2019-015949

特願２０１８－１０７６８４「両面透光である局所アルミニウム裏面電界を有する結晶シリコン太陽電池及びその製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年１１月２２日出願公開、特開２０１８－１８６２７７〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 本件審判の請求は、成り立たない。

【理　由】 第１　手続の経緯 本願は、平成２５年１０月２２日（パリ条約による優先権主張２０１３年９月２５日、中国）に出願した特願２０１６－５２２１８５号（以下「原出願」という。）の一部を平成３０年６月５日に新たな特許出願としたものであって、その後の手続の概要は、以下のとおりである。 平成３１年　４月２５日付け：拒絶理由通知書 令和　元年　７月２２日　　：意見書、手続補正書の提出 令和　元年　７月２９日付け：拒絶査定 令和　元年１１月２７日　　：審判請求書の提出 令和　２年　９月　９日付け：拒絶理由通知書 令和　２年１１月１７日　　：意見書、手続補正書の提出 第２　本願発明 本願の請求項１～５に係る発明は、令和２年１１月１７日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～５に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は以下のとおりのものである（下線部は、補正箇所として、請求人が付したものである。）。 「【請求項１】 両面から光を受光及び吸収可能な、アルミニウムを含む局所裏面電界層を有する結晶シリコン太陽電池であって、 シリコン基板と、 前記シリコン基板のおもて面に設置されたエミッタ、反射低減のおもて面パッシベーション膜及びおもて面電極と、 前記シリコン基板の裏面に設置された裏面パッシベーション膜、局所裏面電界層及び裏面電極と、を備えており、 前記裏面パッシベーション膜上には孔又は溝が開けられ、前記孔又は溝が開けられた領域は線状アルミニウムペーストで被覆され、前記裏面パッシベーション膜はアルミニウムペーストで被覆されていない領域を有し、焼成後に孔又は溝が開けられた領域に前記局所裏面電界層が形成され、前記局所裏面電界層と前記裏面電極とが連通されており、 前記裏面電極が分段方式裏面電極であり、分段方式裏面電極の分離部分が前記線状アルミニウムペーストで被覆されており、前記線状アルミニウムペーストの幅Ｗ２は２０～２０００μｍであり、隣接の両線状アルミニウムペースト間の距離Ｐ２は２００～２０００μｍであることを特徴とする結晶シリコン太陽電池。」 第３　令和２年９月９日付けで通知した拒絶の理由 当審において、令和２年９月９日付けで請求項１について通知した明確性及び進歩性の拒絶の理由は、概ね以下のとおりである。 ２．（明確性）この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。 ３．（進歩性）この出願の下記の請求項に係る発明は、その優先日前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 記　　　（引用文献等については引用文献等一覧参照） ●理由２（明確性）について ・請求項　１ 請求項１では、「孔又は溝が開けられた領域は線状アルミニウムペーストで被覆され」と特定し、その後段では、「分段方式裏面電極の分離部分が線状アルミニウムペーストで被覆されており」と特定しているところ、後段の、分段方式裏面電極の分離部分を被覆する「線状アルミニウムペースト」には、「前記」との文言がないことから、後段の「線状アルミニウムペースト」が、前段の、孔又は溝が開けられた領域を被覆する「線状アルミニウムペースト」と同じものであるか否かが、不明である。 一応、「前記」との文言がないことから、別のものと解釈することが自然であるが、そうすると、更に後段の「前記線状アルミニウムペーストの幅Ｗ２は２０～２０００μｍ」との特定における「前記線状アルミニウムペースト」が、「孔又は溝が開けられた領域を被覆する線状アルミニウムペースト」を示すのか、「分段方式裏面電極の分離部分を被覆する線状アルミニウムペースト」を示すのかが不明となる。 ●理由３（進歩性）について ・請求項　１ ・引用文献等　１ ＜引用文献等一覧＞ １．特開２００７－２１４３７２号公報 ２．国際公開第２０１３／０１４９７２号（周知技術を示す文献） 第４　当審の判断 １　理由２（明確性）について 請求項１では「分段方式裏面電極の分離部分が前記線状アルミニウムペーストで被覆されており、」と特定されている。 ここで、請求項１における他の特定事項から、上記特定における「線状アルミニウムペースト」とは、孔又は溝が開けられた領域に被覆されるものであって、幅Ｗ２は２０～２０００μｍであり、２００～２０００μｍの距離Ｐ２の間隔で配置されるもの、と認められるものである。 そうすると、このように特定される「線状アルミニウムペースト」が、上記の如く「分段方式裏面電極の分離部分を被覆する」ということは、どのような構造が特定されるのか不明である。 よって、請求項１に係る発明は、明確でない。 ２　理由３（進歩性）について （１）本願発明 本願の請求項１に係る発明は、上記１のとおり記載不備を含むものであるが、本願の【００８４】及び図７の記載を参酌し、「分段方式裏面電極の分離部分が前記線状アルミニウムペーストで被覆されており」との特定は、「分段方式裏面電極の分離部分がアルミニウムペーストで被覆されており」との構成を意味すると解し、 また、請求項１の「溝が開けられ」及び「アルミニウムペーストで被覆され」との特定は、製造方法による特定であると認められるから、この特定は、ものの構成として、「溝が存在すること」及び「アルミニウムペーストが存在すること」を意味するものと解し、以下検討する。 ＜本願発明（再掲）＞ 「【請求項１】 両面から光を受光及び吸収可能な、アルミニウムを含む局所裏面電界層を有する結晶シリコン太陽電池であって、 シリコン基板と、 前記シリコン基板のおもて面に設置されたエミッタ、反射低減のおもて面パッシベーション膜及びおもて面電極と、 前記シリコン基板の裏面に設置された裏面パッシベーション膜、局所裏面電界層及び裏面電極と、を備えており、 前記裏面パッシベーション膜上には孔又は溝が開けられ、前記孔又は溝が開けられた領域は線状アルミニウムペーストで被覆され、前記裏面パッシベーション膜はアルミニウムペーストで被覆されていない領域を有し、焼成後に孔又は溝が開けられた領域に前記局所裏面電界層が形成され、前記局所裏面電界層と前記裏面電極とが連通されており、 前記裏面電極が分段方式裏面電極であり、分段方式裏面電極の分離部分が前記線状アルミニウムペーストで被覆されており、前記線状アルミニウムペーストの幅Ｗ２は２０～２０００μｍであり、隣接の両線状アルミニウムペースト間の距離Ｐ２は２００～２０００μｍであることを特徴とする結晶シリコン太陽電池。」 （２）引用文献の記載及び引用発明 ア　引用文献１ （ア）引用文献１に記載された事項 原出願の優先日前に日本国内又は外国において頒布された刊行物である特開２００７－２１４３７２号公報（以下「引用文献１」という。）には、図面とともに、以下の事項が記載されている（下線は、当審にて付した。以下同じ。）。 「【００２５】 ＜太陽電池の構造＞ 図１に示す本発明の太陽電池の一形態の断面図に基づいて、以下、その構造を説明する。」 「【００５８】 （実施例１） 以下、図１、図７、図８に基づいて本実施例を説明する。 【００５９】 テクスチャエッチングされた厚み１５０μｍ、１２５ｍｍ角のｐ型単結晶シリコン製の基板１の表面に、リンを含む塗布液を用い、９００℃で１０分間熱処理を行なうことにより、この基板１の受光面側に深さ約０．５μｍのｎ型の拡散層２を形成した。同時に、厚さ８０ｎｍの酸化チタン膜を形成して反射防止膜３とした。 【００６０】 次に受光面の所定の位置に銀ペーストをスクリーン印刷法により、塗布、１５０℃で２分間乾燥させ、６５０℃で焼成し、厚さ数１０μｍの表面電極７を形成した。 【００６１】 次に、基板の裏面にスクリーン法により、図７に示すような魚骨型状のパターンでアルミニウムペーストを７０μｍ塗布、１５０℃で２分間乾燥させ、７５０℃で焼成することで裏面電極５を形成し、同時にシリコン基板裏面の一部に、深さ約１０μｍのＢＳＦ層４が形成された。 【００６２】 次に、基板の裏面にスクリーン法により、図８に示すようなパターンで低融点ペーストとしてはんだペーストを８０μｍ塗布し、１２０℃で２分間乾燥させた。続いて基板１の裏面にプラズマＣＶＤ法を用いて厚さ５０ｎｍの酸化シリコン膜を形成してパッシベーション膜８を形成した。 【００６３】 パッシベーション膜８形成後、２２０℃で４分間熱処理することではんだペーストが溶解し、その表面を覆ったパッシベーション膜８を砕いて一緒に混ざりこみながら膜を突き抜け、表面に露出し、６０μｍのペースト電極９を形成した。基板１の裏面からの電力取り出しは、ペースト電極９に直接インターコネクタをはんだ付けして接続した。」 「【図１】 」 「【図７】 」 「【図８】 」 （イ）引用文献１に記載された技術的な事項 上記（ア）より、引用文献１に記載された太陽電池は、以下の構成を有するものと認められる。 a　図７の記載から、「魚骨型状のパターン」は、いわゆる「線状のフィンガー電極」及び「バスバー電極」より形成される構成であることがみてとれる。 ｂ　ペースト電極９は、「低融点ペースト」を熱処理することで形成される電極であるところ、図８の記載より、当該ペースト電極９は、裏面電極５上に離散的に形成されている構成とみてとれる。 （ウ）引用発明 上記（ア）及び（イ）より、引用文献１には、以下の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。 「太陽電池であって、 ｐ型単結晶シリコン製の基板１の表面に、ｎ型の拡散層２を形成し、酸化チタン膜を形成して反射防止膜３とし、受光面の所定の位置に表面電極７を形成し、 基板の裏面に魚骨型状のパターンでアルミニウムペーストを塗布、乾燥させ、焼成することで裏面電極５を形成し、同時にシリコン基板裏面の一部に、ＢＳＦ層４が形成され、 魚骨型状のパターンは、線状のフィンガー電極及びバスバー電極より形成される構成であり、 裏面電極５上に、離散的に低融点ペーストを塗布し、 基板１の裏面に酸化シリコン膜を形成してパッシベーション膜８を形成し、 パッシベーション膜８形成後、熱処理することで、ペースト電極９を形成した、太陽電池。」 （３）対比 ア　引用発明の「基板１」は、「ｐ型単結晶シリコン製」であるから、本願発明の「シリコン基板」に相当し、 引用発明の「太陽電池」は、「ｐ型単結晶シリコン製の基板１」に形成されていることから、本願発明の「結晶シリコン太陽電池」に相当する。 イ　引用発明の「ｎ型の拡散層２」は「ｐ型単結晶シリコン製の基板１の表面」に形成されていることから、本願発明の「シリコン基板のおもて面に設置されたエミッタ」に相当する。 ウ　引用発明の「反射防止膜３」、「表面電極７」及び「パッシベーション膜８」は、それぞれ本願発明の「反射低減のおもて面パッシベーション膜」、「おもて面電極」及び「裏面パッシベーション膜」に相当する。 エ　引用発明の「ＢＳＦ層４」は、「基板の裏面に魚骨型状のパターンでアルミニウムペーストを塗布、乾燥させ、焼成することで裏面電極５を形成し、同時にシリコン基板裏面の一部に」形成されるものであるから、本願発明の「アルミニウムを含む局所裏面電界層」に相当する。 オ　引用発明の「裏面電極５」は、「基板の裏面に魚骨型状のパターン」で形成された「アルミニウムペースト」であり、「線状のフィンガー電極」を備えるものであって、当該「線状のフィンガー電極」が形成される領域には「ＢＳＦ層４」が形成されている。 一方、本願発明の「線状アルミニウムペースト」は、ものの構成としてみると、「シリコン基板」に形成された「局所裏面電界層」に接して配置される「線状アルミニウムペースト」である。 ここで、引用発明の「線状のフィンガー電極」と、本願発明の「線状アルミニウムペースト」との構成を対比してみれば、引用発明の「線状のフィンガー電極」は、本願発明の「線状アルミニウムペースト」に相当するといえる。 カ　引用発明の「基板の裏面」は、「魚骨型状のパターン」で形成された「裏面電極５」と「パッシベーション膜８」とに覆われているところ、当該構成からみれば、裏面からの光も太陽電池へ入射可能であることは明らかである。 したがって、引用発明は、本願発明の「両面から光を受光及び吸収可能な」との特定を満たしているといえる。 キ　引用発明の「ペースト電極９」は、「裏面電極５上に、離散的に塗布」された「低融点ペースト」を「熱処理することで」形成したものであるから、その形状からみて、本願発明の「分段方式裏面電極」に相当するものであり、「シリコン基板の裏面に設置され」たものといえる。 ク　引用発明の「パッシベーション膜８」は、「アルミニウムペースト」により形成された「線状のフィンガー電極」を覆って形成される膜であるから、当該「パッシベーション膜８」には、「線状のフィンガー電極」に対応する箇所に、溝が存在すると解され、当該溝部分には、線状のアルミニウムペーストが存在するものである。 一方、上記２の（１）に説示のとおり、本願発明の「溝が開けられ」及び「アルミニウムペーストで被覆され」との特定は、製造方法による特定であり、ものの構成としては、「溝が存在すること」及び「溝部分にアルミニウムペーストが存在すること」を意味するものと解される。 したがって、引用発明の「パッシベーション膜８」は、本願発明の「裏面パッシベーション膜上に溝が開けられ」との構成を備え、「溝が開けられた領域は線状アルミニウムペーストで被覆され」との構成を満たすといえる。 ケ　引用発明の「ペースト電極９」は、「裏面電極５上に、離散的に」形成されていることから、「ペースト電極９」の分離部分には、「裏面電極５」が存在し、当該「裏面電極５」は、「アルミニウムペースト」により形成されたものである。 してみると、引用発明において、「ペースト電極９」の分離部分には、「アルミニウムペースト」が存在すると理解できる。 一方、本願発明の「分段方式裏面電極」の「分離部分」は、「前記線状アルミニウムペーストで被覆され」と特定されているところ、上記２の（１）に説示のとおり、当該特定は、「分離部分」に「アルミニウムペーストが存在すること」を意味するものと解される。 したがって、引用発明は、本願発明の「分段方式裏面電極の分離部分が前記線状アルミニウムペーストで被覆されており」との構成を備えているといえる。 コ　引用発明の「裏面電極５」は、「基板の裏面に魚骨型状のパターン」で、「アルミニウムペースト」により形成されたものであり、引用発明の「パッシベーション膜８」は、「基板１の裏面に酸化シリコン膜」により形成されたものである。 そして、「裏面電極５」の形状が「魚骨型状のパターン」であることに鑑みれば、「裏面電極５」と「パッシベーション膜８」とが接触している領域は、「パッシベーション膜８」の「全て」ではなく「一部」である理解できる。 言い換えれば、引用発明の「パッシベーション膜８」は、「裏面電極５（アルミニウムペースト）」と接触していない領域を有するということができる。 そして、上記２の（１）に説示のとおり、本願発明の「アルミニウムペーストで被覆され」との特定は、「アルミニウムペーストが存在すること」を意味するものと解されるから、引用発明は、本願発明の「前記裏面パッシベーション膜はアルミニウムペーストで被覆されていない領域を有し」との構成を有するといえる。 サ　引用発明の「ＢＳＦ層４」は「アルミニウムペースト」を「焼成することで」「シリコン基板裏面の一部に」「形成され」る層であるから、本願発明の「焼成後に溝が開けられた領域に前記局所裏面電界層が形成され」との構成を満たすといえる。 シ　引用発明の「ＢＳＦ層４」は「裏面電極５」を介して「ペースト電極９」と電気的に接続されている。 したがって、引用発明は、本願発明の「前記局所裏面電界層と前記裏面電極とが連通されている」との構成を満たしているといえる。 以上、ア～シのとおりであるから、本願発明と引用発明との「一致点」及 び「相違点」は、以下のとおりである。 ＜一致点＞ 「両面から光を受光及び吸収可能な、アルミニウムを含む局所裏面電界層を有する結晶シリコン太陽電池であって、 シリコン基板と、 前記シリコン基板のおもて面に設置されたエミッタ、反射低減のおもて面パッシベーション膜及びおもて面電極と、 前記シリコン基板の裏面に設置された裏面パッシベーション膜、局所裏面電界層及び裏面電極と、を備えており、 前記裏面パッシベーション膜上には溝が開けられ、前記溝が開けられた領域は線状アルミニウムペーストで被覆され、前記裏面パッシベーション膜はアルミニウムペーストで被覆されていない領域を有し、焼成後に溝が開けられた領域に前記局所裏面電界層が形成され、前記局所裏面電界層と前記裏面電極とが連通されており、 前記裏面電極が分段方式裏面電極であり、分段方式裏面電極の分離部分が前記線状アルミニウムペーストで被覆されている結晶シリコン太陽電池。」 ＜相違点＞ 本願発明は、「線状アルミニウムペーストの幅Ｗ２は２０～２０００μｍであり、隣接の両線状アルミニウムペースト間の距離Ｐ２は２００～２０００μｍである」のに対して、引用発明では、魚骨型状の「裏面電極５」において、電極の幅や間隔が、不明である点。 （４）判断 上記相違点について、本願発明の「線状アルミニウムペースト」は、いわゆる「フィンガー電極」と呼称される電極と解され、太陽電池の表面を覆いつつ光を透過する機能を奏する電極である。 そして、当該「フィンガー電極」は所定の幅と間隔をもって設計されるものであるところ、電極の幅に起因する電気抵抗や、電極の幅及び間隔に起因する受光量に鑑みて、当該所定の幅と間隔は設計されるものである（必要であれば、下記文献１～４参照のこと）。 したがって、上記相違点は、当業者が適宜なし得る設計的な事項が特定されるに過ぎず、その数値範囲も通常の範囲であって格別のものではない。 よって、本願発明は、引用発明及び周知技術から、当業者が容易になし得たものである。 ＜周知技術を示す文献＞ ・文献１：国際公開第２０１３／０１４９７２号 「また、フィンガー部２３の幅は流れる電流の大きさ、フィンガー部２３の厚さ等に応じて適宜決定され、例えば、５０μｍ～１００μｍとされる。また、フィンガー部２３のピッチは、例えば、０．５ｍｍ～３ｍｍであることが好適である。」（［００２４］） ・文献２：特開２０００－１８８４１４号公報 「上記した集電極５（９）は、図７に示すように、幅が１．５ｍｍ程度のバスバー５ａに幅２００μｍ程度のフィンガーライン５ｂ、５ｂが１ｍｍ間隔でバスバー５ａと直交する方向に設けられている。」（【０００９】） ・文献３：特開２０００－２５２４９２号公報 「フィンガー２０の幅Ｌ1（図２参照）は約２０μｍで、各フィンガー２０の間隔は６５０μｍとされている。」（【００２１】） ・文献４：特表２０１３－５０９６９５号公報 「ライン幅は８０μｍで、フィンガー間の間隔は１．７ｍｍである。」（【００５０】） （５）審判請求人の主張について 審判請求人は、令和２年１１月１７日に提出された意見書において、 ア　請求項１の「線状アルミニウムペースト」を「前記線状アルミニウムペースト」に補正したことにより、明確性の不備は解消した旨（第２頁の２－２「理由２について」の（１））、 イ　引用文献１には、裏面からも受光することにより、光電変換効率を向上させるという技術思想は記載されていない旨（第２頁の２－３「理由３について」の第２頁～第３頁にかけて）、 ウ　引用文献１には、「線状アルミニウムペーストの幅Ｗ２は２０～２０００μｍであり、隣接の両線状アルミニウムペースト間の距離Ｐ２は２００～２０００μｍである」との構成も記載されていない旨（第２頁の２－３「理由３について」の第３頁）、 を主張している。 しかしながら、以下のとおりであるから、審判請求人の主張は、上記判断を左右するものではない。 上記アについて、上記１のとおり、明確性の不備は解消していない。 上記イについて、上記（３）カのとおり、引用発明の裏面電極５は魚骨形状であるから、光が入射可能な領域を有しており、当該領域は、薄い（実施例では５０ｎｍ）パッシベーション膜８で覆われるのみである。 したがって、引用発明は、シリコン基板の裏面から「光を受光及び吸収可能」な構成を備えるものといえる。 上記ウについて、上記（４）のとおり、当業者が適宜なし得る設計的な事項が特定されるに過ぎず、その数値範囲も通常の範囲であって格別のものではない。 第４　むすび 以上のとおり、本件発明は、引用発明及び周知技術に基づいて、原出願の優先日にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。 したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。 よって、結論のとおり審決する。