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特許拒絶査定不服審判

2018-003544

純還元性プラズマ中で高アスペクト比のフォトレジストを除去する方法

審判番号
2018-003544
法域
特許
審判種別
拒絶査定不服審判(拒絶査定不服の審決)
出願番号
特願2015-523181外部サイト(J-PlatPat)へ移動します
請求日
2018年03月12日
審決日
2019年07月29日
公報発行日
2019年09月27日
結論
原査定取消(特許/登録すべき)
審判長/審判官
分類
P18 .121-WYF(H01L) / P18 .536-WYF(H01L) / P18 .537-WYF(H01L)
データ出所
審決公報(SGML)

事件の表示

特願2015-523181「純還元性プラズマ中で高アスペクト比のフォトレジストを除去する方法」拒絶査定不服審判事件〔平成26年 1月23日国際公開、WO2014/014907、平成27年10月 1日国内公表、特表2015-529014、請求項の数(8)〕について、次のとおり審決する。

結論

【結 論】 原査定を取り消す。 本願の発明は、特許すべきものとする。

理由

【理 由】 本願は、平成25年 7月16日(パリ条約による優先権主張 2012年 7月16日 (US)アメリカ合衆国 2012年 9月19日 (US)アメリカ合衆国)の出願であって、その請求項に係る発明は、特許請求の範囲の請求項に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。 そして、本願については、原査定の拒絶理由を検討してもその理由によって拒絶すべきものとすることはできない。 また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。 よって、結論のとおり審決する。

審決本文(J-PlatPat)

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2018-003544

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