2020-012426

特願２０１８－２４７４９６「低騒音ゲートバルブ」拒絶査定不服審判事件〔令和　２年　７月　９日出願公開、特開２０２０－１０６１２７、請求項の数（７）〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

【理　由】 第１　手続の経緯 本願は、平成３０年１２月２８日の出願であって、その手続等の経緯の概要は、以下のとおりである。 令和　元年１１月２５日付け：拒絶理由通知書 令和　２年　１月２４日付け：意見書、手続補正書 令和　２年　６月　４日付け：拒絶査定（以下、「原査定」という。） 令和　２年　９月　４日付け：拒絶査定不服審判請求書、手続補正書 第２　原査定の概要 原査定（平成２年６月４日付け拒絶査定）の概要は次のとおりである。 本願の請求項１～２に係る発明は、以下の引用文献１～２に記載された発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下、「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 また、本願の請求項３に係る発明は、以下の引用文献１～３に記載された発明に基いて、その出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 さらに、本願の請求項４～５、７に係る発明は、以下の引用文献１～４に記載された発明に基いて、その出願前に当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 引用文献等一覧 １.特開昭５８－１５２９０７号公報 ２.特開２０１５－２１５００９号公報 ３.特表平４－５０５７９７号公報 ４.実願昭４９－８１３８６号（実開昭５１－９１５７号）のマイクロフィルム 第３　本願発明 本願の請求項１～７に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」～「本願発明７」という。）は、令和２年９月４日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１～７に記載された事項により特定される発明であり、本願発明１～７は以下のとおりの発明である。 「【請求項１】 ゲート開口を開閉する弁板と、該弁板に先端が連結された弁シャフトと、該弁シャフトを介して前記弁板を開閉動作させる駆動機構とを有し、 前記駆動機構は、前記弁シャフトが変位自在に貫通するボンネットと、該ボンネットに前記弁シャフトを挟んで互いに平行に取り付けられた左右一対のエアシリンダと、該一対のエアシリンダに対してエアを給排するヘッド側ポート及びロッド側ポートとを有し、 前記エアシリンダは、前記ボンネットに固定されたシリンダハウジングと、該シリンダハウジングの内部に前進、後退自在なるように収容されたピストンと、該ピストンに基端を連結されて先端が前記シリンダハウジングの外部に突出する駆動ロッドと、前記ピストンの一面側及び他面側に形成されたヘッド側圧力室及びロッド側圧力室とを有し、 前記ヘッド側圧力室は、前記シリンダハウジング及びボンネットに形成されたヘッド側主流路を通じて前記ヘッド側ポートに連通し、前記ロッド側圧力室は、前記シリンダハウジング及びボンネットに形成されたロッド側主流路を通じて前記ロッド側ポートに連通しており、 前記一対のエアシリンダの駆動ロッドには、前記弁シャフトの基端部がシャフト支持機構を介して支持されていて、前記ピストン及び駆動ロッドの前進ストロークにより、前記弁板は、前記ゲート開口を密閉する密閉位置から、前記ゲート開口に対向するが該ゲート開口を閉鎖しない中間位置を経て、前記ゲート開口を全開にする全開位置に移動し、前記ピストン及び駆動ロッドの後退ストロークにより、前記弁板は、前記全開位置から、前記中間位置を経て、前記密閉位置に移動し、 前記エアシリンダはまた、前記弁板でゲート開口を開閉するときの衝撃を緩和するヘッド側エアクッション機構及びロッド側エアクッション機構を有し、 前記ヘッド側エアクッション機構は、前記ヘッド側圧力室とヘッド側主流路とを並列に結ぶヘッド側連通路及びヘッド側絞り流路と、後退する前記ピストンが後退ストローク端に近づいたとき前記ヘッド側連通路を遮断する遮断機構とを有し、該遮断機構は、前記ピストンの後退ストロークにおいて、前記弁板が前記中間位置に到達する前に前記ヘッド側連通路を遮断し、 前記ロッド側エアクッション機構は、前記ロッド側圧力室とロッド側主流路とを並列に結ぶロッド側連通路及びロッド側絞り流路と、前進する前記ピストンが前進ストローク端に近づいたとき前記ロッド側連通路を遮断する遮断機構とを有し、該遮断機構は、前記ピストンの前記前進ストロークにおいて、前記弁板が前記中間位置を通り過ぎた後に前記ロッド側連通路を遮断し、 前記ボンネットには、前記弁板が全開位置から中間位置に到達した際に前記シャフト支持機構が緩衝的に当接するダンパが設けられている、 ことを特徴とする低騒音ゲートバルブ。 【請求項２】 前記ヘッド側エアクッション機構の遮断機構は、前記ピストンが後退ストロークの中間点を過ぎたあと、前記弁板が前記中間位置に到達する前に、前記ヘッド側連通路を遮断することを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ。 【請求項３】 前記ヘッド側エアクッション機構の遮断機構は、前記ヘッド側圧力室の端壁から該ヘッド側圧力室内に突出するヘッド側クッション軸と、前記ピストンが後退ストローク端に近づいたときに前記ヘッド側クッション軸が嵌合するように該ピストンに形成された凹状のヘッド側クッション穴と、該ヘッド側クッション穴の内周と前記ヘッド側クッション軸の外周との間をシールするヘッド側クッションパッキンとを有し、前記ヘッド側クッション軸の内部に前記ヘッド側連通路が形成されており、 前記ロッド側エアクッション機構の遮断機構は、前記ロッド側圧力室の端壁に形成された凹状のロッド側クッション穴と、前記ピストンが前進ストローク端に近づいたときに該ロッド側クッション穴内に嵌合するロッド側クッション軸と、前記ロッド側クッション穴の内周と該ロッド側クッション軸の外周との間をシールするロッド側クッションパッキンとを有し、前記ロッド側クッション穴によって前記ロッド側連通路が形成されている、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載のゲートバルブ。 【請求項４】 前記ヘッド側クッションパッキンは、前記ヘッド側圧力室からヘッド側クッション穴へ向かうエアの流れは遮断するが、ヘッド側クッション穴からヘッド側圧力室へ向かうエアの流れは許容するように形成され、 前記ロッド側クッションパッキンは、前記ロッド側圧力室からロッド側クッション穴へ向かうエアの流れは遮断するが、ロッド側クッション穴からロッド側圧力室へ向かうエアの流れは許容するように形成されている、 ことを特徴とする請求項３に記載のゲートバルブ。 【請求項５】 前記一対のエアシリンダにおけるヘッド側エアクッション機構の全てのヘッド側連通路及びヘッド側絞り流路は、前記ヘッド側主流路に連通し、前記一対のエアシリンダにおけるロッド側エアクッション機構の全てのロッド側連通路及びロッド側絞り流路は、前記ロッド側主流路に連通しており、それにより、前記一対のエアシリンダにおけるヘッド側エアクッション機構同士及びロッド側エアクッション機構同士は互いに同期して動作することを特徴とする請求項１から４の何れかに記載のゲートバルブ。 【請求項６】 前記ダンパはエアダンパからなり、該エアダンパは、前記ボンネットに形成されたダンパ室と、該ダンパ室の内部に固定的に収容されたクッション部材と、前記ダンパ室の内部に、基端を前記クッション部材に対向させると共に先端を前記ボンネットの外部に突出させた姿勢で摺動自在なるように収容されたダンパロッドと、該ダンパロッドと前記クッション部材との間に形成されたダンパ圧力室とを有し、該ダンパ圧力室は前記ロッド側主流路に連通している、 ことを特徴とする請求項１から５の何れかに記載のゲートバルブ。 【請求項７】 前記エアシリンダに、前記弁板を全開位置にロックするための第１ロック機構と、前記弁板を密閉位置にロックするための第２ロック機構とが設けられていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載のゲートバルブ。」 第４　引用文献の記載及び引用発明 １．引用文献２について （１）　原査定の拒絶の理由に引用された特開２０１５－２１５００９号公報（以下、「引用文献２」という。）には、以下の事項が記載されている（下線は、理解を容易にするために当審で付与した。）。 ア　「【００２０】 図１及び図２に示すように、本発明に係るゲートバルブ１は、図示しない真空処理チャンバに連通させるためのゲート開口２を有する中空の弁箱３と、該弁箱３内に収容された弁板４と、先端側に前記弁板４が固定的に取り付けられた円柱状の弁シャフト５と、駆動ロッド２１を有するエアシリンダ２０と、前記駆動ロッド２１の先端部に固定された第１ブロック３０と、前記弁シャフト５の基端側に固定されると共に、前記第１ブロック３０に対し弾性体から成る連結部材６により相対的に可動に連結された第２ブロック４０とから構成されている。 そして、後に詳述するように、該ゲートバルブ１は、前記弁板４を、前記ゲート開口２を密閉する密閉位置Ｐ３（図７～図１１参照）と該ゲート開口２を全開にする全開位置Ｐ１（図１及び図２参照）との間で、該ゲート開口２と離間して対向する中間位置Ｐ２（図４及び図５参照）を通じて往復移動させる弁移動機構と…をさらに備えている。」 イ　「【００２１】 …そして、前記側壁２ａの内面における前記ゲート開口２の外周部には、該ゲート開口２を取り囲むように、平坦面から成る環状の弁シート８が設けられており、前記弁板４の移動に伴ってシール部材９を該弁シート８に対し接離させることにより、該ゲート開口２を開閉することができるようになっている。」 ウ　「【００２２】 前記弁箱３における前記側壁３ａ、３ｂと略垂直を成す底面には、ボンネット１０が気密に固定されている。該ボンネット１０には貫通穴１０ａが設けられており、前記弁シャフト５がその軸線Ｌ１方向及びそれと垂直方向（すなわち、前記弁シート８の面に対して垂直方向）に移動可能に挿通されている。…」 エ　「【００２３】 前記エアシリンダ２０、２０は、前記弁シャフト５を挟んで向かい合う位置にそれぞれ設けられている。これらエアシリンダ２０は、前記第１ブロック３０のうち後述する一対のカムフレーム３２、３２に対向させて前記ボンネット１０の外面１０ｂに垂直に固定された中空のシリンダハウジング２２と、該ボンネット１０と垂直を成した（すなわち、前記弁シート８の面と平行を成した）軸線Ｌ２を有する前記駆動ロッド２１と、前記シリンダハウジング２２内において前記軸線Ｌ２方向に往復動可能に設けられ、前記駆動ロッド２１の基端部が固定された駆動ピストン２３とをそれぞれ有している。」 オ　「【００２５】 前記シリンダハウジング２２の内部には、駆動ピストン２３を挟んだ両側に、ロッド側の第１圧力室２４ａとヘッド側の第２圧力室２４ｂとがそれぞれ設けられている。そして、該シリンダハウジング２２のロッド側の端部には、前記駆動ロッド２１を気密かつ摺動自在に支持すると共に、前記駆動ピストン２３を駆動ロッド２１の進出端において当接させるカラー部材２４ｄが気密に嵌合されている。その一方で、該シリンダハウジング２２のヘッド側の端部には、前記駆動ピストン２３を駆動ロッド２１の後退端で当接させる当接部２４ｃが設けられている。」 カ　「【００２６】 また、前記シリンダハウジング２２の外周には、前記第１圧力室２４ａに対し圧縮空気を給排するための第１ポート２５ａと、前記第２圧力室２４ｂに対し圧縮空気を給排するための第２ポート２５ｂとが設けられており、これら第１及びポート２５ａ、２５ｂは、前記シリンダハウジング２２や前記カラー部材２４ｄに設けられた給排気流路を通じて、前記第１及び第２圧力室２４ａ、２４ｂに対しそれぞれ接続されている。」 キ　「【００２８】 その一方で、本実施形態において、前記第２ブロック４０は、前記弁シャフト５の基端部５ｂに固定されたレバー部材４１より構成されている。…」 ク　「【００３３】 そして、これらガイド溝３３並びに第１及び第２ガイドローラ２７ａ、２７ｂが、前記弁移動機構のうち、弁板４を図１及び図２に示す全開位置Ｐ１と図４及び５に示す中間位置Ｐ２との間で移動させる平行移動機構を構成している。この平行移動機構においては、前記第１ブロックと第２ブロックとが相対運動することなく一体を成して前記弁シャフトの軸線Ｌ１方向に移動することにより、前記弁板４を、そのシール面４ａに装着されたシール部材９を弁箱３の内面に接触させることなく、前記弁シート８の面に対し平行に移動させることができるようになっている。」 ケ　「【００４２】 さらに、前記弁移動機構は、前記平行移動機構及び垂直移動機構に加えて、これら平行移動機構と垂直移動機構とを相互に切り換えるためのストッパ機構７０を備えている。このストッパ機構７０は、前記一対のレバー部材４１の第１肩部４１ｃにおける前記ボンネット１０と対向する面にそれぞれ設けられた停止ローラ７１と、前記ボンネット１０の外面１０ｂにおける該停止ローラ７１と対向する位置にそれぞれ設けられた停止部７２とを有している。 このとき、前記停止ローラ７１は、前記第１肩部４１ｃ上において、前記弁シャフト５の軸線Ｌ１と垂直方向すなわち弁シート８の面と垂直方向に回転可能に支持されている。また、前記停止部７２は、前記停止ローラ７１を当接させて、前記レバー部材４１がさらに前記軸線Ｌ１に沿って前記弁シャフト５の先端方向へ移動するのを阻止すると同時に、該停止ローラ７１が前記弁シート８の面と垂直方向へ転動して、前記レバー部材４１が同方向へ移動するのを許容する。」 コ　「【００４３】 次に、前記ゲートバルブ１の基本的な動作について具体的に説明する。 まず、エアシリンダ２０の第２ポート２５ｂから圧縮空気を第２圧力室２４ｂに供給すると共に、第１ポート２５ａから第１圧力室２４ａの圧縮空気を排気することにより、駆動ピストン２３をロッド側の端部まで移動させてカラー部材に当接させると、図１及び図２に示すように、シリンダハウジング２２内からの駆動ロッド２１が進出して、第１ブロック３０（ロッドアーム３１及びカムフレーム３２）と第２ブロック４０（レバー部材４１）とが弁箱３やボンネット１０から最も離間した位置に移動する。それに伴って、弁板４はゲート開口２から弁シャフト５の軸線Ｌ１方向に完全に退避した全開位置Ｐ１に移動され、ゲート開口２と背面側開口２ａとの間に通路が形成される。その結果、この通路を通じてチャンバ内に対しワークを出し入れすることができる。」 サ　「【００４５】 次に、図４に示すように、エアシリンダ２０の第１ポート２５ａから圧縮空気を第１圧力室２４ａに供給すると共に、第２ポート２５ｂから第２圧力室２４ｂの圧縮空気を排気することにより、前記駆動ピストン２３をヘッド方向に移動させて、駆動ロッド２１をその軸線Ｌ２に沿ってリンダハウジング２２内へと後退させる。すると同時に、ロッドアーム３１及びカムフレーム３２とレバー部材４１とが、圧縮バネ６の変形（伸縮や屈曲等）による相対移動を伴うことなく一体となって、駆動ロッド２１の移動方向と同方向（弁シャフト５の軸線Ｌ１方向）に移動する。 【００４６】 それに伴って、弁板４は弁シャフト５の軸線Ｌ１に沿ってゲート開口２方向へと移動する。その間、弁板４は弁シート８の面に対して平行移動する。そして、図４及び図５に示すように、レバー部材４１の停止ローラ７１がボンネット１０の外面１０ｂの停止部７２に当接して該レバー部材４１の軸線Ｌ１方向への移動が阻止されると、図５に示すように、弁板４がゲート開口２と離間して対向する（すなわち、シール部材９が弁シート８と離間して対向する）中間位置Ｐ２に達し、該弁板４の弁シート８の面に対する平行移動が停止される。」 シ　「【００４８】 続いて、図７に示すように、さらにエアシリンダ２０の第１圧力室２４ａに圧縮空気を供給することにより、前記駆動ピストン２３をヘッド方向に移動させて、さらに駆動ロッド２１を後退させる。すると、上述のように、レバー部材４１から成る第２ブロック４０は、上記ストッパ機構７０（停止ローラ７１及び停止部７２）により軸線Ｌ１方向への移動が既に阻止されているため、ロッドアーム３１及びカムフレーム３２から成る第１ブロック３０のみが、前記圧縮バネ６を圧縮しながら軸線Ｌ１方向に移動する。それに伴って、前記レバー部材４１は、前記垂直移動機構により、前記弁シート８側に向かって軸線Ｌ１に対して垂直方向へ移動する。 【００４９】 その結果、前記弁板４が、前記中間位置Ｐ２から、図８に示すように、前記密閉位置Ｐ３のうち最小の接触圧（圧縮量）をもってシール部材９を弁シート８に対し当接させる第１密閉位置Ｐ３ａに達する。そして、チャンバでの通常の真空処理においては、この位置が密閉位置として使用される。」 ス　上記ア、イ、クの記載事項及び図１（下図）の図示内容からみて、弁移動機構は弁シャフト５を介して弁板４を開閉動作させているといえ、また、上記ア、エ、カ、コの記載事項及び図１（下図）の図示内容からみて、弁移動機構は、ボンネット１０と、該ボンネット１０に弁シャフト５を挟んで互いに平行に取り付けられた左右一対のエアシリンダ２０と、第２ポート２５ｂ及び第１ポート２５ａと、を有していることがわかる。 セ　上記エ、オの記載事項及び図１（下図）の図示内容からみて、駆動ピストン２３はシリンダハウジング２２の内部に進出、後退するように収容されており、駆動ロッド２１は駆動ピストン２３に基端を固定されて先端がシリンダハウジング２２の外部に突出していることがわかる。 ソ　上記ア、エ、キの記載事項及び図１（下図）の図示内容からみて、一対のエアシリンダ２０の駆動ロッド２１には、弁シャフト５の基端部が第１ブロック３０及びレバー部材４１を介して支持されていることがわかる。 タ　上記ア、オ、コ～シの記載事項及び図１、４～５、７～８（下図）の図示内容からみて、駆動ピストン２３及び駆動ロッド２１の進出範囲により、弁板４は、ゲート開口２を密閉する密閉位置Ｐ３から、前記ゲート開口２と離間して対向する中間位置Ｐ２を経て、前記ゲート開口２を全開にする全開位置Ｐ１に移動し、前記駆動ピストン２３及び駆動ロッド２１の後退範囲により、前記弁板４は、前記全開位置Ｐ１から、前記中間位置Ｐ２を経て、前記密閉位置Ｐ３に移動していることがわかる。 チ　上記サの記載事項及び図１、４（下図）の図示内容からみて、ボンネット１０には、弁板４が全開位置Ｐ１から中間位置Ｐ２に到達した際にレバー部材４１の停止ローラ７１が当接する停止部７２が設けられていることがわかる。 （２）　引用発明 上記ア～チに示した事項及び図面の図示内容を総合すると、引用文献２には、以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 （引用発明） 「ゲート開口２を開閉する弁板４と、該弁板４に先端が固定された弁シャフト５と、該弁シャフト５を介して前記弁板４を開閉動作させる弁移動機構とを有し、 前記弁移動機構は、前記弁シャフト５が移動可能に挿通するボンネット１０と、該ボンネット１０に前記弁シャフト５を挟んで互いに平行に取り付けられた左右一対のエアシリンダ２０と、該一対のエアシリンダ２０に対して圧縮空気を給排する第２ポート２５ｂ及び第１ポート２５ａとを有し、 前記エアシリンダ２０は、前記ボンネット１０に固定されたシリンダハウジング２２と、該シリンダハウジング２２の内部に進出、後退するように収容された駆動ピストン２３と、該駆動ピストン２３に基端を固定されて先端が前記シリンダハウジング２２の外部に突出する駆動ロッド２１と、前記駆動ピストン２３のヘッド側及びロッド側に設けられた第２圧力室２４ｂ及び第１圧力室２４ａとを有し、 前記第２圧力室２４ｂは、前記シリンダハウジング２２に設けられた給排気流路を通じて前記第２ポート２５ｂに接続し、前記第１圧力室２４ａは、前記シリンダハウジング２２に設けられた給排気流路を通じて前記第１ポート２５ａに接続しており、 前記一対のエアシリンダ２０の駆動ロッド２１には、前記弁シャフト５の基端部が第１ブロック３０及びレバー部材４１を介して支持されていて、前記駆動ピストン２３及び駆動ロッド２１の進出範囲により、前記弁板４は、前記ゲート開口２を密閉する密閉位置Ｐ３から、前記ゲート開口２と離間して対向する中間位置Ｐ２を経て、前記ゲート開口２を全開にする全開位置Ｐ１に移動し、前記駆動ピストン２３及び駆動ロッド２１の後退範囲により、前記弁板４は、前記全開位置Ｐ１から、前記中間位置Ｐ２を経て、前記密閉位置Ｐ３に移動し、 前記ボンネット１０には、前記弁板４が全開位置Ｐ１から中間位置Ｐ２に到達した際に前記レバー部材４１の停止ローラ７１が当接する停止部７２が設けられている、 ゲートバルブ。」 ２．引用文献１について また、原査定の拒絶の理由に引用された特開昭５８－１５２９０７号公報（以下、「引用文献１」という。）には、第１図とともに以下の事項が記載されている。 ・「従来、シリンダ端部にクツシヨン機構を設けるものがある…。すなわち、従来の速度制御可能なエアシリンダは、例えば第１図に示されるように、シリンダチユーブａ内で移動可能なピストンｂの両側にそれぞれ所定の長さのクツシヨンカラーｃ、ｃ’を設けると共に、シリンダチユーブ両端のエンドカバーｅ、ｅ’にはそのクツシヨンカラーを収容し得る軸方向穴ｄ、ｄ’をそれぞれ形成しかつその軸方向穴を給、排気ポートｆ、ｆ’にそれぞれ連通させてその軸方向穴を主空気通路とし、各軸方向穴の開口端にはクツシヨンカラーの外周と係合して軸方向穴とピストン室ｇ、ｇ’との連通を阻止し得るシール部材ｈ、ｈ’を設け、ピストンが例えば右方に所定のストローク移動してクツシヨンカラーｃが軸方向穴に入つた後は軸方向穴ｄを介してのピストン室ｆからの排気を阻止して絞り通路ｉのみから排気するようにし、それにより速度を制御するようになつている。」（第１ページ右下欄第６行～第２ページ左上欄第９行） 第５　対比・判断 １．本願発明１について （１）対比 本願発明１と引用発明を、その有する機能に照らして対比すると、引用発明における「固定」、「弁移動機構」、「移動可能に挿通」、「圧縮空気」、「第２ポート２５ｂ」、「第１ポート２５ａ」、「進出、後退する」、「駆動ピストン２３」、「ヘッド側及びロッド側」、「設けられた」、「第２圧力室２４ｂ」、「第１圧力室２４ａ」、「第１ブロック３０及びレバー部材４１」、「進出範囲」、「後退範囲」は、それぞれ、本願発明１における「連結」、「駆動機構」、「変位自在に貫通」、「エア」、「ヘッド側ポート」、「ロッド側ポート」、「前進、後退自在なる」、「ピストン」、「一面側及び他面側」、「形成された」、「ヘッド側圧力室」、「ロッド側圧力室」、「シャフト支持機構」、「前進ストローク」、「後退ストローク」に相当する。 さらに、引用発明における「前記ゲート開口２と離間して対向する中間位置Ｐ２」は、その有する機能に照らして対比すると、本願発明１における「前記ゲート開口に対向するが該ゲート開口を閉鎖しない中間位置」に相当する。 また、引用発明における「前記第２圧力室２４ｂは、前記シリンダハウジング２２に設けられた給排気流路を通じて前記第２ポート２５ｂに接続し、前記シリンダハウジング２２に設けられた給排気流路を通じて前記第１圧力室２４ａは、前記第１ポート２５ａに接続」することと、本願発明１における「前記ヘッド側圧力室は、前記シリンダハウジング及びボンネットに形成されたヘッド側主流路を通じて前記ヘッド側ポートに連通し、前記ロッド側圧力室は、前記シリンダハウジング及びボンネットに形成されたロッド側主流路を通じて前記ロッド側ポートに連通して」いることとは、「前記ヘッド側圧力室は、前記シリンダハウジングに形成されたヘッド側主流路を通じて前記ヘッド側ポートに連通し、前記ロッド側圧力室は、前記シリンダハウジングに形成されたロッド側主流路を通じて前記ロッド側ポートに連通して」いることという限りで一致するものである。 さらに、引用発明における「ゲートバルブ」と、本願発明１における「低騒音ゲートバルブ」とは、「ゲートバルブ」という限りで一致するものである。 したがって、本願発明１と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。 （一致点） 「ゲート開口を開閉する弁板と、該弁板に先端が連結された弁シャフトと、該弁シャフトを介して前記弁板を開閉動作させる駆動機構とを有し、 前記弁移動機構は、前記弁シャフトが変位自在に貫通するボンネットと、該ボンネットに前記弁シャフトを挟んで互いに平行に取り付けられた左右一対のエアシリンダと、該一対のエアシリンダに対してエアを給排するヘッド側ポート及びロッド側ポートとを有し、 前記エアシリンダは、前記ボンネットに固定されたシリンダハウジングと、該シリンダハウジングの内部に前進、後退自在なるように収容されたピストンと、該ピストンに基端を連結されて先端が前記シリンダハウジングの外部に突出する駆動ロッドと、前記駆動ピストンの一面側及び他面側に形成されたヘッド側圧力室及びロッド側圧力室とを有し、 前記ヘッド側圧力室は、前記シリンダハウジングに形成されたヘッド側主流路を通じて前記ヘッド側ポートに連通し、前記ロッド側圧力室は、前記シリンダハウジングに形成されたロッド側主流路を通じて前記ロッド側ポートに連通しており、 前記一対のエアシリンダの駆動ロッドには、前記弁シャフトの基端部がシャフト支持機構を介して支持されていて、前記ピストン及び駆動ロッドの前進ストロークにより、前記弁板は、前記ゲート開口を密閉する密閉位置から、前記ゲート開口に対向するが該ゲート開口を閉鎖しない中間位置を経て、前記ゲート開口を全開にする全開位置に移動し、前記ピストン及び駆動ロッドの後退ストロークにより、前記弁板は、前記全開位置から、前記中間位置を経て、前記密閉位置に移動する、 ゲートバルブ。」 （相違点１） 本願発明１においては、「前記ヘッド側圧力室は、前記シリンダハウジングに形成されたヘッド側主流路を通じて前記ヘッド側ポートに連通し、前記ロッド側圧力室は、前記シリンダハウジングに形成されたロッド側主流路を通じて前記ロッド側ポートに連通して」いることに関して、前記ヘッド側圧力室は前記シリンダハウジング「及びボンネット」に形成されたヘッド側主流路を通じて前記ヘッド側ポートに連通し、前記ロッド側圧力室は前記シリンダハウジング「及びボンネット」に形成されたロッド側主流路を通じて前記ロッド側ポートに連通しており、また、「前記エアシリンダはまた、前記弁板でゲート開口を開閉するときの衝撃を緩和するヘッド側エアクッション機構及びロッド側エアクッション機構を有し、前記ヘッド側エアクッション機構は、前記ヘッド側圧力室とヘッド側主流路とを並列に結ぶヘッド側連通路及びヘッド側絞り流路と、後退する前記ピストンが後退ストローク端に近づいたとき前記ヘッド側連通路を遮断する遮断機構とを有し、該遮断機構は、前記ピストンの後退ストロークにおいて、前記弁板が前記中間位置に到達する前に前記ヘッド側連通路を遮断し、前記ロッド側エアクッション機構は、前記ロッド側圧力室とロッド側主流路とを並列に結ぶロッド側連通路及びロッド側絞り流路と、前進する前記ピストンが前進ストローク端に近づいたとき前記ロッド側連通路を遮断する遮断機構とを有し、該遮断機構は、前記ピストンの前記前進ストロークにおいて、前記弁板が前記中間位置を通り過ぎた後に前記ロッド側連通路を遮断」しているのに対して、 引用発明においては、「前記ヘッド側圧力室は、前記シリンダハウジングに形成されたヘッド側主流路を通じて前記ヘッド側ポートに連通し、前記ロッド側圧力室は、前記シリンダハウジングに形成されたロッド側主流路を通じて前記ロッド側ポートに連通して」いることに関して、当該「ヘッド側主流路」及び「ロッド側主流路」が「ボンネット」にまで形成されているか否か不明であり、また、エアシリンダに、「前記弁板でゲート開口を開閉するときの衝撃を緩和するヘッド側エアクッション機構及びロッド側エアクッション機構」を有していない点。 （相違点２） 本願発明１においては、「前記ボンネットには、前記弁板が全開位置から中間位置に到達した際に前記シャフト支持機構が緩衝的に当接するダンパが設けられている」のに対して、 引用発明においては、ボンネット１０に、弁板４が全開位置Ｐ１から中間位置Ｐ２に到達した際にレバー部材４１の停止ローラ７１が当接する停止部７２が設けられているものの、当該停止部７２は前記レバー部材４１の停止ローラ７１を「緩衝的に当接させるダンパ」といえるか否か明らかではない点。 （相違点３） 本願発明１は、「低騒音」ゲートバルブであるのに対して、引用発明は「低騒音」ゲートバルブではない点。 （２）相違点についての判断 上記相違点１について検討する。 引用発明は、エアシリンダ２０に、「前記弁板でゲート開口を開閉するときの衝撃を緩和するヘッド側エアクッション機構及びロッド側エアクッション機構」を有するものではない。一方で、引用文献１には、軸方向穴ｄ、ｄ’と絞り通路ｉを有するクツシヨン機構を備えて、ピストンｂのストロークにより当該軸方向穴ｄ、ｄ’を介してのピストン室ｆからの排気をクツシヨンカラーｃ、ｃ’が阻止することにより、エアシリンダの速度制御を行うといった技術事項は開示されているところ、引用文献２において、エアシリンダの速度の制御を行う旨の示唆はなく、また、引用発明において自明のことともいえないことから、引用発明のエアシリンダ２０に、引用文献１に記載された当該技術事項を積極的に採用する動機付けは見当たらない。 また、「該遮断機構は、前記ピストンの後退ストロークにおいて、前記弁板が前記中間位置に到達する前に前記ヘッド側連通路を遮断」すること、及び、「該遮断機構は、前記ピストンの前記前進ストロークにおいて、前記弁板が前記中間位置を通り過ぎた後に前記ロッド側連通路を遮断」することは、引用文献２及び引用文献１のいずれにも記載されておらず、仮に、引用発明のエアシリンダ２０に、引用文献１に記載された当該技術事項を適用したとしても、引用発明において、「ヘッド側エアクッション機構」に対して、ピストン２０の後退ストロークにおいて「前記弁板が前記中間位置に到達する前に前記ヘッド側連通路を遮断」させるとともに、「ロッド側エアクッション機構」に対して、ピストン２０の前進ストロークにおいて「前記弁板が前記中間位置を通り過ぎた後に前記ロッド側連通路を遮断」させるようにすることは、当業者が容易になし得たことということはできない。 そして、本願発明１は、上記相違点１に係る構成を備えることにより、「弁板によるゲート開口の開閉時に、一対のエアシリンダのピストンが、前進ストローク及び後退ストロークの両方で、エアクッション機構により減速されてストローク端にゆっくりした動作で緩衝的に当接して停止するため、衝突音の発生が低減される」（本願明細書【００１４】）といった、顕著な効果を奏するものである。特に、本願発明１は、弁板が「前記全開位置から、前記中間位置を経て、前記密閉位置に移動」するピストンの後退ストロークにおいて、弁板が「ゲート開口に対向するが該ゲート開口を閉鎖しない中間位置」「に到達する前に前記ヘッド側連通路を遮断」することで、「前記中間位置Ｐ２の近傍で、…発生する…騒音ｄについても、…著しく低減されている…」（本願明細書【００７９】）といった、引用発明、引用文献１に記載された技術事項から予測しえない、顕著な効果を奏するものである。 したがって、上記相違点２～３について判断するまでもなく、本願発明１は、当業者であっても、引用発明及び引用文献１に記載された技術的事項に基いて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 ２．本願発明２～７について 本願発明２～７は、本願発明１を特定するための事項のすべてを備えるものであるから、本願発明１と同様の理由により、当業者であっても、引用発明及び引用文献１に記載された技術的事項に基いて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。 第６　原査定について 原査定は、請求項１について上記引用文献１及び引用文献２に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。 しかしながら、上記のとおり、本願発明１～７は、上記引用発明及び引用文献１に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものではない。 したがって、原査定を維持することはできない。 第７　むすび 以上のとおり、本願発明１～７は、当業者が引用発明及び引用文献１に記載された技術的事項に基いて容易に発明をすることができたものではない。 したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。