2019-004924

特願２０１７－５１１８７６号「一体構成要素を備えたサーモサイホン」拒絶査定不服審判事件〔２０１６年　３月　３日国際公開、ＷＯ２０１６／０３２４８２、平成２９年　９月　７日国内公表、特表２０１７－５２５９２９号、請求項の数（１５）〕について、次のとおり審決する。

【結　論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

【理　由】 第１　手続の経緯 本願は、２０１４年（平成２６年）８月２８日を国際出願日とする出願であって、その後の手続きは以下のとおりである。 平成２９年　８月　２日　　　：手続補正書の提出 平成３０年　６月　６日付け　：拒絶理由通知 平成３０年１０月１５日　　　：意見書及び手続補正書の提出 平成３０年１２月１８日付け　：拒絶査定(以下、「原査定」という。) 平成３１年　４月１２日　　　：拒絶査定不服審判の請求 第２　原査定の概要 原査定の概要は次のとおりである。 本願の請求項１～３、７、８、１２に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった以下の引用文献１、２に記載された発明に基いて、本願の請求項１３～１５に係る発明は、同じく引用文献１～３に基いて、それぞれ、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。 ＜引用文献一覧＞ 引用文献１：特開平９－１６７８１８号公報 引用文献２：特開２０１３－２１１２９７号公報 引用文献３：特開２００１－１４８４５３号公報 第３　本願発明 本願の請求項１～１５に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」～「本願発明１５」という。）は、平成３０年１０月１５日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１～１５に記載された事項により特定される発明であり、以下のとおりのものである。 「【請求項１】 サーモサイホン冷却装置であって、 熱を受けて内部の液体を蒸発させるように配置された少なくとも１つの蒸発経路、及び、前記少なくとも１つの蒸発経路に凝縮液体を送達する液体返却路を含む少なくとも１つの蒸発器部と、 蒸発液体からの熱を周辺環境に伝達することにより前記蒸発液体を凝縮するように配置された少なくとも１つの凝縮経路、及び、前記少なくとも１つの凝縮経路に蒸発液体を送達する蒸気供給路を含む少なくとも１つの凝縮器部と、 前記少なくとも１つの蒸発経路を前記蒸気供給路に流体接続する蒸気チャンバ、及び、前記少なくとも１つの凝縮経路を前記液体返却路に流体接続する液体チャンバを有する１つのマニホルドと、を備え、 前記蒸気チャンバから前記蒸気供給路へ、前記少なくとも１つの凝縮経路へ、前記液体チャンバへ、前記液体返却路へ、前記少なくとも１つの蒸発経路へ、そして前記蒸気チャンバへと戻る前記サーモサイホン冷却装置内の循環流動を可能とするために、前記蒸気チャンバ及び前記液体チャンバは、前記マニホルドにおいて分離壁によって流体分離され、 各蒸発器部は、前記１つのマニホルドに接続される管を含むとともに、前記少なくとも１つの蒸発経路と液体返却路とを規定する複数の経路を含み、又は、 各凝縮器部は、前記１つのマニホルドに接続される管を含むとともに、前記少なくとも１つの凝縮経路と前記蒸気供給路とを規定する複数の経路を含む、装置。 【請求項２】 前記１つのマニホルドは、内部空洞を規定する外壁を含み、 前記分離壁は、前記内部空洞内に配置されて前記内部空洞を前記蒸気チャンバ及び前記液体チャンバに分離する、請求項１に記載の装置。 【請求項３】 前記外壁は、対応する蒸発器部又は凝縮器部を各々受容する複数の開口を含む、請求項２に記載の装置。 【請求項４】 各蒸発器部は、前記複数の開口のうちの対応する１つに受容され、前記少なくとも１つの蒸発経路が前記蒸気チャンバと流体連通し、前記液体返却路が前記液体チャンバと流体連通するように前記分離壁に係合する、請求項３に記載の装置。 【請求項５】 各凝縮器部は、前記複数の開口のうちの対応する１つに受容され、前記少なくとも１つの凝縮経路が前記液体チャンバと流体連通し、前記蒸気供給路が前記蒸気チャンバと流体連通するように前記分離壁に係合する、請求項４に記載の装置。 【請求項６】 各蒸発器部は、複数の蒸発経路と前記液体返却路とを含む単一で一体の管として形成され、 各凝縮器部は、複数の凝縮経路と前記蒸気供給路とを含む単一で一体の管として形成され、 前記サーモサイホン装置は、２つ以上の蒸発器部と、２つ以上の凝縮器部と、を有し、各々は、前記複数の開口のうちの対応する１つに受容されるとともに前記分離壁に係合する、請求項５に記載の装置。 【請求項７】 前記サーモサイホン装置は、複数の蒸発器部又は複数の凝縮器部を有し、 各蒸発器部は、複数の蒸発経路と前記液体返却路とを含む単一で一体の管として形成され、 各凝縮器部は、複数の凝縮経路と前記蒸気供給路とを含む単一で一体の管として形成される、請求項１に記載の装置。 【請求項８】 各蒸発器部の前記複数の蒸発経路は、前記蒸発経路の側方に配置された前記液体返却路と平行に配置され、 各凝縮器部の前記複数の凝縮経路は、前記凝縮経路の側方に配置された前記蒸気供給路と平行に配置される、請求項７に記載の装置。 【請求項９】 前記分離壁は、前記蒸気供給路を含む凝縮器部の対応部分を各々受容する複数の蒸気チャンバ開口と、前記液体返却路を含む蒸発器部の対応部分を各々受容する複数の液体チャンバ開口と、を含む、請求項１に記載の装置。 【請求項１０】 各蒸発器部は、複数の蒸発経路及び前記液体返却路を含む単一で一体の管として形成され、 各凝縮器部は、複数の凝縮経路及び前記蒸気供給路を含む単一で一体の管として形成され、 前記分離壁は、前記蒸発経路が前記分離壁の第一の側にありかつ前記液体返却路が前記分離壁の第二の側にあるように各蒸発器部に係合し、 前記分離壁は、前記凝縮経路が前記分離壁の前記第二の側にありかつ前記蒸気供給路が前記分離壁の前記第一の側にあるように各凝縮器部に係合する、請求項１に記載の装置。 【請求項１１】 前記外壁及び前記分離壁は、１つの屈曲シートから形成される、請求項２に記載の装置。 【請求項１２】 前記サーモサイホン装置は、複数の蒸発器部と、複数の凝縮器部と、を有し、 各蒸発器部は、複数の蒸発経路及び前記液体返却路を含む単一で一体の管として形成され、 各凝縮器部は、複数の凝縮経路及び前記蒸気供給路を含む単一で一体の管として形成される、請求項１に記載の装置。 【請求項１３】 前記蒸発器部の少なくとも一部と熱的に直接接触する蒸発器熱伝達構造と、 前記凝縮器部の少なくとも一部と熱的に直接接触する凝縮器熱伝達構造と、を備える、請求項１２に記載の装置。 【請求項１４】 前記蒸発器部のうち前記液体返却路に隣接する部分は、前記蒸発器熱伝達構造と接触しない、請求項１３に記載の装置。 【請求項１５】 前記凝縮器部のうち前記蒸気供給路に隣接する部分は、前記凝縮器熱伝達構造と接触しない、請求項１３に記載の装置。 第４　引用文献、引用発明 １　引用文献１について （１）　引用文献１の記載 原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には、「沸騰冷却装置およびその製造方法」に関し、図面とともに次の事項が記載されている（下線は、理解の一助のために当審が付与したものである。以下同様。）。 「【請求項１】発熱体を冷却する沸騰冷却装置であって、 表面に前記発熱体が取り付けられて、内部に前記発熱体の発する熱で気化する冷媒が収容された冷媒室を形成する冷媒槽と、 前記冷媒室と連通して設けられ、前記冷媒室で気化した気相冷媒を凝縮液化する放熱器とを備え、 前記冷媒槽は、押し出し成形された押出材を使用して構成されていることを特徴とする沸騰冷却装置。」 「【請求項７】請求項１～６に記載した何れかの沸騰冷却装置において、 前記冷媒槽は、前記冷媒室の内部に、前記発熱体の熱により気化した冷媒が前記冷媒室内を上昇する蒸気通路と、前記放熱器で凝縮液化した冷媒が前記冷媒室内を流下する凝縮液通路とが設けられて、前記蒸気通路と前記凝縮液通路が前記冷媒室内の下部で連通していることを特徴とする沸騰冷却装置。 【請求項８】請求項７に記載した沸騰冷却装置において、 前記蒸気通路と前記凝縮液通路は、前記押出材と一体に設けられて前記冷媒室の内部を厚み方向に分割する隔壁によって構成されていることを特徴とする沸騰冷却装置。」 「【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子等の発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来の沸騰冷却装置では、一般に高価なフロロカーボン系の冷媒が使用されるため、使用する冷媒量を少なくした方がコストを低く抑えることができる。そこで、例えば、プレス成形された２枚の薄肉部材を貼り合わせて厚み幅の薄い偏平な冷媒槽を構成することにより、使用する冷媒量を少なくした沸騰冷却装置が提案されている（特公昭５５－５１３４５号公報参照）。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】ところが、冷媒槽を薄肉部材で構成した場合、発熱体が取り付けられる取付け面の剛性不足により、発熱体との間の接触熱抵抗が増大して放熱性能が低下する。また、薄肉部材をプレス成形品とした場合、プレス用の金型に掛かる費用が高くつく。特に、発熱体の個数または発熱体の取付けピッチが異なる場合には、その発熱体の個数または取付けピッチに合わせたプレス型を新規設計する必要が生じるため、製造コストが大幅に高くなるという問題を生じる。 【０００４】さらに、冷媒槽を偏平形状とした場合は、所謂フラッディング現象が問題となる。即ち、発熱体の熱により沸騰して冷媒槽内を上昇する沸騰冷媒と、放熱器で凝縮液化されて冷媒槽内を流下する凝縮冷媒とが互いに衝突して冷媒の自然循環が乱されるため、最大熱輸送量が低く抑えられて性能の低下を招く。なお、このフラッディングを軽減するために、凝縮部内の下部にガイド板を設けた沸騰冷却装置が提案されている（特開昭５７－２０４１５６号公報）が、冷媒槽の構成上、使用する冷媒量が多くなり、コストが高くなるという問題は依然解決されていない。 【０００５】本発明は、上記事情に基づいて成されたもので、第１の目的は製造コストの低減を図ること、第２の目的はフラッディングによる性能低下を防止すること、第３の目的はその沸騰冷却装置の製造方法を提供することにある。」 「【００２４】 【作用および発明の効果】 （請求項１）冷媒槽が押出材を使用して構成されることにより、プレス成形された薄肉部材を貼り合わせて構成した場合と比較して型費を安くできるため、製造コストの低減を図ることができる。また、発熱体の個数が増加する場合でも、各発熱体を直列（縦方向）に配置すれば、押出材を適宜な長さに切断して使用することができるため、プレス成形品の様に新規にプレス型を設ける必要がなく、型に掛かる費用を大幅に低減できる。さらに、押出材を使用して冷媒槽を構成することから、プレス成形品の様な薄肉部材で冷媒槽を構成した場合と比較して、発熱体が取り付けられる取付け面の剛性を十分に確保できる。これにより、取付け面（押出材の表面）と発熱体との間の接触熱抵抗を小さくできるため、放熱性能の低下を防止できる。」 「【００２９】（請求項７）冷媒室の内部に蒸気通路と凝縮液通路とを設けたことにより、冷媒室内での沸騰冷媒と凝縮冷媒との流れを明確に分けることができる。これにより、沸騰冷媒と凝縮冷媒とが衝突するフラッディングを防止できる。特に、請求項２に記載した様に冷媒槽が偏平形状の場合ほど有効である。 【００３０】（請求項８）請求項７に記載した蒸気通路と凝縮液通路は、冷媒室の内部を厚み方向に分割する隔壁によって構成することができる。この各壁は、押し出し成形により押出材と一体に容易に設けることができる。なお、各壁は、発熱体を冷媒槽の片面に取り付ける場合と、両面に取り付ける場合とに対応して設けることが可能である。即ち、発熱体を冷媒槽の片面に取り付ける場合は、冷媒室の内部を厚み方向に二分割するように設けて、両面に取り付ける場合には、冷媒室の内部を厚み方向に少なくとも三分割するように設けることができる。 【００３１】（請求項９）また、冷媒室内に配された冷媒流制御板によって蒸気通路と凝縮液通路とを構成しても良い。この場合、フラッディング防止の効果とともに、冷媒流制御板が冷媒室の内壁面に当接した状態で配されることにより、冷媒室の剛性向上および冷媒室の放熱面積増大による放熱性能の向上が期待できる。」 「【００４７】放熱器４は、放熱チューブ１３、上部タンク１４、下部タンク１５、および放熱フィン１６より構成されている。放熱チューブ１３は、断面形状が長円形の偏平なアルミニウム管より成り、放熱フィン１６と交互に積層されて、上部タンク１４と下部タンク１５とに支持されている。上部タンク１４は、各放熱チューブ１３の上端部が挿入されて、各放熱チューブ１３と連通している。下部タンク１５は、各放熱チューブ１３の下端部が挿入されて、各放熱チューブ１３と連通している。また、下部タンク１５は、図１（ｂ）に示すように、冷媒槽３の上端開口部（押出材７の他方の開放端部）が挿入されて、冷媒槽３と連通している。」 「【００５０】次に、本実施例の沸騰冷却装置１の作用を説明する。ＩＧＢＴモジュール２に内蔵された半導体素子が発熱すると、ＩＧＢＴモジュール２の放熱板２ａから冷媒槽３の外壁に熱伝導されて、冷媒槽３に封入された冷媒を沸騰気化させる。この時、冷媒槽３の内壁面（押出材７の内壁面）と冷媒との間で高効率な熱伝達（沸騰時で自然対流時の１００～１０００倍にも達する）が行なわれる。ここで、冷媒槽３は、その内部が厚み幅方向に仕切壁１１によって二分割されているため、仕切壁１１より一方側の各貫通路９（以下、蒸気通路９と言う）に収容された冷媒が主に沸騰することになる。沸騰した冷媒は、気泡となって蒸気通路９を上昇し、放熱器４の下部タンク１５へ流入した後、下部タンク１５から各放熱チューブ１３へ分配されて、各放熱チューブ１３内を上昇する。 【００５１】放熱チューブ１３内を流れる冷媒蒸気は、冷却ファン５の送風を受けて低温となっている放熱チューブ１３の内壁面に凝縮して液化し、この際に凝縮潜熱を放出する。凝縮して液滴となった冷媒は、自重により放熱チューブ１３内を流下して下部タンク１５に一時溜まり、下部タンク１５から主に冷媒槽３内の他方側の各貫通路１０（以下、凝縮液通路１０と言う）に流入する。この凝縮液通路１０を流下した冷媒は、仕切壁１１および通路壁１２の下端と底板８との間に形成される連通口１７を通って蒸気通路９へ流入し、再びＩＧＢＴモジュール２の冷却に使用される。」 「【００５６】さらに、冷媒槽３の内部が仕切壁１１によって蒸気通路９と凝縮液通路１０に区画されているため、冷媒槽３内での沸騰冷媒と凝縮冷媒との流れを明確に分けることができる。これにより、沸騰冷媒と凝縮冷媒とが衝突する所謂フラッディングを防止して、高い放熱性能を得ることができる。また、仕切壁１１によって蒸気通路９と凝縮液通路１０とを区画したことにより、凝縮液通路１０内の冷媒は、ＩＧＢＴモジュール２から伝導する熱によって直接加熱されることがないため、蒸気通路９内の冷媒と比べて低温となっている。そして、この低温の冷媒が連通口１７を通って順次凝縮液通路１０から蒸気通路９へ供給されることにより、効率良くＩＧＢＴモジュール２の冷却を行なうことができる。 【００５７】（第２実施例）図３は冷媒槽３の断面図である。本実施例では、冷媒槽３の下部タンク１５との接合部、即ち、押出材７の他方の開口部が段付き状に加工されている。具体的には、図３に示すように、蒸気通路９の方が凝縮液通路１０より少し長く設けられている。これにより、放熱器４の下部タンク１５に溜まった液冷媒は、蒸気通路９へ流入することはなく、殆ど凝縮液通路１０へ流入することができる。この結果、第１実施例の場合より、更にフラッディングを少なくして性能の向上を図ることができる。」 「【００５８】（第３実施例）図４は沸騰冷却装置１の側面図である。本実施例は、冷媒槽３とともに放熱器４も同一の押出材７０を使用して構成した場合の一例を示すものである。以下にその押出材７０を使用した沸騰冷却装置１の製造方法を説明する。 ａ）まず、アルミニウム製のブロック材から装置全体の押出材７０を形成する。この時、押出材７０の内部は、図５（図４のＢ－Ｂ断面図）に示すように、冷媒槽３の蒸気通路９と凝縮液通路１０、および放熱器４の冷媒通路４ａ（第１実施例の放熱チューブ１３に相当する通路）と送風通路４ｂが各々格子状に設けられた隔壁１８によって細かく区画された状態で押出材７０の上端から下端まで貫通して設けられている。 【００５９】ｂ）続いて、図６に示すように、押出材７０から不要な部位を削除する。但し、図６に示すＬ1 については全面的に削除し、Ｌ2 、Ｌ3 については、図７（図４のＣ－Ｃ断面図）に示すように、冷媒通路４ａを区画している隔壁１８を削除する。Ｌ4 については内部の隔壁１８のみを削除する。 ｃ）続いて、押出材７０の開放面をそれぞれ端板１９～２１で気密に閉塞して、押出材７０の内部空間を密閉する。なお、端板１９の平面形状を図８に、端板２０の平面形状を図９（ａ）、側面形状を図９（ｂ）、および端板２１の平面形状を図１０に示す。 【００６０】以上の各工程により、冷媒槽３と放熱器４とを同一の押出材７０を使用して構成した沸騰冷却装置１が製造される。本実施例によれば、第１実施例と比較して放熱器４のコストを低減できるばかりでなく、放熱器４と冷媒槽３との組付け工程が不要となることから、装置全体のコストダウンを図ることができる。」 「【図面の簡単な説明】 【図１】（ａ）放熱器の一部正面図、（ｂ）沸騰冷却装置の側面図（冷媒槽は断面図）である（第１実施例）。 【図２】冷媒槽の断面図（図１（ｂ）のＡ－Ａ断面図）である（第１実施例）。 【図３】冷媒槽の断面図である（第２実施例）。 【図４】沸騰冷却装置の側面図である（第３実施例）。 【図５】図４のＢ－Ｂ断面図である（第３実施例）。 【図６】押出材の削除部分を示す側面図である（第３実施例）。 【図７】図４のＣ－Ｃ断面図である（第３実施例）。 【図８】端板の平面図である（第３実施例）。 【図９】端板の平面図である（第３実施例）。・・・」 「【符号の説明】 １沸騰冷却装置 ２ＩＧＢＴモジュール（発熱体） ３冷媒槽 ３ａ冷媒室 ３ｂ中空通路 ４放熱器 ６ボルト（締結部材） ７押出材 ７ａ厚肉部（中密部） ８底板（閉塞部材） ９蒸気通路 １０凝縮液通路 １１仕切壁（隔壁） ２２エンドキャップ（閉塞部材） ２３冷媒流制御板 ２４隔壁 ２５ナット（締結部材） ２６取付部材 ２６ｂ雌ねじ ２８取付孔 ３０～３２支柱部 ３４接続プレート（連結部材） ３５流出口（蒸気流出口） ３８連通路 ３９放熱管 ４２冷媒通路 ４４流入側連通部 ４５流出側連通部 ４６一方の連通室（流入室） ４７他方の連通室（流出室） ５１連結管（連結部材） ７０押出材（第３実施例）」 「【図１】 」 「【図２】 」 「【図３】 」 「【図４】 」 「【図５】 」 「【図６】 」 「【図７】 」 「【図１１】 」 （２）　引用発明 上記（１）の請求項８に係る発明について着目し、上記（１）の記載事項を総合すると、上記引用文献１には次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。 「発熱体を冷却する沸騰冷却装置であって、 表面に前記発熱体が取り付けられて、内部に前記発熱体の発する熱で気化する冷媒が収容された冷媒室を形成する冷媒槽と、 前記冷媒室と連通して設けられ、前記冷媒室で気化した気相冷媒を凝縮液化する放熱器とを備え、 前記冷媒槽は、押し出し成形された押出材を使用して構成されて、 前記冷媒槽は、前記冷媒室の内部に、前記発熱体の熱により気化した冷媒が前記冷媒室内を上昇する蒸気通路と、前記放熱器で凝縮液化した冷媒が前記冷媒室内を流下する凝縮液通路とが設けられて、前記蒸気通路と前記凝縮液通路が前記冷媒室内の下部で連通し、 前記蒸気通路と前記凝縮液通路は、前記押出材と一体に設けられて前記冷媒室の内部を厚み方向に分割する隔壁によって構成され、 前記放熱器は、放熱チューブ、上部タンク、下部タンク、および放熱フィンより構成され、前記放熱チューブは、断面形状が長円形の偏平なアルミニウム管より成り、前記放熱フィンと交互に積層されて、前記上部タンクと前記下部タンクとに支持され、 前記上部タンクは、各放熱チューブの上端部が挿入されて、各放熱チューブと連通し、前記下部タンクは、各放熱チューブの下端部が挿入されて、各放熱チューブと連通し、前記下部タンクは、前記冷媒槽の上端開口部が挿入されて、冷媒槽と連通している、 沸騰冷却装置。」 ２　引用文献２について （１）　引用文献２の記載 原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２には、「沸騰冷却装置」に関し、図面とともに次の事項が記載されている。 「【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【０００１】 本発明は、冷却対象物で発生する熱により熱媒体を沸騰させて冷却対象物から吸熱して冷却する沸騰冷却装置に関するものである。」 「【０００４】 ところで、上記特許文献１に記載の沸騰冷却装置では、放熱器の内部において、熱媒体層で沸騰気化した熱媒体が通過する蒸気上昇通路と、空気と熱交換することで凝縮した熱媒体が通過する凝縮液下降通路との明確な区分けがされていない。このため、空気と熱交換することで凝縮して下方側に向かって流れる液状の熱媒体が、熱媒体層で沸騰気化した熱媒体が上昇することを妨げ、良好な熱媒体循環性が得られず、必要な冷却性能が確保できない可能性がある。 【０００５】 本発明は上記点に鑑みて、冷却性能を向上させることができる沸騰冷却装置を提供することを目的とする。 【課題を解決するための手段】 【０００６】 上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、冷却対象物（１００）と熱媒体との熱交換により熱媒体を沸騰気化させることで冷却対象物（１００）を冷却する蒸発部（１）と、熱媒体と外部流体との熱交換により熱媒体を凝縮させることで熱媒体の熱を外部流体に放熱する凝縮部（２）と、蒸発部（１）で沸騰した熱媒体を凝縮部（２）に導く蒸気通路（５）とを備える沸騰冷却装置において、凝縮部（２）は、凝縮部（２）で凝縮した熱媒体を蒸発部（１）に導くように構成されており、凝縮部（２）および蒸気通路（５）は、外部流体の流れ方向から見たときに、互いに重合配置されており、凝縮部（２）は、蒸気通路（５）に対して、外部流体の流れ方向上流側に配置されており、外部流体の流れ方向から見たときに互いに重合配置された凝縮部（２）および蒸気通路（５）において、蒸気通路（５）の流路断面積が、凝縮部（２）の流路断面積より大きいことを特徴とする。」 「【００１８】 図２に示すように、流路プレート３１の内部には、凝縮部２と、蒸発部１で沸騰気化した熱媒体を凝縮部２に導く蒸気通路５と、蒸気通路５と凝縮部２とを連通させる連通路６とが形成されている。凝縮部２および蒸気通路５は、それぞれ、長手方向が重力方向と一致するように形成されている。アウターフィン３２は、流路プレート３１における凝縮部２の外側にのみ設けられており、流路プレート３１における蒸気通路５の外側には配置されていない。 【００１９】 連通路６は、流路プレート３１における鉛直方向上端部に配置されている。また、連通路６は、凝縮部２および蒸気通路５の上端部同士を接続するように形成されている。 【００２０】 具体的には、流路プレート３１の内部には、当該内部空間を送風空気の流れ方向に２つに仕切る仕切部材３１１が設けられている。流路プレート３１の仕切部材３１１の下端部は、蒸発部１の仕切部材１１の上端部と接続されている。また、流路プレート３１の仕切部材３１１の上端部は、連通路６に接続されている。 【００２１】 仕切部材３１１によって仕切られた流路プレート３１の内部空間のうち、送風空気流れ下流側に配置される空間は、蒸発部１の第１空間１ａと連通しており、蒸気通路５を構成している。一方、仕切部材３１１によって仕切られた流路プレート３１の内部空間のうち、送風空気流れ上流側に配置される空間は、蒸発部１の第２空間１ｂと連通しており、凝縮部２を構成している。したがって、１つの流路プレート３１において、空気流れ方向から見たときに、蒸気通路５と凝縮部２とが互いに重合しているとともに、凝縮部２が蒸気通路５に対して空気流れ方向上流側に配置されている。 【００２２】 本実施形態では、蒸発部１の第１空間１ａと流路プレート３１の蒸気通路５との接続部８１の送風空気流れ方向寸法が、蒸発部１の第２空間１ｂと流路プレート３１の凝縮部２との接続部８２の送風空気流れ方向寸法よりも長くなっている。」 （２）　引用文献２に記載の技術事項 上記（１）によれば、引用文献２には次の技術事項（以下「技術事項２」という。）が記載されていると認められる。 「沸騰冷却装置において、流路プレート３１の内部には、凝縮部２と、蒸発部１で沸騰気化した熱媒体を凝縮部２に導く蒸気通路５と、蒸気通路５と凝縮部２とを連通させる連通路６とが形成され、凝縮部２と蒸気通路５は、仕切部材３１１で仕切られ、流路プレート３１の仕切部材３１１の下端部は、蒸発部１の仕切部材１１の上端部と接続され、流路プレート３１の仕切部材３１１の上端部は、連通路６に接続されること。」 ３　引用文献３について （１）　引用文献３の記載 原査定の拒絶の理由に引用された引用文献３には、「沸騰冷却装置」に関し、図面とともに次の事項が記載されている。 「【００１５】放熱器４は、図５に示すように、放熱フィン１５を介して並設される複数本のチューブ１６と、各チューブ１６の上部に設けられる上部タンク１７と、各チューブ１６の下部に設けられる下部タンク１８とで構成され、下部タンク１８の内部に冷媒流制御板１９（図４参照）が設置されている。放熱フィン１５は、熱伝導性に優れる薄い金属板（例えばアルミニウム製の薄い板材）を交互に折り曲げて波状に成形したもので、チューブ１６の表面に接合されている。チューブ１６は、例えばアルミニウム製の偏平な管を所定の長さに切断して、上部タンク１７と下部タンク１８との間に複数本並設されている。 【００１６】チューブ１６の内部には、図９に示すように、インナフィン２０が挿入される。このインナフィン２０は、アルミニウム等の熱伝導性に優れる薄い金属板を所定のピッチＰ（図９（ａ）参照）で交互に折り曲げて波状に成形したもので、チューブ１６内の凝縮面積を増大させるとともに、チューブ１６内に冷媒循環路（後述する）を形成する目的で用いられる。このインナフィン２０は、折り曲げ部（山と谷）の延設方向をチューブ１６の通路方向（図９（ｂ）の上下方向）に向けてチューブ１６内に挿入され、且つチューブ１６内の横幅方向（図９の左右方向）で右側に片寄って配置され、各折り曲げ部がチューブ１６の内壁面に当接して、ろう付けされている。 【００１７】これにより、チューブ１６内には、図９においてインナフィン２０の左側に確保される第１の通路（以後、蒸気通路２１と呼ぶ）と、インナフィン２０のピッチ間に形成される複数の第２の通路（以後、凝縮液通路２２と呼ぶ）とを有し、その蒸気通路２１と凝縮液通路２２とで上記の冷媒循環路を構成している。なお、チューブ１６は、放熱フィン１５との接合面である両側面が、放熱器４に送風される冷却風の流れ方向に沿って配置されるが、この時、凝縮液通路２２より蒸気通路２１の方が冷却風の流れ方向下流側に位置するようにチューブ１６の向きを特定している（図４参照）。 【００１８】上部タンク１７は、浅皿状のコアプレート１７Ａと深皿状のタンクプレート１７Ｂとを組み合わせて構成され、コアプレート１７Ａに開けられている複数の長孔（図示しない）にそれぞれチューブ１６の上端部が挿入されて各チューブ１６を連通している。下部タンク１８は、浅皿状のコアプレート１８Ａと深皿状のタンクプレート１８Ｂ（図１０参照）とを組み合わせて構成され、コアプレート１８Ａに開けられている複数の長孔（図示しない）にそれぞれチューブ１６の下端部が挿入されて各チューブ１６を連通している。また、下部タンク１８は、タンクプレート１８Ｂに開けられている開口部２３に冷媒槽３（押出材６）の上端部が挿入されて（図４参照）、冷媒槽３と各チューブ１６とを連通している。 【００１９】なお、タンクプレート１８Ｂは、図１０（ｃ）に示すように、その長手方向から見た側面形状において、最も低い底面（コアプレート１８Ａが被せられる上端開口部と対向する面）に対し傾斜角が大きい傾斜面１８ａを有し、この傾斜面１８ａに前記開口部２３が開口している。従って、冷媒槽３は、図４に示すように、下部タンク１８に対し大きく傾斜して組付けられている。但し、冷媒槽３は、下部タンク１８内で蒸気流出口１１が斜め上方を向くように、発熱体２の取付け面を下向きにして開口部２３に挿入される（つまり、発熱体２は、冷媒槽３の下側表面に取り付けられる）。これにより、下部タンク１８内では、蒸気流出口１１の最下部の方が液流入口１２の最下部より上方に位置し、全体的にも蒸気流出口１１の方が液流入口１２より高い位置に開口している（図５参照）。 【００２０】冷媒流制御板１９は、蒸気流出口１１より流出した冷媒蒸気をチューブ１６内の蒸気通路２１へ優先的に流れ込むように導くとともに、チューブ１６内で液化した凝縮液が蒸気流出口１１へ落下することを防止するために設置される。この冷媒流制御板１９は、図４に示すように、下部タンク１８内に挿入される押出材６の上端部表面に螺子２４等で取り付けられ、チューブ１６内に形成される凝縮液通路２２の下方に配置される。但し、冷媒流制御板１９は、押出材６に取り付けた時に、図４に示す前後方向において、先端側が取付け部側より若干高くなるように、緩やかに傾斜した状態で取り付けられることが望ましい。この冷媒流制御板１９の形状を図１１に示す。」 （２）　引用文献３に記載の技術事項 上記（１）によれば、引用文献３には次の技術事項（以下「技術事項３」という。）が記載されていると認められる。 「沸騰冷却装置において、下部タンク１８は、チューブ１６の下端部が挿入されてチューブ１６を連通し、また、冷媒槽３の上端部が挿入されて、冷媒槽３とチューブ１６とが連通し、 冷媒流制御板１９は、蒸気流出口１１より流出した冷媒蒸気をチューブ１６内の蒸気通路２１へ優先的に流れ込むように導くとともに、チューブ１６内で液化した凝縮液が蒸気流出口１１へ落下することを防止するために設置されること。」 第５　対比・判断 １　本願発明１について （１）　対比 本願発明１と引用発明とを、その機能、構造又は技術的意義を考慮して対比する。 ・後者の「沸騰冷却装置」は前者の「冷却装置」及び「装置」に相当し、以下同様に、「冷媒槽」及び「冷媒室」は「蒸発器部」に、「放熱器」は「凝縮器部」に、「蒸気通路」は「蒸発経路」に、「凝縮液通路」は「液体返却路」に、「気相冷媒」は「蒸発液体」に、「凝縮液化した冷媒」は「凝縮液体」に、「放熱チューブ」及び「アルミニウム管」は「（凝縮部の）管」に、それぞれ相当する。 ・後者の「前記発熱体の熱により気化した冷媒が前記冷媒室内を上昇する蒸気通路」は、前者の「熱を受けて内部の液体を蒸発させるように配置された少なくとも１つの蒸発経路」に相当する。 ・後者の「前記放熱器で凝縮液化した冷媒が前記冷媒室内を流下する凝縮液通路とが設けられて、前記蒸気通路と前記凝縮液通路が前記冷媒室内の下部で連通」している態様は、前者の「前記少なくとも１つの蒸発経路に凝縮液体を送達する液体返却路を含む」態様に相当する。 ・後者の「前記冷媒室と連通して設けられ、前記冷媒室で気化した気相冷媒を凝縮液化する放熱器とを備え」、「前記放熱器は、放熱チューブ、上部タンク、下部タンク、および放熱フィンより構成され、前記放熱チューブは、断面形状が長円形の偏平なアルミニウム管より成り、前記放熱フィンと交互に積層されて、前記上部タンクと前記下部タンクとに支持され」る態様と、前者の「蒸発液体からの熱を周辺環境に伝達することにより前記蒸発液体を凝縮するように配置された少なくとも１つの凝縮経路、及び、前記少なくとも１つの凝縮経路に蒸発液体を送達する蒸気供給路を含む少なくとも１つの凝縮器部」の態様とは、「蒸発液体からの熱を周辺環境に伝達することにより前記蒸発液体を凝縮し、前記蒸発液体を送達する、少なくとも１つの凝縮器部」との限りで一致する。 ・後者の「前記冷媒槽は、押し出し成形された押出材を使用して構成されて、前記冷媒槽は、前記冷媒室の内部に、前記発熱体の熱により気化した冷媒が前記冷媒室内を上昇する蒸気通路と、前記放熱器で凝縮液化した冷媒が前記冷媒室内を流下する凝縮液通路とが設けられて、前記蒸気通路と前記凝縮液通路が前記冷媒室内の下部で連通」するものであるから、冷媒槽は管を有するといえ、前者の「（蒸発器部の）管」に相当する。 ・また、後者の「冷媒槽」は、その態様（引用文献１の図２）からみて、前者の「各蒸発器部」が「前記少なくとも１つの蒸発経路と液体返却路とを規定する複数の経路を含」む態様を備えることは明らかである。 ・後者の「前記下部タンクは、各放熱チューブの下端部が挿入されて、各放熱チューブと連通し、前記下部タンクは、前記冷媒槽の上端開口部が挿入されて、冷媒槽と連通している」ことと、前者の「前記少なくとも１つの蒸発経路を前記蒸気供給路に流体接続する蒸気チャンバ、及び、前記少なくとも１つの凝縮経路を前記液体返却路に流体接続する液体チャンバを有する１つのマニホルドと、を備え、」ることとは、「前記少なくとも１つの蒸発経路を流体接続する、部材Ａを、備え、」る限りで一致する。 ・さらに、後者の「前記下部タンクは、各放熱チューブの下端部が挿入されて、各放熱チューブと連通し、前記下部タンクは、前記冷媒槽の上端開口部が挿入されて、冷媒槽と連通している」ことと、前者の「各蒸発器部は、前記１つのマニホルドに接続される管を含むとともに」「各凝縮器部は、前記１つのマニホルドに接続される管を含む」こととは、「各蒸発器部は、前記１つの部材Ａに接続される管を含むとともに」「各凝縮器部は、前記１つの部材Ａに接続される管を含む」限りで、一致する。 ・後者の「前記冷媒槽は、前記冷媒室の内部に、前記発熱体の熱により気化した冷媒が前記冷媒室内を上昇する蒸気通路と、前記放熱器で凝縮液化した冷媒が前記冷媒室内を流下する凝縮液通路とが設けられて、前記蒸気通路と前記凝縮液通路が前記冷媒室内の下部で連通し」た態様は、寒暖差による対流で冷媒を循環させているので、前者の「サーモサイホン」をなす態様といえる。 ・後者の「冷媒」が、「下部タンク」、「放熱器」、「下部タンク」、「凝縮液通路」、「蒸気通路」、「下部タンク」と循環する態様と、前者の「前記蒸気チャンバから前記蒸気供給路へ、前記少なくとも１つの凝縮経路へ、前記液体チャンバへ、前記液体返却路へ、前記少なくとも１つの蒸発経路へ、そして前記蒸気チャンバへと戻る前記サーモサイホン冷却装置内の循環流動を可能とするために、前記蒸気チャンバ及び前記液体チャンバは、前記マニホルドにおいて分離壁によって流体分離され」ることとは、「前記部材Ａから前記サーモサイホン冷却装置内の循環流動を可能と」としている限りで一致する。 したがって、両者は、 「サーモサイホン冷却装置であって、 熱を受けて内部の液体を蒸発させるように配置された少なくとも１つの蒸発経路、及び、前記少なくとも１つの蒸発経路に凝縮液体を送達する液体返却路を含む少なくとも１つの蒸発器部と、 蒸発液体からの熱を周辺環境に伝達することにより前記蒸発液体を凝縮し、前記蒸発液体を送達する、少なくとも１つの凝縮器部と、 前記少なくとも１つの蒸発経路を流体接続する、部材Ａを、備え、 前記部材Ａから前記サーモサイホン冷却装置内の循環流動を可能とし、 各蒸発器部は、前記１つの部材Ａに接続される管を含むとともに、前記少なくとも１つの蒸発経路と液体返却路とを規定する複数の経路を含み、又は、 各凝縮器部は、前記１つの部材Ａに接続される管を含む、装置。」の点で一致し、次の点で相違している。 ［相違点１］ 凝縮器部について、本願発明１では、「前記蒸発液体を凝縮するように配置された少なくとも１つの凝縮経路、及び、前記少なくとも１つの凝縮経路に蒸発液体を送達する蒸気供給路を含む」ものであり、「各凝縮器部は、前記１つのマニホルドに接続される管を含むとともに、前記少なくとも１つの凝縮経路と前記蒸気供給路とを規定する複数の経路を含む」とされているのに対して、引用発明では、「放熱チューブ、上部タンク、下部タンク、および放熱フィンより構成され、前記放熱チューブは、断面形状が長円形の偏平なアルミニウム管より成り、前記放熱フィンと交互に積層されて、前記上部タンクと前記下部タンクとに支持され」、「前記下部タンクは、各放熱チューブの下端部が挿入されて、各放熱チューブと連通」しており、「放熱チューブ」に、蒸気を供給する経路と凝縮する経路とが分けて規定されていない点。 ［相違点２］ 部材Ａについて、本願発明１では、「少なくとも１つの蒸発経路を前記蒸気供給路に流体接続する蒸気チャンバ、及び、前記少なくとも１つの凝縮経路を前記液体返却路に流体接続する液体チャンバを有する１つのマニホルド」であるのに対して、引用発明では、「各放熱チューブの下端部が挿入されて、各放熱チューブと連通し」、「前記冷媒槽の上端開口部が挿入されて、冷媒槽と連通している」「下部タンク」である点。 ［相違点３］ 部材Ａからサーモサイホン冷却装置内の循環流動を可能とすることについて、本願発明１では、「前記蒸気チャンバから前記蒸気供給路へ、前記少なくとも１つの凝縮経路へ、前記液体チャンバへ、前記液体返却路へ、前記少なくとも１つの蒸発経路へ、そして前記蒸気チャンバへと戻る前記サーモサイホン冷却装置内の循環流動を可能とするために、前記蒸気チャンバ及び前記液体チャンバは、前記マニホルドにおいて分離壁によって流体分離され」ているのに対して、引用発明では、「循環流動を可能とし」ているものの、「前記下部タンクは、各放熱チューブの下端部が挿入されて、各放熱チューブと連通し、前記下部タンクは、前記冷媒槽の上端開口部が挿入されて、冷媒槽と連通している」とされているが、下部タンクにおいて、分離壁によって流体分離はなされておらず、したがって、「液体チャンバ」及び「気体チャンバ」といえるものを有していない点。 （２）　相違点についての判断 上記相違点１～３は、いずれも部材Ａ（マニホルド、下部タンク）が関係するものであるので、まとめて検討する。 引用発明は、「下部タンクは、各放熱チューブの下端部が挿入されて、各放熱チューブと連通し、前記下部タンクは、前記冷媒槽の上端開口部が挿入されて、冷媒槽と連通している」が、「下部タンク」において、分離壁により流体分離しているものではない。 そして、引用発明において、「下部タンク」は、「沸騰した冷媒は、気泡となって蒸気通路９を上昇し、放熱器４の下部タンク１５へ流入した後、下部タンク１５から各放熱チューブ１３へ分配されて、各放熱チューブ１３内を上昇する」（引用文献１【００５０】）、「凝縮して液滴となった冷媒は、自重により放熱チューブ１３内を流下して下部タンク１５に一時溜まり、下部タンク１５から主に冷媒槽３内の他方側の各貫通路１０（以下、凝縮液通路１０と言う）に流入する」（引用文献１【００５１】）との機能を有するものである。 そうすると、上記技術事項２の流路プレート３１の内部が、凝縮部２と蒸気通路５とに、仕切部材３１１で仕切り、流路プレート３１の仕切部材３１１の下端部を、蒸発部１の仕切部材１１の上端部と接続すること、及び上記技術事項３の冷媒流制御板１９が、蒸気流出口１１より流出した冷媒蒸気をチューブ１６内の蒸気通路２１へ優先的に流れ込むように導くとともに、チューブ１６内で液化した凝縮液が蒸気流出口１１へ落下することを防止するために設置されることを示すとしても、技術事項２における沸騰冷却装置は、チャンバを有するものではなく、技術事項３における沸騰冷却装置は、分離壁により流体分離を行うものではなく、さらに、引用発明における凝縮液を貯留する下部タンクに、どのように分離壁を設けて、流体分離するかについても、技術事項２、３は示唆するものではないから、引用発明において、上記機能を有する下部タンクをマニホルドとして、分離壁により流体分離して、液体チャンバ及び気体チャンバの構成を採用することまでが、当業者が容易に想到し得たとすることができない。 さらに、本願発明１は、「各蒸発器部は、前記１つのマニホルドに接続される管を含むとともに、前記少なくとも１つの蒸発経路と液体返却路とを規定する複数の経路を含み、又は、 各凝縮器部は、前記１つのマニホルドに接続される管を含むとともに、前記少なくとも１つの凝縮経路と前記蒸気供給路とを規定する複数の経路を含む、」構成を備えるものであるから、引用発明において、冷媒槽（冷媒室）、放熱器及び下部タンクを、分離壁により流体分離した液体チャンバ及び気体チャンバを有するマニホルドの接続形態としても、どのように流体を循環させるかとの点について、引用文献１～３には、示唆するところがなく、その点でも、引用発明において、上記相違点３に係る本願発明１の構成を採用することに、動機付けがあるとすることができない。 したがって、相違点３に係る本願発明１の「前記蒸気チャンバ及び前記液体チャンバは、前記マニホルドにおいて分離壁によって流体分離され」た構成を、引用発明において採用することが当業者にとって容易に想到し得たものではなく、そのため相違点２に係る本願発明１の「少なくとも１つの蒸発経路を前記蒸気供給路に流体接続する蒸気チャンバ、及び、前記少なくとも１つの凝縮経路を前記液体返却路に流体接続する液体チャンバを有する１つのマニホルド」との構成を採用すること、及び相違点１に係る本願発明１の「各凝縮器部は、前記１つのマニホルドに接続される管を含むとともに、前記少なくとも１つの凝縮経路と前記蒸気供給路とを規定する複数の経路を含む」構成を採用することも、当業者が容易に想到し得たものではない。 （３）　まとめ そして、本願発明１は、本願明細書の段落【０００５】に記載された、「１つのマニホルドを使用することにより、その装置を簡易化し、またその組み立てを簡易化することができる。」という効果を奏するものと認められる。 したがって、本願発明１は、引用発明並びに引用文献２及び３に記載された技術事項２及び３に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 ２　本願発明２～１５について 本願の特許請求の範囲における請求項２～１５は、請求項１の記載を他の記載に置き換えることなく、直接又は間接的に引用して記載したものであるから、本願発明２～１５は、本願発明１の発明特定事項を全て含むものである。 したがって、本願発明２～１５は、本願発明１と同様の理由で、引用発明並びに引用文献２及び３に記載された技術事項２及び３に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。 第６　むすび 以上のとおりであるから、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。