが具体的に記載されている。（なお、括弧書きの「％」は、結果の値と材料の絶対値の値から合議体において計算した。） エ 以上によれば、当業者が、本件明細書の発明の詳細な説明の記載及び出願時の技術常識に基づいて、「前記固溶体に含まれる、Ｙ原子に対するＺｒ、Ｈｆ又はＮｂ原子の比率が、成膜原料に含まれる固溶体の無作為に選んだ５点において、絶対値に対して±５％以内である」「添加された金属酸化物が、成膜材料中において均一に固溶されている」「均一な成膜材料」を製造し使用できることは明らかである。 したがって、本件発明５について、発明の詳細な説明の記載が実施可能要件に適合するものである。 オ 申立人は、特許異議申立書において、本件明細書の発明の詳細な説明には、「絶対値に対して±５％以内」を実現するための具体的な方法は記載されていない旨主張しているが、上記ア～エで検討したように、具体的な方法が記載され、その方法によって実現できることが実施例として裏付けられているから、この主張は採用できない。 第５ むすび 以上のとおり、特許異議申立書に記載された特許異議の申立ての理由によっては、本件特許の請求項１、２、５～９に係る特許を取り消すことはできない。 また、他に本件特許の請求項１、２、５～９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり決定する。